「タフテック」分野のイノベーションを加速するMIT.nano装置
MITニュースのザック・ウィン著
マサチューセッツ州ボストン (SPX) 01 年 2024 月 XNUMX 日
新しい一連の高度なナノ加工装置により、MIT.nano はマイクロエレクトロニクスおよび関連技術における世界で最も先進的な研究施設の 1 つとなり、新たな実験の機会が開かれ、有望な発明が影響力のある新製品になる道が広がります。
アプライド マテリアルズが提供するこの装置は、MIT.nano のナノ加工能力を大幅に拡張し、産業界で広く使用されている直径最大 200 ミリメートル (8 インチ) のウエハー (半導体材料の薄い円形スライス) に対応できるようにします。新しいツールを使用すると、研究者は最先端の材料と製造プロセスを使用して、膨大な数の新しいマイクロ電子デバイスのプロトタイプを作成できるようになります。同時に、200 ミリメートルの互換性は産業界との緊密な連携をサポートし、企業によるイノベーションの迅速な採用と大量生産を可能にします。
MIT.nanoの指導者らは、この装置はMIT外の科学者も利用できるようになり、施設の能力が劇的に向上し、地域の専門家が先端エレクトロニクスを含む「タフな技術」分野での新しいアプローチをより効率的に探索できるようになると述べている。発電用バッテリー、再生可能エネルギー、光コンピューティング、生物学的センシング、その他多くの分野は、おそらくまだ想像されていません。
「ツールセットは、世界に大規模に提供できる新しいテクノロジーを立ち上げる能力を加速的に高めてくれます」と、MIT.nano ディレクターのウラジミール・ブロヴィッチ氏は述べています。彼はファリボルズ・マゼー新興テクノロジー教授でもあります。 「MIT.nano は、より良い世界を構築するという広範な使命に取り組んでいます。私たちは、優秀な研究者の手によって、世界を効果的に前進させることができるツールセットと機能を提供します。」
この発表は、MIT とアプライド マテリアルズ社との間の合意の一環として行われ、東北マイクロエレクトロニクス連合 (NEMC) ハブからの MIT への補助金と合わせて、先進的なナノテクノロジーの追加に推定 40 万ドル以上の民間および公的投資が投入されます。 MIT.nano の製造装置と機能。
「米国には、研究発見のためのより基本的なツールセットのすぐ隣に 8 インチのツールセットが統合され、同じ種類の多用途性、機能、アクセスしやすさを提供するスペースが他にあるとは考えていません」と Bulovic 氏は言います。 「これにより、イノベーションのペースを加速するためのシームレスな道が生まれます。」
イノベーションの限界を押し上げる
アプライド マテリアルズは、半導体、ディスプレイ、その他の先端エレクトロニクスを製造するための装置の世界最大のサプライヤーです。同社は、150ミリメートルおよび200ミリメートルのウェーハをサポートできるいくつかの最先端のプロセスツールをMIT.nanoで提供し、MITが所有する既存のツールを強化およびアップグレードする予定です。アプライド マテリアルズのエンジニアは、装置の日常的な運用とメンテナンスにおいて MIT.nano を支援することに加えて、MIT 内外の研究者や学生に利益をもたらす新しいプロセス機能を開発します。
「この投資は、マイクロエレクトロニクスとマイクロシステムの革新と発見のペースを大幅に加速するでしょう」と、MIT マイクロシステム技術研究所所長で電気工学のクラレンス J. レベル教授であるトーマス パラシオスは述べています。 「これは私たちのコミュニティにとって素晴らしいニュースであり、州にとっても素晴らしいニュースであり、私の見解では、マイクロエレクトロニクスにおけるイノベーションの将来に向けた国家ビジョンの実現に向けた大きな前進です。」
大学におけるナノスケール研究は伝統的に、産業界との互換性が低い機械で行われてきたため、学術的なイノベーションを影響力のある大量生産製品に変えることがより困難になっています。 MIT.nanoの共有製造施設のアソシエートディレクターであるヨルグ・ショルビン氏は、新しい機械はMIT.nanoの既存の装置と組み合わせることで、その分野で大きな進歩をもたらすと述べ、研究者は業界標準のウェーハを取得して構築できるようになるだろうと述べた。その上に自社のテクノロジーを適用して、既存のデバイスで動作することを企業に証明したり、業界パートナーと緊密に連携して新しいアイデアを共同開発したりできます。
「アイデアから完全に動作するデバイスに至る過程では、小規模から始めて、何をしたいのかを把握し、設計を迅速にデバッグして、それを業界規模のウェーハにスケールアップする能力が重要です。」ショルビンは言う。 「これは、学生が自分のアイデアをウェーハスケールで迅速にテストし、洞察をプロジェクトに直接組み込むことができるため、プロセスを拡張できることを意味します。このような原理の証明を早い段階で提供することで、アイデアが学術環境から外に出ることが加速され、何年にもわたる追加の労力が削減される可能性があります。 MIT.nano の他のツールは 200 ミリメートルのウェーハ スケールでの作業を補うことができますが、Applied 機器のより高いスループットとより高い精度により、学術研究環境では前例のない再現性と精度が研究者に提供されます。基本的に、あなたが持っているのは、仕事を行うためのより鋭く、より速く、より正確なツールです。」
ショルビン氏は、この装置により研究機会が飛躍的に増加すると予測しています。
「これらのツールの主な利点は、現在予測できるさまざまな方法で研究の境界を押し広げることができることだと思います」とショルビン氏は言います。 「しかし、予測できない利点もあり、MIT の研究者の創造性によって発見されるのを待っている影に隠れています。通常、新しいアプリケーションを適用するたびに、より多くのアイデアや道筋が思い浮かび、時間が経つにつれて、より多くの機会が発見されます。」
この機器は、地域の研究者、業界パートナー、非営利団体、地元の新興企業など、MIT コミュニティ以外の人々も使用できるため、新たなコラボレーションも可能になります。
「ツール自体が素晴らしい出会いの場になるでしょう。私たちのアイデアの最高のものを、以前よりもはるかに効果的な方法で置き換えることができる場所になると思います」とブロヴィック氏は言います。 「とても興奮しています。」
パラシオス氏は、マイクロエレクトロニクスは、マイクロプロセッサーに適合するようにトランジスタを小型化する研究で最もよく知られているが、ワイヤレス通信や高速インターネットからエネルギー管理、個別化されたヘルスケアなどに至るまで、私たちの周りのほぼすべてのテクノロジーを可能にする広大な分野であると指摘する。
同氏は、電子デバイスの効率を劇的に向上させる可能性がある窒化ガリウムのような有望な新材料の探索など、パワーエレクトロニクスや半導体関連の研究に新しい機械を使用することに個人的に興奮していると述べた。
使命を果たす
MIT.nano のリーダーたちは、商業化の主要な原動力は MIT 内外のスタートアップ企業になるだろうと述べています。
「これは、MIT 研究コミュニティのイノベーションを加速するだけでなく、起業家精神の新たな波を可能にするでしょう」とパラシオス氏は言います。 「私たちは、学生、教員、その他の起業家がイノベーションを起こして市場に投入できるよう、障壁を減らしています。これは、テクノロジーを通じて世界をより良い場所にするという MIT の使命によく適合します。私たちの同僚や学生たちが生み出す素晴らしい新しい発明を見るのが待ちきれません。」
ブロヴィック氏は、今回の発表はMIT.nanoの発足時にMITのリーダーたちが掲げた使命と一致していると述べた。
「私たちはこれらのツールを収容するためのスペースを MIT.nano 内に確保しており、MIT.nano 内にその運用を管理する機能を備えています。また、共有のオープンな施設として、地域の誰でも利用できるようにする方法論を備えています。ツールです」とブロヴィッチ氏は言います。 「これは、MIT.nano の設計時に MIT が定めたビジョンであり、今回の発表はそのビジョンを実現するのに役立ちます。」
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- 情報源： https://www.nanodaily.com/reports/MIT_nano_equipment_to_accelerate_innovation_in_tough_tech_sectors_999.html
