Zephyrnet-logo

Micro- en nanomechanische resonatoren met ultrahoge kwaliteitsfactor die gebruik maken van dissipatieverdunning - Nature Nanotechnology

Datum:

  • Huang, YL & Saulson, PR Dissipatiemechanismen in slingers en hun implicaties voor zwaartekrachtgolfinterferometers. ds. Sci. Instrument. 69, 544â € "553 (1998).

    Artikel 
    ADS 
    CAS 

    Google Scholar
     

  • González, GI & Saulson, PR Brownse beweging van een massa opgehangen aan een anelastische draad. J. Acoust. Soc. Ben. 96, 207â € "212 (1994).

    Artikel 
    ADS 

    Google Scholar
     

  • Valette, C. & Cuesta, C. Mécanique de la Corde Vibrante (Hermes Science Publicaties, 1993).

  • Unterreithmeier, QP, Faust, T. & Kotthaus, JP Demping van nanomechanische resonatoren. Phys. Lett. 105, 027205 (2010).

    Artikel 
    ADS 
    PubMed 

    Google Scholar
     

  • Fedorov, SA et al. Gegeneraliseerde dissipatieverdunning in gespannen mechanische resonatoren. Fys. Rev. B 99, 054107 (2019).

    Artikel 
    ADS 
    CAS 

    Google Scholar
     

  • Verbridge, SS, Parpia, JM, Reichenbach, RB, Bellan, LM & Craighead, HG Resonantie met hoge kwaliteitsfactor bij kamertemperatuur met nanostrings onder hoge trekspanning. J. Appl. Fys. 99, 124304 (2006).

    Artikel 
    ADS 

    Google Scholar
     

  • Verbridge, SS, Craighead, HG & Parpia, JM Een megahertz nanomechanische resonator met een kwaliteitsfactor bij kamertemperatuur van meer dan een miljoen. toepassing Fys. Let. 92, 013112 (2008).

    Artikel 
    ADS 

    Google Scholar
     

  • Thompson, JD et al. Sterke dispersieve koppeling van een holte met hoge finesse aan een micromechanisch membraan. NATUUR 452, 72â € "75 (2008).

    Artikel 
    ADS 
    CAS 
    PubMed 

    Google Scholar
     

  • Phillips, WA Staten met twee niveaus in glazen. Rep. Prog. Fys. 50, 1657â € "1708 (1987).

    Artikel 
    ADS 
    CAS 

    Google Scholar
     

  • Ghani, T. et al. Een 90 nm hoogvolume productielogicatechnologie met nieuwe gespannen silicium CMOS-transistoren met een poortlengte van 45 nm. In IEEE Internationale Electron Devices Meeting 2003 11.6.1-11.6.3 (IEEE, 2003); https://doi.org/10.1109/IEDM.2003.1269442

  • Southworth, DR et al. Stress en siliciumnitride: een scheur in de universele dissipatie van glazen. Phys. Lett. 102, 225503 (2009).

    Artikel 
    ADS 
    CAS 
    PubMed 

    Google Scholar
     

  • Wu, J. & Yu, CC Hoe stress de dissipatie in een bril kan verminderen. Fys. Rev. B 84, 174109 (2011).

    Artikel 
    ADS 

    Google Scholar
     

  • Tsaturyan, Y., Barg, A., Polzik, ES & Schliesser, A. Ultracoherente nanomechanische resonatoren via zachte klemming en dissipatieverdunning. nat. Nanotechnologie. 12, 776â € "783 (2017).

    Artikel 
    CAS 
    PubMed 
    PubMed Central 

    Google Scholar
     

  • Ghadimi, AH et al. Elastische spanningstechniek voor ultralage mechanische dissipatie. Wetenschap 360, 764â € "768 (2018).

    Artikel 
    WiskundeSciNet 
    CAS 
    PubMed 

    Google Scholar
     

  • Bereyhi, MJ et al. Hiërarchische trekstructuren met ultralage mechanische dissipatie. Nat. Commun. 13, 3097 (2022).

    Artikel 
    ADS 
    CAS 
    PubMed 
    PubMed Central 

    Google Scholar
     

  • Shin, D. et al. Spiderweb nanomechanische resonatoren via Bayesiaanse optimalisatie: geïnspireerd door de natuur en geleid door machinaal leren. Adv. zaak. 34, 2106248 (2022).

    Artikel 
    CAS 

    Google Scholar
     

  • Bereyhi, MJ et al. Perimetermodi van nanomechanische resonatoren vertonen kwaliteitsfactoren groter dan 109 op kamertemperatuur. Fys. Rev. X 12, 021036 (2022).

    CAS 

    Google Scholar
     

  • Cupertino, A. et al. Nanomechanische resonatoren op centimeterschaal met lage dissipatie. Voordruk op https://arxiv.org/abs/2308.00611 (2023).

  • Beccari, A. et al. Gespannen kristallijne nanomechanische resonatoren met kwaliteitsfactoren boven de 10 miljard. nat. Fysio 18, 436â € "441 (2022).

    Artikel 
    CAS 

    Google Scholar
     

  • Unterreithmeier, QP, Weig, EM & Kotthaus, JP Universeel transductieschema voor nanomechanische systemen gebaseerd op diëlektrische krachten. NATUUR 458, 1001â € "1004 (2009).

    Artikel 
    ADS 
    CAS 
    PubMed 

    Google Scholar
     

  • Bagci, T. et al. Optische detectie van radiogolven via een nanomechanische transducer. NATUUR 507, 81â € "85 (2014).

    Artikel 
    ADS 
    CAS 
    PubMed 

    Google Scholar
     

  • Chien, M.-H., Brameshuber, M., Rossboth, BK, Schütz, GJ & Schmid, S. Optische absorptiebeeldvorming met één molecuul door nanomechanische fotothermische detectie. Proc. Natl Acad. Sci. Verenigde Staten van Amerika 115, 11150â € "11155 (2018).

    Artikel 
    ADS 
    CAS 
    PubMed 
    PubMed Central 

    Google Scholar
     

  • Aspelmeyer, M., Kippenberg, TJ & Marquardt, F. Cavity optomechanica. Rev. Mod. Fys. 86, 1391â € "1452 (2014).

    Artikel 
    ADS 

    Google Scholar
     

  • Underwood, M. et al. Meting van de bewegingszijbanden van een oscillator op nanogramschaal in het kwantumregime. Fys. Rev. A 92, 061801 (2015).

    Artikel 
    ADS 

    Google Scholar
     

  • Purdy, TP, Yu, P.-L., Peterson, RW, Kampel, NS & Regal, CA Sterke optomechanische knijpbeweging van licht. Fys. Rev. X 3, 031012 (2013).

    CAS 

    Google Scholar
     

  • Nielsen, WHP, Tsaturyan, Y., Møller, CB, Polzik, ES & Schliesser, A. Multimode optomechanisch systeem in het kwantumregime. Proc. Natl Acad. Sci. Verenigde Staten van Amerika 114, 62â € "66 (2017).

    Artikel 
    ADS 
    PubMed 

    Google Scholar
     

  • Peterson, RW et al. Laserkoeling van een micromechanisch membraan tot de kwantumbackactielimiet. Phys. Lett. 116, 063601 (2016).

    Artikel 
    ADS 
    CAS 
    PubMed 

    Google Scholar
     

  • Rossi, M., Mason, D., Chen, J., Tsaturyan, Y. & Schliesser, A. Op metingen gebaseerde kwantumcontrole van mechanische beweging. NATUUR 563, 53â € "58 (2018).

    Artikel 
    ADS 
    CAS 
    PubMed 

    Google Scholar
     

  • Saarinen, SA, Kralj, N., Langman, EC, Tsaturyan, Y. & Schliesser, A. Laserkoeling van een membraan-in-het-midden-systeem dichtbij de kwantumgrondtoestand vanaf kamertemperatuur. optica 10, 364â € "372 (2023).

    Artikel 
    ADS 
    CAS 

    Google Scholar
     

  • Seis, Y. et al. Grondtoestandkoeling van een ultracoherent elektromechanisch systeem. Nat. Commun. 13, 1507 (2022).

    Artikel 
    ADS 
    CAS 
    PubMed 
    PubMed Central 

    Google Scholar
     

  • Mason, D., Chen, J., Rossi, M., Tsaturyan, Y. & Schliesser, A. Continue kracht- en verplaatsingsmeting onder de standaard kwantumlimiet. nat. Fys. 15, 745â € "749 (2019).

    Artikel 
    CAS 

    Google Scholar
     

  • Jöckel, A. et al. Sympathische koeling van een membraanoscillator in een hybride mechanisch-atomair systeem. nat. Nanotechnologie. 10, 55â € "59 (2015).

    Artikel 
    ADS 
    PubMed 

    Google Scholar
     

  • Møller, CB et al. Kwantum-back-action-ontwijkende meting van beweging in een negatief massareferentieframe. NATUUR 547, 191â € "195 (2017).

    Artikel 
    ADS 
    PubMed 

    Google Scholar
     

  • Karg,TM et al. Lichtgemedieerde sterke koppeling tussen een mechanische oscillator en atomaire spins op 1 meter afstand van elkaar. Wetenschap 369, 174â € "179 (2020).

    Artikel 
    ADS 
    WiskundeSciNet 
    CAS 
    PubMed 

    Google Scholar
     

  • Thomas, RA et al. Verstrengeling tussen verre macroscopische mechanische en spinsystemen. nat. Fys. 17, 228â € "233 (2021).

    Artikel 
    CAS 

    Google Scholar
     

  • Schmid, G.-L. et al. Coherente feedbackkoeling van een nanomechanisch membraan met atomaire spins. Fys. Rev. X 12, 011020 (2022).

    CAS 

    Google Scholar
     

  • Andrews, RW et al. Bidirectionele en efficiënte conversie tussen microgolf- en optisch licht. nat. Fys. 10, 321â € "326 (2014).

    Artikel 
    CAS 

    Google Scholar
     

  • Higginbotham, AP et al. Elektro-optische correlaties benutten in een efficiënte mechanische omzetter. nat. Fys. 14, 1038â € "1042 (2018).

    Artikel 
    CAS 

    Google Scholar
     

  • Delaney, RD et al. Supergeleidende qubit-uitlezing via elektro-optische transductie met lage backactie. NATUUR 606, 489â € "493 (2022).

    Artikel 
    ADS 
    CAS 
    PubMed 

    Google Scholar
     

  • Košata, J., Zilberberg, O., Degen, CL, Chitra, R. & Eichler, A. Spindetectie via parametrische frequentieconversie in een membraanresonator. Fys. Rev. Appl. 14, 014042 (2020).

    Artikel 
    ADS 

    Google Scholar
     

  • Hälg, D. et al. Membraangebaseerde scanningkrachtmicroscopie. Fys. Rev. Appl. 15, 021001 (2021).

    Artikel 
    ADS 

    Google Scholar
     

  • Krause, AG, Winger, M., Blasius, TD, Lin, Q. & Painter, O. Een optomechanische versnellingsmeter met een microchip met hoge resolutie. Nat. Foton. 6, 768â € "772 (2012).

    Artikel 
    ADS 
    CAS 

    Google Scholar
     

  • Zhou, F. et al. Breedband thermomechanisch beperkte detectie met een optomechanische versnellingsmeter. optica 8, 350â € "356 (2021).

    Artikel 
    ADS 

    Google Scholar
     

  • Pratt, JR et al. Torsiedissipatieverdunning op nanoschaal voor kwantumexperimenten en precisiemetingen. Fys. Rev. X 13, 011018 (2023).

    CAS 

    Google Scholar
     

  • Carney, D. et al. Mechanische kwantumdetectie in de zoektocht naar donkere materie. Kwantumwetenschap. technologie. 6, 024002 (2021).

    Artikel 
    ADS 

    Google Scholar
     

  • Manley, J., Chowdhury, MD, Grin, D., Singh, S. & Wilson, DJ Op zoek naar vector-donkere materie met een optomechanische versnellingsmeter. Phys. Lett. 126, 061301 (2021).

    Artikel 
    ADS 
    CAS 
    PubMed 

    Google Scholar
     

  • Gillespie, DT Fluctuatie en dissipatie in de Brownse beweging. Ben. J. Fys. 61, 1077â € "1083 (1993).

    Artikel 
    ADS 

    Google Scholar
     

  • Saulson, PR Thermische ruis in mechanische experimenten. Fys. Ds. D. 42, 2437 (1990).

    Artikel 
    ADS 
    CAS 

    Google Scholar
     

  • Wilson, DJ, Regal, CA, Papp, SB & Kimble, HJ Cavity-optomechanica met stoichiometrische SiN-films. Phys. Lett. 103, 207204 (2009).

    Artikel 
    ADS 
    CAS 
    PubMed 

    Google Scholar
     

  • Nowick, AS en Berry, BS Anelastische ontspanning in kristallijne vaste stoffen (Academische pers, 1972).

  • Villanueva, LG & Schmid, S. Bewijs van oppervlakteverlies als alomtegenwoordig beperkend dempingsmechanisme in SiN micro- en nanomechanische resonatoren. Phys. Lett. 113, 227201 (2014).

    Artikel 
    ADS 
    CAS 
    PubMed 

    Google Scholar
     

  • Høj, D., Hoff, UB & Andersen, UL Ultra-coherente nanomechanische resonatoren gebaseerd op fononische kristaltechniek met dichtheid. Voordruk op https://arxiv.org/abs/2207.06703 (2022).

  • Schmid, S., Villanueva, LG & Roukes, ML (red.) Grondbeginselen van nanomechanische resonatoren (Springer, 2023).

  • Enns, C. & Hunklinger, S. Fysica bij lage temperaturen (Springer, 2005).

  • Kleiman, RN, Agnolet, G. & Bishop, DJ Tweeniveausystemen waargenomen in de mechanische eigenschappen van monokristallijn silicium bij lage temperaturen. Phys. Lett. 59, 2079â € "2082 (1987).

    Artikel 
    ADS 
    CAS 
    PubMed 

    Google Scholar
     

  • Hauer, BD, Kim, PH, Doolin, C., Souris, F. & Davis, JP Systeemdemping op twee niveaus in een quasi-eendimensionale optomechanische resonator. Fys. Rev. B 98, 214303 (2018).

    Artikel 
    ADS 
    CAS 

    Google Scholar
     

  • MacCabe, GS et al. Nano-akoestische resonator met ultralange fonon-levensduur. Wetenschap 370, 840â € "843 (2020).

    Artikel 
    ADS 
    CAS 
    PubMed 

    Google Scholar
     

  • Wollack, EA et al. Verlieskanalen die de fononische kristalresonatoren van lithiumniobaat beïnvloeden bij cryogene temperatuur. toepassing Fys. Let. 118, 123501 (2021).

    Artikel 
    ADS 
    CAS 

    Google Scholar
     

  • Zener, C. Interne wrijving in vaste stoffen II. Algemene theorie van thermo-elastische interne wrijving. Fys. ds. 53, 90â € "99 (1938).

    Artikel 
    ADS 

    Google Scholar
     

  • Lifshitz, R. & Roukes, ML Thermo-elastische demping in micro- en nanomechanische systemen. Fys. Rev. B 61, 5600â € "5609 (2000).

    Artikel 
    ADS 
    CAS 

    Google Scholar
     

  • Kiselev, AA & Iafrate, GJ Phonon-dynamiek en fonon-ondersteunde verliezen in Euler-Bernoulli-nanobundels. Fys. Rev. B 77, 205436 (2008).

    Artikel 
    ADS 

    Google Scholar
     

  • Bao, M., Yang, H., Yin, H. & Sun, Y. Energieoverdrachtsmodel voor luchtdemping met knijpfilm in laag vacuüm. J.Micromech. Microeng. 12, 341â € "346 (2002).

    Artikel 
    ADS 

    Google Scholar
     

  • Cross, MC & Lifshitz, R. Elastische golftransmissie op een abrupte kruising in een dunne plaat met toepassing op warmtetransport en trillingen in mesoscopische systemen. Fys. Rev. B 64, 085324 (2001).

    Artikel 
    ADS 

    Google Scholar
     

  • Cole, GD, Wilson-Rae, I., Werbach, K., Vanner, MR & Aspelmeyer, M. Phonon-tunneling dissipatie in mechanische resonatoren. Nat. Commun. 2, 231 (2011).

    Artikel 
    ADS 
    PubMed 

    Google Scholar
     

  • Wilson-Rae, I. et al. Hoog-Q nanomechanica via destructieve interferentie van elastische golven. Phys. Lett. 106, 047205 (2011).

    Artikel 
    ADS 
    CAS 
    PubMed 

    Google Scholar
     

  • Ghadimi, AH, Wilson, DJ & Kippenberg, TJ Straling en interne verliestechniek van siliciumnitride-nanobundels met hoge spanning. Nano Let. 17, 3501â € "3505 (2017).

    Artikel 
    ADS 
    CAS 
    PubMed 

    Google Scholar
     

  • Jöckel, A. et al. Spectroscopie van mechanische dissipatie in micromechanische membranen. toepassing Fys. Let. 99, 143109 (2011).

    Artikel 
    ADS 

    Google Scholar
     

  • Borrielli, A. et al. Controle van terugslagverliezen in nanomechanische SiN-membraanresonatoren. Fys. Rev. B 94, 121403 (2016).

    Artikel 
    ADS 

    Google Scholar
     

  • Schmid, S., Jensen, KD, Nielsen, KH & Boisen, A. Dempingsmechanismen in hoge-Q micro- en nanomechanische snaarresonatoren. Fys. Rev. B 84, 165307 (2011).

    Artikel 
    ADS 

    Google Scholar
     

  • Yu, P.-L., Purdy, TP & Regal, CA Controle van materiaaldemping in hogeQ membraan microresonatoren. Phys. Lett. 108, 083603 (2012).

    Artikel 
    ADS 
    PubMed 

    Google Scholar
     

  • Landau, LD, Lifshitz, EM, Pitaevskii, LP & Kosevich, AM Theorie van elasticiteit. Cursus theoretische natuurkunde Vol. 7 (Pergamon, 1986).

  • Catalini, L., Rossi, M., Langman, EC & Schliesser, A. Modellering en observatie van niet-lineaire demping in door dissipatie verdunde nanomechanische resonatoren. Phys. Lett. 126, 174101 (2021).

    Artikel 
    ADS 
    CAS 
    PubMed 

    Google Scholar
     

  • Bachtold, A., Moser, J. & Dykman, MI Mesoscopische fysica van nanomechanische systemen. Rev. Mod. Fys. 94, 045005 (2022).

    Artikel 
    ADS 
    WiskundeSciNet 
    CAS 

    Google Scholar
     

  • Bereyhi, MJ et al. Het taps toelopen van de klem verhoogt de kwaliteitsfactor van gespannen nanobalken. Nano Let. 19, 2329â € "2333 (2019).

    Artikel 
    ADS 
    CAS 
    PubMed 

    Google Scholar
     

  • Sadeghi, P., Tanzer, M., Christensen, SL & Schmid, S. Invloed van klemverbreding op de kwaliteitsfactor van nanomechanische siliciumnitrideresonatoren. J. Appl. Fys. 126, 165108 (2019).

    Artikel 
    ADS 

    Google Scholar
     

  • Reinhardt, C., Müller, T., Bourassa, A. & Sankey, JC Ultralow-noise SiN-trampolineresonatoren voor detectie en optomechanica. Fys. Rev. X 6, 021001 (2016).

  • Norte, RA, Moura, JP & Gröblacher, S. Mechanische resonatoren voor kwantumoptomechanica-experimenten bij kamertemperatuur. Phys. Lett. 116, 147202 (2016).

    Artikel 
    ADS 
    CAS 
    PubMed 

    Google Scholar
     

  • Wilson, dj Holte-optomechanica met siliciumnitridefilms met hoge spanning. proefschrift, California Institute of Technology (2012); https://doi.org/10.7907/VB3C-1G76

  • Chakram, S., Patil, YS, Chang, L. & Vengalattore, M. Dissipatie in SiN-membraanresonatoren met ultrahoge kwaliteitsfactor. Phys. Lett. 112, 127201 (2014).

    Artikel 
    ADS 
    CAS 
    PubMed 

    Google Scholar
     

  • Yu, P.-L. et al. Een fononische bandgap-schild voor hoge-Q membraan microresonatoren. toepassing Fys. Let. 104, 023510 (2014).

    Artikel 
    ADS 

    Google Scholar
     

  • Tsaturyan, Y. et al. Demonstratie van onderdrukte fonon-tunnelverliezen in fononische bandgap-afgeschermde membraanresonatoren voor hoog-Q optomechanica. Opt. uitdrukken 22, 6810â € "6821 (2014).

    Artikel 
    ADS 
    PubMed 

    Google Scholar
     

  • Weaver, MJ et al. Geneste trampolineresonatoren voor optomechanica. toepassing Fys. Let. 108, 033501 (2016).

    Artikel 
    ADS 

    Google Scholar
     

  • Serra, E. et al. Siliciumnitride MOMS-oscillator voor kwantumoptomechanica bij kamertemperatuur. J. Micro-elektrotechniek. Syst. 27, 1193â € "1203 (2018).

    Artikel 
    CAS 

    Google Scholar
     

  • Reetz, C. et al. Analyse van membraanfononische kristallen met brede bandafstanden en defecten met lage massa. Fys. Rev. Appl. 12, 044027 (2019).

    Artikel 
    ADS 
    CAS 

    Google Scholar
     

  • Fedorov, SA et al. Thermische intermodulatieruis in holtegebaseerde metingen. optica 7, 1609â € "1616 (2020).

    Artikel 
    ADS 

    Google Scholar
     

  • Guo, J., Norte, R. & Gröblacher, S. Feedbackkoeling van een mechanische oscillator op kamertemperatuur dichtbij zijn bewegende grondtoestand. Phys. Lett. 123, 223602 (2019).

    Artikel 
    ADS 
    CAS 
    PubMed 

    Google Scholar
     

  • Fedorov, S. Mechanische resonatoren met hoge dissipatieverdunning bij precisie- en kwantummetingen. PhD thesis, EPFL, Lausanne (2021); https://doi.org/10.5075/epfl-thesis-10421

  • Fedorov, SA, Beccari, A., Engelsen, NJ & Kippenberg, TJ Fractal-achtige mechanische resonatoren met een zachtgeklemde fundamentele modus. Phys. Lett. 124, 025502 (2020).

    Artikel 
    ADS 
    CAS 
    PubMed 

    Google Scholar
     

  • Høj, D. et al. Ultra-coherente nanomechanische resonatoren gebaseerd op invers ontwerp. Nat. Commun. 12, 5766 (2021).

    Artikel 
    ADS 
    PubMed 
    PubMed Central 

    Google Scholar
     

  • Davenport, WB & Root, WL Een inleiding tot de theorie van willekeurige signalen en ruis (Wiley-IEEE, 1987).

  • Zwickl, BM et al. Hoogwaardige mechanische en optische eigenschappen van commerciële siliciumnitridemembranen. toepassing Fys. Let. 92, 103125 (2008).

    Artikel 
    ADS 

    Google Scholar
     

  • Renninger, WH, Kharel, P., Behunin, RO & Rakich, PT Bulk kristallijne optomechanica. nat. Fys. 14, 601â € "607 (2018).

    Artikel 
    CAS 

    Google Scholar
     

  • Sementilli, L., Romero, E. & Bowen, WP Nanomechanische dissipatie en rektechniek. Adv. Functie Mater. 32, 2105247 (2022).

    Artikel 
    CAS 

    Google Scholar
     

  • Kermany, AR et al. Microresonatoren met Q-factoren van meer dan een miljoen van hoogbelast epitaxiaal siliciumcarbide op silicium. toepassing Fys. Let. 104, 081901 (2014).

    Artikel 
    ADS 

    Google Scholar
     

  • Romero, E. et al. Engineering van de dissipatie van kristallijne micromechanische resonatoren. Fys. Rev. Appl. 13, 044007 (2020).

    Artikel 
    ADS 
    CAS 

    Google Scholar
     

  • Cole, GD et al. Trek-gespannen InxGa1-xP-membranen voor holte-optomechanica. toepassing Fys. Let. 104, 201908 (2014).

    Artikel 
    ADS 

    Google Scholar
     

  • Bückle, M. et al. Spanningscontrole van door trek belaste In1-xGaxP nanomechanische snaarresonatoren. toepassing Fys. Let. 113, 201903 (2018).

    Artikel 
    ADS 

    Google Scholar
     

  • Manjeshwar, SK et al. Hoog-Q trampolineresonatoren van gespannen kristallijn InGaP voor geïntegreerde optomechanica in de vrije ruimte. Nano Let. 23, 5076â € "5082 (2023).

    Artikel 
    ADS 
    CAS 
    PubMed 
    PubMed Central 

    Google Scholar
     

  • Liu, J. et al. Hoog-Q optomechanische GaAs-nanomembranen. toepassing Fys. Let. 99, 243102 (2011).

    Artikel 
    ADS 

    Google Scholar
     

  • Minamisawa, RA et al. Top-down vervaardigde silicium nanodraden onder elastische trekspanning tot 4.5%. Nat. Commun. 3, 1096 (2012).

    Artikel 
    ADS 
    CAS 
    PubMed 

    Google Scholar
     

  • Dang, C. et al. Het bereiken van een grote uniforme trekelasticiteit in microgefabriceerde diamant. Wetenschap 371, 76â € "78 (2021).

    Artikel 
    ADS 
    CAS 
    PubMed 

    Google Scholar
     

  • Xu, M. et al. Hoogwaardig amorf siliciumcarbide voor nanomechanica. Adv. zaak. 36, 2306513 (2023).

    Artikel 

    Google Scholar
     

  • Tao, Y., Boss, JM, Moores, BA & Degen, CL Nanomechanische resonatoren met één kristaldiamant met kwaliteitsfactoren van meer dan een miljoen. Nat. Commun. 5, 3638 (2014).

    Artikel 
    ADS 
    CAS 
    PubMed 

    Google Scholar
     

  • Yuan, M., Cohen, MA & Steele, GA Siliciumnitride-membraanresonatoren bij millikelvin-temperaturen met kwaliteitsfactoren groter dan 108. toepassing Fys. Let. 107, 263501 (2015).

    Artikel 
    ADS 

    Google Scholar
     

  • Manjeshwar, SK et al. Opgeschorte fotonische kristalmembranen in AlGaAs-heterostructuren voor geïntegreerde optomechanica met meerdere elementen. toepassing Fys. Let. 116, 264001 (2020).

    Artikel 
    ADS 

    Google Scholar
     

  • Fitzgerald, JM, Manjeshwar, SK, Wieczorek, W. & Tassin, P. Holte-optomechanica met fotonische gebonden toestanden in het continuüm. Fys. Rev. Res. 3, 013131 (2021).

    Artikel 
    CAS 

    Google Scholar
     

  • Manjeshwar, SK et al. Geïntegreerde optomechanica met microholten met een opgehangen fotonische kristalspiegel boven een gedistribueerde Bragg-reflector. Opt. uitdrukken 31, 30212â € "30226 (2023).

    Artikel 
    CAS 

    Google Scholar
     

  • Purdy, TP, Peterson, RW & Regal, CA Observatie van stralingsdrukschotgeluid op een macroscopisch object. Wetenschap 339, 801â € "804 (2013).

    Artikel 
    ADS 
    CAS 
    PubMed 

    Google Scholar
     

  • Kampel, NS et al. Verbetering van de detectie van breedbandverplaatsingen met kwantumcorrelaties. Fys. Rev. X 7, 021008 (2017).


    Google Scholar
     

  • Brubaker, BM et al. Optomechanische grondtoestandkoeling in een continue en efficiënte elektro-optische transducer. Fys. Rev. X 12, 021062 (2022).

    CAS 

    Google Scholar
     

  • Wilson, DJ et al. Op metingen gebaseerde regeling van een mechanische oscillator met zijn thermische decoherentiesnelheid. NATUUR 524, 325â € "329 (2015).

    Artikel 
    ADS 
    CAS 
    PubMed 

    Google Scholar
     

  • Sudhir, V. et al. Verschijning en verdwijning van kwantumcorrelaties in op metingen gebaseerde feedbackcontrole van een mechanische oscillator. Fys. Rev. X 7, 011001 (2017).


    Google Scholar
     

  • Guo, J. & Gröblacher, S. Geïntegreerde optische uitlezing van een hoogwaardige mechanische out-of-plane-modus. Lichte wetenschap. Toepasselijk 11, 282 (2022).

    Artikel 
    ADS 
    CAS 
    PubMed 
    PubMed Central 

    Google Scholar
     

  • Guo, J., Chang, J., Yao, X. & Gröblacher, S. Kwantumcontrole met actieve feedback van een geïntegreerde laagfrequente mechanische resonator. Nat. Commun. 14, 4721 (2023).

    Artikel 
    ADS 
    CAS 
    PubMed 
    PubMed Central 

    Google Scholar
     

  • Anetsberger, G. et al. Near-field-holte-optomechanica met nanomechanische oscillatoren. nat. Fys. 5, 909â € "914 (2009).

    Artikel 
    CAS 

    Google Scholar
     

  • Anetsberger, G. et al. Het meten van nanomechanische beweging met een onnauwkeurigheid onder de standaard kwantumlimiet. Fys. Rev. A 82, 061804 (2010).

    Artikel 
    ADS 

    Google Scholar
     

  • Galinskiy, I., Tsaturyan, Y., Parniak, M. & Polzik, ES Phonon-telthermometrie van een ultracoherente membraanresonator nabij zijn bewegende grondtoestand. optica 7, 718â € "725 (2020).

    Artikel 
    ADS 
    CAS 

    Google Scholar
     

  • Shaniv, R., Kumar Keshava, S., Reetz, C. & Regal, CA Inzicht in de kwaliteitsfactor van massabelaste gespannen resonatoren. Fys. Rev. Appl. 19, 031006 (2023).

    Artikel 
    ADS 

    Google Scholar
     

  • Kuehn, S., Loring, RF & Marohn, JA Diëlektrische fluctuaties en de oorsprong van contactloze wrijving. Phys. Lett. 96, 156103 (2006).

    Artikel 
    ADS 
    PubMed 
    PubMed Central 

    Google Scholar
     

  • Fischer, R. et al. Spindetectie met een micromechanische trampoline: naar magnetische resonantiemicroscopie waarbij gebruik wordt gemaakt van holte-optomechanica. Nieuwe J. Phys. 21, 043049 (2019).

    Artikel 
    ADS 
    CAS 

    Google Scholar
     

  • Zhang, C., Giroux, M., Nour, TA & St-Gelais, R. Thermische stralingsdetectie met behulp van hoge mechanische Q-factor siliciumnitride-membranen. In 2019 IEEE-SENSOREN 1-4 (IEEE, 2019); https://doi.org/10.1109/SENSORS43011.2019.8956551

  • Piller, M. et al. Thermische IR-detectie met nano-elektromechanische siliciumnitride trampolineresonatoren. IEEE-sens. J. 23, 1066â € "1071 (2023).

    Artikel 
    ADS 
    CAS 

    Google Scholar
     

  • Fong, KY, Pernice, WHP & Tang, HX Frequentie en faseruis van ultrahoog Q nanomechanische resonatoren van siliciumnitride. Fys. Rev. B 85, 161410 (2012).

    Artikel 
    ADS 

    Google Scholar
     

  • Gavartin, E., Verlot, P. & Kippenberg, TJ Stabilisatie van een lineaire nanomechanische oscillator tot zijn thermodynamische limiet. Nat. Commun. 4, 2860 (2013).

    Artikel 
    ADS 
    PubMed 

    Google Scholar
     

  • Liu, Y. et al. Materialen, ontwerp en kenmerken van bulk-akoestische golfresonator: een overzicht. micromachines 11, 630 (2020).

    Artikel 
    CAS 
    PubMed 
    PubMed Central 

    Google Scholar
     

  • Tu, C., Lee, JE-Y. & Zhang, X.-S. Dissipatieanalysemethoden en Q-verbeteringsstrategieën in piëzo-elektrische MEMS lateraal trillende resonatoren: een overzicht. Sensoren 20, 4978 (2020).

    Artikel 
    ADS 
    CAS 
    PubMed 
    PubMed Central 

    Google Scholar
     

  • Hopcroft, MA, Nix, WD & Kenny, TW Wat is de Young's modulus van silicium?. J. Micro-elektrotechniek. Syst. 19, 229â € "238 (2010).

    Artikel 
    CAS 

    Google Scholar
     

  • Zhang, H. et al. Het naderen van de ideale elastische reklimiet in silicium nanodraden. Wetenschap. Adv. 2, 1501382 (2016).

    Artikel 
    ADS 

    Google Scholar
     

  • Tao, Y. et al. Permanente vermindering van dissipatie in nanomechanische Si-resonatoren door chemische oppervlaktebescherming. Nanotechnologie 26, 465501 (2015).

    Artikel 
    CAS 
    PubMed 

    Google Scholar
     

  • Klaß, YS, Doster, J., Bückle, M., Braive, R. & Weig, EM Bepaling van de modulus van Young via het eigenmodusspectrum van een nanomechanische snaarresonator. toepassing Fys. Let. 121, 083501 (2022).

    Artikel 
    ADS 

    Google Scholar
     

  • Petersen, KE Silicium als mechanisch materiaal. Proc. IEEE 70, 420â € "457 (1982).

    Artikel 
    ADS 
    CAS 

    Google Scholar
     

  • Bikkel, M. Nanomechanische systemen op basis van onder trek belaste kristallijne indium-galliumfosfide. Proefschrift, Universiteit. Konstanz (2020).

  • Hjort, K., Söderkvist, J. & Schweitz, J.-Å. Galliumarsenide als mechanisch materiaal. J.Micromech. Microeng. 4, 1â € "13 (1994).

    Artikel 
    ADS 
    CAS 

    Google Scholar
     

  • Smith, RT & Welsh, FS Temperatuurafhankelijkheid van de elastische, piëzo-elektrische en diëlektrische constanten van lithiumtantalaat en lithiumniobaat. J. Appl. Fys. 42, 2219â € "2230 (1971).

    Artikel 
    ADS 
    CAS 

    Google Scholar
     

  • Gruber, M. et al. Sterkteverdeling en breukanalyses van LiNbO3 en LiTaO3 enkele kristallen onder biaxiale belasting. J.Eur. Ceram. Soc. 37, 4397â € "4406 (2017).

    Artikel 
    CAS 

    Google Scholar
     

  • Österlund, E., Kinnunen, J., Rontu, V., Torkkeli, A. & Paulasto-Kröckel, M. Mechanische eigenschappen en betrouwbaarheid van dunne films van aluminiumnitride. J. legeringen Compd 772, 306â € "313 (2019).

    Artikel 

    Google Scholar
     

  • Cleland, AN, Pophristic, M. & Ferguson, I. Nanomechanische resonatoren van monokristallijn aluminiumnitride. toepassing Fys. Let. 79, 2070â € "2072 (2001).

    Artikel 
    ADS 
    CAS 

    Google Scholar
     

  • Wu, H. et al. Het verminderen van de intrinsieke energiedissipatie in mechanische diamant-op-diamant-resonatoren tot een kwaliteitsfactor van één miljoen. Fys. Eerwaarde Mater. 2, 090601 (2018).

    Artikel 
    CAS 

    Google Scholar
     

  • Falin, A. et al. Mechanische eigenschappen van atomair dun boornitride en de rol van interacties tussen de lagen. Nat. Commun. 8, 15815 (2017).

    Artikel 
    ADS 
    CAS 
    PubMed 
    PubMed Central 

    Google Scholar
     

  • Lee, C., Wei, X., Kysar, JW & Hone, J. Meting van de elastische eigenschappen en intrinsieke sterkte van monolaag grafeen. Wetenschap 321, 385â € "388 (2008).

    Artikel 
    ADS 
    CAS 
    PubMed 

    Google Scholar
     

  • Cleland, AN & Roukes, ML Ruisprocessen in nanomechanische resonatoren. J. Appl. Fys. 92, 2758â € "2769 (2002).

    Artikel 
    ADS 
    CAS 

    Google Scholar
     

  • Gely, MF & Steele, GA Supergeleidende elektromechanica om Diósi-Penrose-effecten van de algemene relativiteitstheorie in enorme superposities te testen. AVS Quantum Sci. 3, 035601 (2021).

    Artikel 
    ADS 
    CAS 

    Google Scholar
     

  • Lubensky, TC, Kane, CL, Mao, X., Souslov, A. & Sun, K. Phononen en elasticiteit in kritisch gecoördineerde roosters. Rep. Prog. Fys. 78, 073901 (2015).

    Artikel 
    ADS 
    CAS 
    PubMed 

    Google Scholar
     

  • González, G. Schort thermische ruis op in de LIGO zwaartekrachtgolfdetector. Klas. Kwantum Zwaartekracht 17, 4409â € "4435 (2000).

    Artikel 
    ADS 

    Google Scholar
     

  • spot_img

    Laatste intelligentie

    spot_img