3B yapıların üretilmesi, neyin kaldırıldığı ve neyin bir gofret üzerinde kaldığı konusunda atomik düzeyde kontrol gerektirecektir.
Sonrası Yeni Nesil Yongalar İçin Son Derece Seçici Etch Çıktı İlk çıktı Yarıiletken Mühendisliği.