東京、31年2024月XNUMX日 – (JCN Newswire) –　田中貴金属の中核会社の一つとして工業用貴金属製品の開発を行う田中貴金属工業株式会社（本社：東京都千代田区、グループCEO：田中耕一郎）は、治具の洗浄方法「治具の洗浄方法」を確立したことを発表しました。 TANAKA グリーンシールド。このクリーニング方法は、半導体製造などで使用される真空成膜装置[1]の構成部品である防着板[2]にニッケルメッキを施しているのが特徴です。ニッケルメッキの防着板を使用すると、白金やパラジウムなどのPGM[3]スパッタ膜が板から剥がれやすくなります。

TANAKAはこのユースケースに向けたリサイクル事業を展開しています。回収した貴金属は、スパッタリング装置や真空蒸着装置などの真空成膜装置の主にステンレス製の部品に付着したスパッタ膜を剥離した後、精製され、精密洗浄された部品とともにお客様に返却されます。

TANAKA独自の下地めっき技術を活かした洗浄方法です。防着板にニッケルメッキを施すことにより、基材を傷めることなくPGMスパッタ膜を化成処理により剥離することができます。この方法により、従来の方法に比べてPGMスパッタ膜の剥離が容易となるため、装置洗浄時の洗浄剤の使用量を削減し、環境負荷の低減に貢献することが期待されます。この方法により、粉砕時に飛散する貴金属の回収ロスが軽減されるため、低コストで高いPGM回収率が期待できます。

TANAKA は、さまざまな部品の形状やサイズをサポートする TANAKA Green Shield システムを開発し、2025 年までに PGM フィルムの回収率を現在のレベルの XNUMX 倍に拡大することを目指しています。

治具の洗浄方法

真空成膜装置部品の治具洗浄方法には物理的剥離（ブラスト洗浄）やアルミ溶射による下地膜形成など複数の方法があります。治具の洗浄方法としては、研磨剤（洗浄剤）を吹き付けて付着膜を除去する物理的剥離法が、安価であることから現在広く使われています。研磨剤を使用すると基材の表面に傷がつき、基材の寿命が短くなります。この方法のもう 1 つの欠点は、プロセス中に材料が飛散し、貴金属回収の損失が発生することです。

付着皮膜を剥離するもう一つの方法として、治具洗浄によるアルミ溶射皮膜形成法があります。そのためには、防着板にあらかじめアルミニウムを溶射法でコーティングし、その後薬品でアルミニウムを溶解する必要がある。このアプローチの欠点には、アルミニウム コーティングのない表面から付着したフィルムを回収する際の課題、およびアルミニウム フィルムの形成に関連するコストの上昇が含まれます。

TANAKAグリーンシールドは、防着板にニッケルメッキを施して使用する下地処理工法です。たとえば、スパッタリングプロセスでプレートを使用した後、付着防止プレートと PGM スパッタ膜の間のニッケルメッキコーティングのみが溶解します。これにより、PGMスパッタ膜だけでなく、様々な組成の付着膜を基材にダメージを与えることなくプレートから剥離することができます。防着板やスパッタ膜との密着性が高く、スパッタ膜の剥離によるスパッタ欠陥を防止できる下地処理剤です。この方法では、さまざまな形状の部品にもニッケルめっきを施すことができます。この洗浄方法は、基材の劣化を防止できる上、アルミニウム成膜法に比べて安価です。また、洗浄剤の使用量も少なくて済むため、環境に優しい次世代の治具洗浄方法です。

TANAKAとサーキュラーエコノミー

TANAKAは1885年の創業以来、貴金属リサイクル事業を続けてまいりました。当社は、長年の貴金属研究で培ったこれまでの貴金属リサイクル技術に加え、新たな貴金属リサイクル技術を盛り込んだ「TANAKAグリーンシールド」の開発を進めています。 TANAKAの貴金属リサイクル事業は、限りある貴金属資源のリサイクルを推進し、循環型経済の実現に貢献します。

[1] 付着防止板：成膜室（物理反応や化学反応を起こすための密閉反応容器）の内壁に膜が付着するのを防止するために設置される板。
[2]真空成膜装置：半導体製造におけるスパッタリングや蒸着などの薄膜形成プロセスに使用される装置
注3）PGM：貴金属XNUMX種（白金、パラジウム、ロジウム、ルテニウム、イリジウム、オスミウム）からなる白金族金属

TANAKA貴金属について

田中貴金属グループは、1885年の創業以来、貴金属を中心に多様なビジネス用途をサポートする製品ポートフォリオを構築してきました。 TANAKAは貴金属の取扱量においては国内トップクラスです。 TANAKAは長年にわたり、産業用貴金属製品の製造・販売だけでなく、宝飾品や資産などの貴金属を提供してきました。 貴金属のスペシャリストとして、国内外のグループ会社が製造・販売・技術開発に連携・協力し、あらゆる製品・サービスを提供しています。 従業員数は５３５５人で、２０２３年３月期のグループ連結売上高は６８００億円。

グローバル産業ビジネスのウェブサイト
https://tanaka-preciousmetals.com/en/

製品のお問い合わせ
田中貴金属工業株式会社
https://tanaka-preciousmetals.com/en/inquiries-on-industrial-products/

プレスのお問い合わせ
田中ホールディングス株式会社
https://tanaka-preciousmetals.com/en/inquiries-for-media/

プレスリリース： http://www.acnnewswire.com/docs/files/20240131EN.pdf 

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• 情報源： https://www.jcnnewswire.com/pressrelease/88725/3/