Huang, YL & Saulson, PR Cơ chế tản nhiệt trong con lắc và ý nghĩa của chúng đối với giao thoa kế sóng hấp dẫn. Rev. Khoa học viễn tưởng. Người hướng dẫn. 69, 544 tầm 553 (1998).
González, GI & Saulson, PR Chuyển động Brown của một vật nặng được treo bằng dây đàn hồi. J. Âm thanh. Sóc. Là. 96, 207 tầm 212 (1994).
Valette, C. & Cuesta, C. Mécanique de la Corde Vibrante (Nhà xuất bản Khoa học Hermes, 1993).
Unterreithmeier, QP, Faust, T. & Kotthaus, JP Giảm chấn của bộ cộng hưởng cơ nano. Vật lý. Mục sư Lett. 105, 027205 (2010).
Fedorov, SA và cộng sự. Pha loãng tiêu tán tổng quát trong các bộ cộng hưởng cơ học căng thẳng. Vật lý. Mục sư B 99, 054107 (2019).
Verbridge, SS, Parpia, JM, Reichenbach, RB, Bellan, LM & Craighead, HG Cộng hưởng yếu tố chất lượng cao ở nhiệt độ phòng với dây nano chịu ứng suất kéo cao. J. Appl. Vật lý. 99, 124304 (2006).
Verbridge, SS, Craighead, HG & Parpia, JM Một bộ cộng hưởng cơ nano megahertz với hệ số chất lượng ở nhiệt độ phòng trên một triệu. Táo. Vật lý. Lett. 92, 013112 (2008).
Thompson, JD và cộng sự. Sự kết hợp phân tán mạnh mẽ của khoang có độ tinh tế cao với màng vi cơ. Thiên nhiên 452, 72 tầm 75 (2008).
Phillips, WA Trạng thái hai cấp trong kính. Đại diện Prog. Thể chất. 50, 1657 tầm 1708 (1987).
Ghani, T. và cộng sự. Công nghệ logic sản xuất khối lượng lớn 90nm có các bóng bán dẫn silicon CMOS có độ dài cổng 45nm mới. TRONG Hội nghị thiết bị điện tử quốc tế IEEE 2003 11.6.1–11.6.3 (IEEE, 2003); https://doi.org/10.1109/IEDM.2003.1269442
Southworth, DR và cộng sự. Ứng suất và silicon nitride: một vết nứt trong sự tiêu tán phổ biến của kính. Vật lý. Mục sư Lett. 102, 225503 (2009).
Wu, J. & Yu, CC Căng thẳng có thể làm giảm sự tiêu tán trong kính như thế nào. Vật lý. Mục sư B 84, 174109 (2011).
Tsaturyan, Y., Barg, A., Polzik, ES & Schliesser, A. Bộ cộng hưởng cơ nano siêu kết hợp thông qua kẹp mềm và pha loãng tiêu tán. Nat. Công nghệ nano. 12, 776 tầm 783 (2017).
Ghadimi, AH và cộng sự. Kỹ thuật biến dạng đàn hồi cho tản nhiệt cơ học cực thấp. Khoa học 360, 764 tầm 768 (2018).
Bereyhi, MJ và cộng sự. Cấu trúc kéo phân cấp với độ phân tán cơ học cực thấp. Nat. Cộng đồng. 13, 3097 (2022).
Shin, D. và cộng sự. Bộ cộng hưởng cơ nano mạng nhện thông qua tối ưu hóa Bayes: Lấy cảm hứng từ thiên nhiên và được hướng dẫn bởi máy học. Tư vấn. Vật chất. 34, 2106248 (2022).
Bereyhi, MJ và cộng sự. Các chế độ chu vi của bộ cộng hưởng cơ nano thể hiện hệ số chất lượng vượt quá 109 ở nhiệt độ phong. Vật lý. Mục sư X 12, 021036 (2022).
Cupertino, A. và cộng sự. Bộ cộng hưởng cơ nano quy mô centimet có độ phân tán thấp. In trước tại https://arxiv.org/abs/2308.00611 (2023).
Beccari, A. và cộng sự. Bộ cộng hưởng cơ nano tinh thể căng thẳng có hệ số chất lượng trên 10 tỷ. Nat. Thể chất 18, 436 tầm 441 (2022).
Unterreithmeier, QP, Weig, EM & Kotthaus, JP Sơ đồ truyền tải phổ quát cho các hệ thống cơ nano dựa trên lực điện môi. Thiên nhiên 458, 1001 tầm 1004 (2009).
Bagci, T. và cộng sự. Phát hiện quang học sóng vô tuyến thông qua đầu dò cơ học nano. Thiên nhiên 507, 81 tầm 85 (2014).
Chiến, M.-H., Brameshuber, M., Rossboth, BK, Schütz, GJ & Schmid, S. Hình ảnh hấp thụ quang đơn phân tử bằng cảm biến quang nhiệt cơ nano. Proc. Học viện Natl. Khoa học Hoa Kỳ 115, 11150 tầm 11155 (2018).
Aspelmeyer, M., Kippenberg, TJ & Marquardt, F. Cavity optomechanics. Rev. Vật lý. 86, 1391 tầm 1452 (2014).
Underwood, M. và cộng sự. Đo các dải biên chuyển động của bộ dao động quy mô nanogram trong chế độ lượng tử. Thể chất. Rev. A 92, 061801 (2015).
Purdy, TP, Yu, P.-L., Peterson, RW, Kampel, NS & Regal, CA Lực ép ánh sáng cơ học mạnh mẽ. Vật lý. Mục sư X 3, 031012 (2013).
Nielsen, WHP, Tsaturyan, Y., Møller, CB, Polzik, ES & Schliesser, A. Hệ thống cơ quang đa chế độ trong chế độ lượng tử. Proc. Học viện Natl. Khoa học Hoa Kỳ 114, 62 tầm 66 (2017).
Peterson, RW và cộng sự. Làm mát bằng laser của màng vi cơ đến giới hạn phản ứng lượng tử. Vật lý. Mục sư Lett. 116, 063601 (2016).
Rossi, M., Mason, D., Chen, J., Tsaturyan, Y. & Schliesser, A. Điều khiển lượng tử dựa trên phép đo của chuyển động cơ học. Thiên nhiên 563, 53 tầm 58 (2018).
Saarinen, SA, Kralj, N., Langman, EC, Tsaturyan, Y. & Schliesser, A. Làm mát bằng laser một hệ thống màng ở giữa gần với trạng thái lượng tử cơ bản từ nhiệt độ phòng. quang học 10, 364 tầm 372 (2023).
Seis, Y. và cộng sự. Làm mát trạng thái cơ bản của một hệ thống cơ điện siêu kết hợp. Nat. Cộng đồng. 13, 1507 (2022).
Mason, D., Chen, J., Rossi, M., Tsaturyan, Y. & Schliesser, A. Đo lực liên tục và chuyển vị dưới giới hạn lượng tử tiêu chuẩn. Nat. Vật lý. 15, 745 tầm 749 (2019).
Jöckel, A. và cộng sự. Làm mát đồng cảm của bộ dao động màng trong hệ thống nguyên tử-cơ học lai. Nat. Công nghệ nano. 10, 55 tầm 59 (2015).
Møller, CB và cộng sự. Phép đo chuyển động tránh tác dụng ngược lượng tử trong hệ quy chiếu khối lượng âm. Thiên nhiên 547, 191 tầm 195 (2017).
Karg, TM và cộng sự. Sự ghép mạnh qua trung gian ánh sáng giữa một bộ dao động cơ học và các spin nguyên tử cách nhau 1 mét. Khoa học 369, 174 tầm 179 (2020).
Thomas, RA và cộng sự. Sự vướng víu giữa các hệ thống cơ học và spin vĩ mô ở xa. Nat. Vật lý. 17, 228 tầm 233 (2021).
Schmid, G.-L. et al. Làm mát phản hồi mạch lạc của màng cơ nano với các spin nguyên tử. Vật lý. Mục sư X 12, 011020 (2022).
Andrew, RW và cộng sự. Chuyển đổi hai chiều và hiệu quả giữa vi sóng và ánh sáng quang học. Nat. Vật lý. 10, 321 tầm 326 (2014).
Higginbotham, AP và cộng sự. Khai thác mối tương quan điện quang trong bộ chuyển đổi cơ học hiệu quả. Nat. Vật lý. 14, 1038 tầm 1042 (2018).
Delaney, RD và cộng sự. Đọc qubit siêu dẫn thông qua sự tải nạp điện quang có độ phản hồi thấp. Thiên nhiên 606, 489 tầm 493 (2022).
Košata, J., Zilberberg, O., Degen, CL, Chitra, R. & Eichler, A. Phát hiện spin thông qua chuyển đổi tần số tham số trong bộ cộng hưởng màng. Thể chất. Rev. Appl. 14, 014042 (2020).
Hälg, D. và cộng sự. Kính hiển vi lực quét dựa trên màng. Thể chất. Rev. Appl. 15, 021001 (2021).
Krause, AG, Winger, M., Blasius, TD, Lin, Q. & Painter, O. Một máy đo gia tốc cơ quang vi mạch có độ phân giải cao. tự nhiên phôtôn. 6, 768 tầm 772 (2012).
Chu, F. và cộng sự. Cảm biến giới hạn nhiệt cơ băng thông rộng với gia tốc kế quang cơ. quang học 8, 350 tầm 356 (2021).
Pratt, JR và cộng sự. Pha loãng phân tán xoắn ở cấp độ nano cho các thí nghiệm lượng tử và đo lường chính xác. Vật lý. Mục sư X 13, 011018 (2023).
Carney, D. và cộng sự. Cảm biến lượng tử cơ học trong việc tìm kiếm vật chất tối Khoa học lượng tử. Technol. 6, 024002 (2021).
Manley, J., Chowdhury, MD, Grin, D., Singh, S. & Wilson, DJ Đang tìm kiếm vật chất tối vector bằng gia tốc kế quang cơ. Vật lý. Mục sư Lett. 126, 061301 (2021).
Gillespie, DT Biến động và tiêu tán trong chuyển động Brown. Là. J. Vật lý. 61, 1077 tầm 1083 (1993).
Saulson, PR Tiếng ồn nhiệt trong các thí nghiệm cơ học. Vật lý. Linh mục D. 42, 2437 (1990).
Cơ chế quang học Wilson, DJ, Regal, CA, Papp, SB & Kimble, HJ Cavity với phim SiN cân bằng hóa học. Vật lý. Mục sư Lett. 103, 207204 (2009).
Nowick, AS và Berry, BS Sự giãn đàn hồi trong chất rắn kết tinh (Báo chí học thuật, 1972).
Villanueva, LG & Schmid, S. Bằng chứng về sự mất bề mặt là cơ chế giảm chấn hạn chế phổ biến trong các bộ cộng hưởng cơ học nano và vi mô SiN. Vật lý. Mục sư Lett. 113, 227201 (2014).
Høj, D., Hoff, UB & Andersen, UL Bộ cộng hưởng cơ nano siêu kết hợp dựa trên kỹ thuật tinh thể âm vị mật độ. In trước tại https://arxiv.org/abs/2207.06703 (2022).
Schmid, S., Villanueva, LG & Roukes, ML (eds) Nguyên tắc cơ bản của bộ cộng hưởng cơ nano (Mùa xuân, 2023).
Enns, C. & Hunklinger, S. Vật lý nhiệt độ thấp (Mùa xuân, 2005).
Kleiman, RN, Agnolet, G. & Bishop, DJ Hệ thống hai cấp được quan sát về tính chất cơ học của silicon đơn tinh thể ở nhiệt độ thấp. Vật lý. Mục sư Lett. 59, 2079 tầm 2082 (1987).
Hauer, BD, Kim, PH, Doolin, C., Souris, F. & Davis, JP Hệ thống giảm chấn hai cấp trong bộ cộng hưởng cơ học gần như một chiều. Vật lý. Mục sư B 98, 214303 (2018).
MacCabe, GS và cộng sự. Bộ cộng hưởng âm thanh nano có tuổi thọ phonon siêu dài. Khoa học 370, 840 tầm 843 (2020).
Wollack, EA và cộng sự. Các kênh mất ảnh hưởng đến bộ cộng hưởng tinh thể âm vị lithium niobate ở nhiệt độ đông lạnh. Táo. Vật lý. Lett. 118, 123501 (2021).
Zener, C. Ma sát trong trong chất rắn II. Lý thuyết chung về ma sát trong nhiệt đàn hồi. Thể chất. Rev. 53, 90 tầm 99 (1938).
Lifshitz, R. & Roukes, ML Giảm chấn đàn hồi nhiệt trong các hệ thống cơ học vi mô và nano. Vật lý. Mục sư B 61, 5600 tầm 5609 (2000).
Động lực học Kiselev, AA & Iafrate, GJ Phonon và tổn thất hỗ trợ phonon trong chùm nano Euler–Bernoulli. Vật lý. Mục sư B 77, 205436 (2008).
Bao, M., Yang, H., Yin, H. & Sun, Y. Mô hình truyền năng lượng để giảm chấn không khí màng nén trong chân không thấp. J. Vi cơ. Microeng. 12, 341 tầm 346 (2002).
Cross, MC & Lifshitz, R. Truyền sóng đàn hồi tại điểm nối đột ngột trong một tấm mỏng có ứng dụng truyền nhiệt và rung động trong hệ thống siêu âm. Vật lý. Mục sư B 64, 085324 (2001).
Cole, GD, Wilson-Rae, I., Werbach, K., Vanner, MR & Aspelmeyer, M. Sự phân tán đường hầm phonon trong bộ cộng hưởng cơ học. Nat. Cộng đồng. 2, 231 (2011).
Wilson-Rae, tôi và cộng sự. Cao-Q cơ học nano thông qua sự giao thoa triệt tiêu của sóng đàn hồi. Vật lý. Mục sư Lett. 106, 047205 (2011).
Ghadimi, AH, Wilson, DJ & Kippenberg, TJ Bức xạ và kỹ thuật tổn thất bên trong của chùm nano silicon nitride ứng suất cao. Lá thư Nano. 17, 3501 tầm 3505 (2017).
Jöckel, A. và cộng sự. Quang phổ tiêu tán cơ học trong màng vi cơ. Táo. Vật lý. Lett. 99, 143109 (2011).
Borrielli, A. và cộng sự. Kiểm soát tổn thất giật trong các bộ cộng hưởng màng SiN cơ học nano. Vật lý. Mục sư B 94, 121403 (2016).
Schmid, S., Jensen, KD, Nielsen, KH & Boisen, A. Cơ chế giảm xóc ở mức caoQ bộ cộng hưởng chuỗi vi mô và nano. Vật lý. Mục sư B 84, 165307 (2011).
Yu, P.-L., Purdy, TP & Regal, CA Kiểm soát độ giảm chấn của vật liệu ở nhiệt độ caoQ bộ cộng hưởng vi màng. Vật lý. Mục sư Lett. 108, 083603 (2012).
Landau, LD, Lifshitz, EM, Pitaevskii, LP & Kosevich, AM Lý thuyết đàn hồi. Khóa học Vật lý lý thuyết Tập. 7 (Pergamon, 1986).
Catalini, L., Rossi, M., Langman, EC & Schliesser, A. Mô hình hóa và quan sát sự giảm chấn phi tuyến trong các bộ cộng hưởng cơ nano pha loãng tiêu tán. Vật lý. Mục sư Lett. 126, 174101 (2021).
Bachtold, A., Moser, J. & Dykman, MI Vật lý siêu âm của các hệ thống cơ nano. Rev. Vật lý. 94, 045005 (2022).
Bereyhi, MJ và cộng sự. Kẹp côn làm tăng hệ số chất lượng của chùm nano chịu ứng suất. Lá thư Nano. 19, 2329 tầm 2333 (2019).
Sadeghi, P., Tanzer, M., Christensen, SL & Schmid, S. Ảnh hưởng của việc mở rộng kẹp đến hệ số chất lượng của bộ cộng hưởng silicon nitride cơ học nano. J. Appl. Vật lý. 126, 165108 (2019).
Reinhardt, C., Müller, T., Bourassa, A. & Sankey, JC Bộ cộng hưởng tấm bạt lò xo SiN có độ ồn cực thấp dành cho cảm biến và cơ học quang học. Vật lý. Mục sư X 6, 021001 (2016).
Norte, RA, Moura, JP & Gröblacher, S. Bộ cộng hưởng cơ học cho các thí nghiệm cơ học quang lượng tử ở nhiệt độ phòng. Vật lý. Mục sư Lett. 116, 147202 (2016).
Wilson, DJ Cơ học quang học khoang với màng silicon nitride ứng suất cao. luận án tiến sĩ, Viện Công nghệ California (2012); https://doi.org/10.7907/VB3C-1G76
Chakram, S., Patil, YS, Chang, L. & Vengalattore, M. Sự tiêu tán trong các bộ cộng hưởng màng SiN có yếu tố chất lượng cực cao. Vật lý. Mục sư Lett. 112, 127201 (2014).
Yu, P.-L. et al. Một lá chắn băng thông âm vị cho cao-Q bộ cộng hưởng vi màng. Táo. Vật lý. Lett. 104, 023510 (2014).
Tsaturyan, Y. và cộng sự. Trình diễn sự thất thoát đường hầm phonon bị triệt tiêu trong các bộ cộng hưởng màng được bảo vệ dải băng âm vị cho các bộ cộng hưởng cao cấpQ cơ quang học. Opt. bày tỏ 22, 6810 tầm 6821 (2014).
Thợ dệt, MJ và cộng sự. Bộ cộng hưởng tấm bạt lò xo lồng nhau cho cơ học quang học. Táo. Vật lý. Lett. 108, 033501 (2016).
Serra, E. và cộng sự. Bộ tạo dao động MOMS silicon nitride cho cơ học quang lượng tử ở nhiệt độ phòng. J. Vi điện tử. hệ thống. 27, 1193 tầm 1203 (2018).
Reetz, C. và cộng sự. Phân tích các tinh thể âm vị màng với khoảng trống dải rộng và khuyết tật khối lượng thấp. Thể chất. Rev. Appl. 12, 044027 (2019).
Fedorov, SA và cộng sự. Tiếng ồn xuyên điều chế nhiệt trong các phép đo dựa trên khoang. quang học 7, 1609 tầm 1616 (2020).
Guo, J., Norte, R. & Gröblacher, S. Làm mát phản hồi của bộ dao động cơ ở nhiệt độ phòng gần với trạng thái chuyển động cơ bản của nó. Vật lý. Mục sư Lett. 123, 223602 (2019).
Fedorov, S. Bộ cộng hưởng cơ học có độ pha loãng tản nhiệt cao trong các phép đo lượng tử và chính xác. luận án tiến sĩ, EPFL, Lausanne (2021); https://doi.org/10.5075/epfl-thesis-10421
Fedorov, SA, Beccari, A., Engelsen, NJ & Kippenberg, TJ Bộ cộng hưởng cơ học giống Fractal với chế độ cơ bản được kẹp mềm. Vật lý. Mục sư Lett. 124, 025502 (2020).
Høj, D. và cộng sự. Bộ cộng hưởng cơ nano siêu kết hợp dựa trên thiết kế nghịch đảo. Nat. Cộng đồng. 12, 5766 (2021).
Davenport, WB & Root, WL Giới thiệu về lý thuyết tín hiệu ngẫu nhiên và tiếng ồn (Wiley-IEEE, 1987).
Zwickl, BM và cộng sự. Tính chất cơ học và quang học chất lượng cao của màng silicon nitride thương mại. Táo. Vật lý. Lett. 92, 103125 (2008).
Renninger, WH, Kharel, P., Behunin, RO & Rakich, PT Cơ học quang học tinh thể số lượng lớn. Nat. Vật lý. 14, 601 tầm 607 (2018).
Sementilli, L., Romero, E. & Bowen, WP Kỹ thuật phân tán và biến dạng cơ học nano. Tư vấn. Func. Vật chất. 32, 2105247 (2022).
Kermany, AR và cộng sự. Bộ cộng hưởng vi mô với Q- hệ số trên một triệu từ cacbua silic epiticular chịu ứng suất cao trên silicon. Táo. Vật lý. Lett. 104, 081901 (2014).
Romero, E. và cộng sự. Kỹ thuật tiêu tán các bộ cộng hưởng vi cơ tinh thể. Thể chất. Rev. Appl. 13, 044007 (2020).
Cole, GD và cộng sự. Chịu kéo trongxGa1−xMàng P cho cơ học quang học khoang. Táo. Vật lý. Lett. 104, 201908 (2014).
Bückle, M. và cộng sự. Kiểm soát ứng suất của dây căng Trong1−xGaxBộ cộng hưởng chuỗi cơ nano P. Táo. Vật lý. Lett. 113, 201903 (2018).
Manjeshwar, SK và cộng sự. Cao-Q bộ cộng hưởng tấm bạt lò xo từ InGaP tinh thể căng cho cơ học quang học không gian tự do tích hợp. Lá thư Nano. 23, 5076 tầm 5082 (2023).
Lưu, J. và cộng sự. Cao-Q màng nano GaAs cơ quang. Táo. Vật lý. Lett. 99, 243102 (2011).
Minamisawa, RA và cộng sự. Dây nano silicon được chế tạo từ trên xuống dưới sức căng đàn hồi lên tới 4.5%. Nat. Cộng đồng. 3, 1096 (2012).
Đặng, C. và cộng sự. Đạt được độ đàn hồi kéo đồng đều lớn trong kim cương chế tạo vi mô. Khoa học 371, 76 tầm 78 (2021).
Xu, M. và cộng sự. Cacbua silic vô định hình cường độ cao cho cơ học nano. Tư vấn. Vật chất. 36, 2306513 (2023).
Tao, Y., Boss, JM, Moores, BA & Degen, CL Bộ cộng hưởng cơ nano kim cương đơn tinh thể với hệ số chất lượng vượt quá một triệu. Nat. Cộng đồng. 5, 3638 (2014).
Yuan, M., Cohen, MA & Steele, GA Bộ cộng hưởng màng silicon nitride ở nhiệt độ millikelvin với hệ số chất lượng vượt quá 108. Táo. Vật lý. Lett. 107, 263501 (2015).
Manjeshwar, SK và cộng sự. Màng tinh thể quang tử lơ lửng trong cấu trúc dị thể AlGaAs cho cơ học quang học đa phần tử tích hợp. Táo. Vật lý. Lett. 116, 264001 (2020).
Fitzgerald, JM, Manjeshwar, SK, Wieczorek, W. & Tassin, P. Cơ học quang học Cavity với các trạng thái liên kết quang tử liên tục. vật lý. Linh mục Res. 3, 013131 (2021).
Manjeshwar, SK và cộng sự. Cơ chế quang học khoang vi mô tích hợp với gương tinh thể quang tử lơ lửng phía trên gương phản xạ Bragg phân tán. Opt. bày tỏ 31, 30212 tầm 30226 (2023).
Purdy, TP, Peterson, RW & Regal, CA Quan sát áp suất bức xạ bắn ra tiếng ồn trên một vật thể vĩ mô. Khoa học 339, 801 tầm 804 (2013).
Kampel, NS và cộng sự. Cải thiện khả năng phát hiện dịch chuyển băng thông rộng với các mối tương quan lượng tử. Vật lý. Mục sư X 7, 021008 (2017).
Brubaker, BM và cộng sự. Làm mát trạng thái cơ học quang học trong bộ chuyển đổi quang điện liên tục và hiệu quả. Vật lý. Mục sư X 12, 021062 (2022).
Wilson, DJ và cộng sự. Điều khiển dựa trên phép đo của bộ tạo dao động cơ ở tốc độ mất kết hợp nhiệt của nó. Thiên nhiên 524, 325 tầm 329 (2015).
Sudhir, V. và cộng sự. Sự xuất hiện và biến mất của các mối tương quan lượng tử trong điều khiển phản hồi dựa trên phép đo của bộ dao động cơ học. Vật lý. Mục sư X 7, 011001 (2017).
Guo, J. & Gröblacher, S. Tích hợp khả năng đọc quang học của chế độ ngoài mặt phẳng cơ học Q cao. Khoa học ánh sáng. Appl. 11, 282 (2022).
Guo, J., Chang, J., Yao, X. & Gröblacher, S. Điều khiển lượng tử phản hồi tích cực của bộ cộng hưởng cơ học tần số thấp tích hợp. Nat. Cộng đồng. 14, 4721 (2023).
Anetsberger, G. và cộng sự. Cơ học quang học khoang trường gần với bộ dao động cơ nano. Nat. Vật lý. 5, 909 tầm 914 (2009).
Anetsberger, G. và cộng sự. Đo chuyển động cơ học nano với độ chính xác dưới giới hạn lượng tử tiêu chuẩn. Thể chất. Rev. A 82, 061804 (2010).
Galinskiy, I., Tsaturyan, Y., Parniak, M. & Polzik, ES Phonon đếm nhiệt kế của bộ cộng hưởng màng siêu kết hợp gần trạng thái chuyển động cơ bản của nó. quang học 7, 718 tầm 725 (2020).
Shaniv, R., Kumar Keshava, S., Reetz, C. & Regal, CA Hiểu hệ số chất lượng của bộ cộng hưởng căng tải khối lượng. Thể chất. Rev. Appl. 19, 031006 (2023).
Kuehn, S., Loring, RF & Marohn, JA Biến động điện môi và nguồn gốc của ma sát không tiếp xúc. Vật lý. Mục sư Lett. 96, 156103 (2006).
Fischer, R. và cộng sự. Phát hiện spin bằng tấm bạt lò xo vi cơ: hướng tới kính hiển vi cộng hưởng từ khai thác cơ chế quang học khoang. Mới J. Phys. 21, 043049 (2019).
Zhang, C., Giroux, M., Nour, TA & St-Gelais, R. Cảm biến bức xạ nhiệt sử dụng cơ học cao Q-nhân tố màng silicon nitrit. TRONG CẢM BIẾN IEEE 2019 1–4 (IEEE, 2019); https://doi.org/10.1109/SENSORS43011.2019.8956551
Piller, M. và cộng sự. Phát hiện hồng ngoại nhiệt với bộ cộng hưởng tấm bạt lò xo silicon nitride cơ điện nano. Cảm biến IEEE J. 23, 1066 tầm 1071 (2023).
Fong, KY, Pernice, WHP & Tang, HX Tần số và nhiễu pha của siêu cao Q bộ cộng hưởng cơ học nano silicon nitride. Vật lý. Mục sư B 85, 161410 (2012).
Gavartin, E., Verlot, P. & Kippenberg, TJ Ổn định bộ dao động cơ nano tuyến tính đến giới hạn nhiệt động của nó. Nat. Cộng đồng. 4, 2860 (2013).
Liu, Y. và cộng sự. Vật liệu, thiết kế và đặc điểm của bộ cộng hưởng sóng âm số lượng lớn: đánh giá. Vi cơ 11, 630 (2020).
Tú, C., Lee, JE-Y. & Zhang, X.-S. Phương pháp phân tích tản nhiệt và Q-các chiến lược nâng cao trong bộ cộng hưởng dao động ngang MEMS áp điện: đánh giá. Cảm biến 20, 4978 (2020).
Hopcroft, MA, Nix, WD & Kenny, TW Mô đun silicon của Young là gì?. J. Vi điện tử. hệ thống. 19, 229 tầm 238 (2010).
Zhang, H. và cộng sự. Đạt đến giới hạn biến dạng đàn hồi lý tưởng trong dây nano silicon Khoa học. Tư vấn. 2, 1501382 (2016).
Tao, Y. và cộng sự. Giảm vĩnh viễn sự tiêu tán trong các bộ cộng hưởng Si cơ học nano bằng cách bảo vệ bề mặt hóa học. Công nghệ nano 26, 465501 (2015).
Klaß, YS, Doster, J., Bückle, M., Braive, R. & Weig, EM Xác định mô đun của Young thông qua phổ mã riêng của bộ cộng hưởng chuỗi cơ nano. Táo. Vật lý. Lett. 121, 083501 (2022).
Petersen, KE Silicon làm vật liệu cơ khí. Proc. IEEE 70, 420 tầm 457 (1982).
Buckle, M. Hệ thống cơ nano dựa trên tinh thể Indium Gallium Phosphide chịu ứng suất kéo. Luận án tiến sĩ, Đại học Konstanz (2020).
Hjort, K., Söderkvist, J. & Schweitz, J.-Å. Gallium arsenide làm vật liệu cơ khí. J. Vi cơ. Microeng. 4, 1 tầm 13 (1994).
Smith, RT & Welsh, FS Sự phụ thuộc nhiệt độ của các hằng số đàn hồi, áp điện và điện môi của lithium tantalate và lithium niobate. J. Appl. Vật lý. 42, 2219 tầm 2230 (1971).
Gruber, M. và cộng sự. Phân tích độ bền và phân tích đứt gãy của LiNbO3 và LiTaO3 tinh thể đơn dưới tải hai trục. J. Eur. gốm sứ. Sóc. 37, 4397 tầm 4406 (2017).
Österlund, E., Kinnunen, J., Rontu, V., Torkkeli, A. & Paulasto-Kröckel, M. Tính chất cơ học và độ tin cậy của màng mỏng nhôm nitrit. J. Hợp kim Compd 772, 306 tầm 313 (2019).
Cleland, AN, Pophristic, M. & Ferguson, I. Bộ cộng hưởng cơ học nano nhôm nitrit đơn tinh thể. Táo. Vật lý. Lett. 79, 2070 tầm 2072 (2001).
Wu, H. và cộng sự. Giảm sự tiêu tán năng lượng nội tại trong các bộ cộng hưởng cơ học kim cương lên tới một triệu hệ số chất lượng. Thể chất. Linh mục Mater. 2, 090601 (2018).
Falin, A. và cộng sự. Tính chất cơ học của boron nitrit mỏng nguyên tử và vai trò của tương tác giữa các lớp. Nat. Cộng đồng. 8, 15815 (2017).
Lee, C., Wei, X., Kysar, JW & Hone, J. Đo tính chất đàn hồi và độ bền nội tại của graphene đơn lớp. Khoa học 321, 385 tầm 388 (2008).
Cleland, AN & Roukes, ML Quá trình tiếng ồn trong bộ cộng hưởng cơ nano. J. Appl. Vật lý. 92, 2758 tầm 2769 (2002).
Gely, MF & Steele, GA Cơ điện tử siêu dẫn để kiểm tra hiệu ứng Diósi–Penrose của thuyết tương đối rộng trong sự chồng chập khối lượng lớn. Khoa học lượng tử AVS. 3, 035601 (2021).
Lubensky, TC, Kane, CL, Mao, X., Souslov, A. & Sun, K. Phonon và độ đàn hồi trong các mạng phối hợp tới hạn. Đại diện Prog. Thể chất. 78, 073901 (2015).
González, G. Đình chỉ nhiễu nhiệt trong máy dò sóng hấp dẫn LIGO. Lớp học. Lực hấp dẫn lượng tử 17, 4409 tầm 4435 (2000).
- Phân phối nội dung và PR được hỗ trợ bởi SEO. Được khuếch đại ngay hôm nay.
- PlatoData.Network Vertical Generative Ai. Trao quyền cho chính mình. Truy cập Tại đây.
- PlatoAiStream. Thông minh Web3. Kiến thức khuếch đại. Truy cập Tại đây.
- Trung tâmESG. Than đá, công nghệ sạch, Năng lượng, Môi trường Hệ mặt trời, Quản lý chất thải. Truy cập Tại đây.
- PlatoSức khỏe. Tình báo thử nghiệm lâm sàng và công nghệ sinh học. Truy cập Tại đây.
- nguồn: https://www.nature.com/articles/s41565-023-01597-8
