Một bài báo kỹ thuật có tiêu đề “Thiết kế lò phản ứng ghép kênh thông lượng cao để sàng lọc nhanh chóng các quá trình lắng đọng lớp nguyên tử/phân tử” đã được các nhà nghiên cứu tại Đại học Washington xuất bản.
Tóm tắt:
“Một cách tiếp cận được chứng minh là có thể thực hiện nhiều sự lắng đọng đồng thời trong một lò phản ứng kiểu lắng đọng lớp nguyên tử/lắng đọng lớp phân tử (ALD/MLD) có thông lượng cao. Hệ thống như vậy cho phép các quy trình độc lập chạy song song bằng cách kết nối nhiều buồng phản ứng với các tài nguyên dùng chung, chẳng hạn như máy bơm và ống góp chất phản ứng. Các hệ thống điều khiển thích hợp cho các tài nguyên dùng chung duy trì sự độc lập về các tham số lắng đọng và màng tạo thành trong khi cho phép lắng đọng trong chân không hoặc với khí mang. Một hệ thống ví dụ được xây dựng và chứng minh là thể hiện tính đồng nhất của quy trình đồng thời tránh lây nhiễm chéo, như đã được xác minh bằng phép đo elip và quang phổ quang điện tử tia X. Thiết kế lò phản ứng có thể sàng lọc các quá trình lắng đọng ALD/MLD mới nhanh hơn hệ thống một buồng thông thường mà không tốn chi phí vốn cho số lượng hệ thống độc lập tương đương, đẩy nhanh tốc độ đổi mới trong công nghệ nano.”
Tìm giấy kỹ thuật tại đây. Xuất bản tháng 2024 năm XNUMX.
Yury Choe, Duncan Reece, David S. Bergsman; Thiết kế lò phản ứng ghép kênh thông lượng cao để sàng lọc nhanh chóng các quá trình lắng đọng lớp nguyên tử/phân tử. J. Vạc. Khoa học. Technol. A ngày 1 tháng 2024 năm 42; 2 (022402): 10.1116. https://doi.org/6.0003354/XNUMX
Đọc liên quan
Trung tâm kiến thức: Lắng đọng lớp nguyên tử (ALD)
- Phân phối nội dung và PR được hỗ trợ bởi SEO. Được khuếch đại ngay hôm nay.
- PlatoData.Network Vertical Generative Ai. Trao quyền cho chính mình. Truy cập Tại đây.
- PlatoAiStream. Thông minh Web3. Kiến thức khuếch đại. Truy cập Tại đây.
- Trung tâmESG. Than đá, công nghệ sạch, Năng lượng, Môi trường Hệ mặt trời, Quản lý chất thải. Truy cập Tại đây.
- PlatoSức khỏe. Tình báo thử nghiệm lâm sàng và công nghệ sinh học. Truy cập Tại đây.
- nguồn: https://semiengineering.com/performing-multiple-simultaneous-depositions-in-a-high-throughput-multiplexing-ald-mld-style-reactor/
