Chinas jüngster Erfolg eines Gießereiknotens der 7-nm-Klasse, der ausschließlich DUV-Lithographie verwendet, wirft die Frage auf, inwieweit die DUV-Lithographie erweitert werden kann ...
EUV mit hoher NA ist auf dem besten Weg, eine Herunterskalierung auf das Angström-Niveau zu ermöglichen und damit die Voraussetzungen für Chips mit noch höheren Transistorzahlen und...
