Zephyrnet-logo

Antenne-effecten in IC-lay-outs controleren en repareren - Semiwiki

Datum:

IC-lay-outs ondergaan uitgebreide controles van de ontwerpregels om de juistheid ervan te garanderen, voordat ze worden geaccepteerd voor fabricage in een gieterij of IDM. Er bestaat zoiets als het antenne-effect dat optreedt tijdens de productie van chips, waarbij plasma-geïnduceerde schade (PID) de betrouwbaarheid van MOSFET-apparaten kan verminderen. Lay-outontwerpers voeren Design Rule Checks (DRC) uit om gebieden te vinden die de PID schenden en voeren vervolgens wijzigingen door om alle controles te doorstaan.

Een traditionele ontwerpregel voor antennes meet de metaallaag (of via-laag) tot de MOSFET-poortlaag, en als de oppervlakteverhouding te groot is, moet de lay-out worden opgelost door een beschermingsdiode toe te voegen.

Planaire CMOS-dwarsdoorsnede – antenne DRC
Planaire CMOS-dwarsdoorsnede – antenne DRC

Eén IC-lay-outscenario dat een traditionele DRC voor antenne-effecten niet aankan, is voor AMS-ontwerpen die meerdere vermogensdomeinen hebben, waarbij gebruik wordt gemaakt van meerdere geïsoleerde P-type putten, zoals hieronder weergegeven. Voor de volgende vier scenario's is een nieuwe aanpak, genaamd padgebaseerde verificatie, vereist.

Risicoverbinding heeft PID-probleem
Risicoverbinding heeft PID-probleem
Onevenwichtige oppervlakteverhoudingen tussen metaallagen en putlagen van twee geïsoleerde putten
Onevenwichtige oppervlakteverhoudingen tussen metaallagen en putlagen van twee geïsoleerde putten
Complexe connectiviteitsverbindingen
Complexe connectiviteitsverbindingen
Onbedoelde beschermingsdiodes
Onbedoelde beschermingsdiodes

Deze vier lay-outscenario's kunnen alleen worden gedetecteerd door een EDA-tool die kennis heeft van apparaten, connectiviteit en elektrische paden tijdens de gebiedsberekeningen voor metaal- en MOSFET-poortlagen. Dit is waar de Kaliber PERC tool van Siemens EDA komt van pas, omdat het de complexe padgebaseerde controles kan uitvoeren om PID-gebieden te identificeren, problemen met elektrostatische ontlading (ESD) te vinden en andere paden te lokaliseren waarnaar uw ontwerpgroep op zoek is. Hier is de PID-stroom voor het gebruik van Caliber PERC:

PID-stroom met behulp van Caliber PERC
PID-stroom met behulp van Caliber PERC

Door deze stroom op een IC-lay-out te gebruiken en naar de resultaten in de Calibre RVE-resultatenviewer te kijken, bleek dat er een PID-overtreding was gevonden, omdat er een risicoverbinding tot stand was gebracht op metaal1-niveau, maar de beveiligingsverbinding vond pas plaats op metaal2-niveau.

PID-overtreding op metaal2-laag
PID-overtreding op metaal2-laag

De volgende PID-schending werd geïdentificeerd aan de hand van onevenwichtige oppervlakteverhoudingen van de metaallaag en de N-begraven laag (nbl). Het gebied dat paars (rve) is gemarkeerd, is het slachtofferapparaat.

Onevenwichtig PID-probleem in gebied
Onevenwichtig PID-probleem in gebied

Om volledige PID-dekking te krijgen, zal uw ontwerpteam zowel de traditionele DRC-gebaseerde antennecontroles als de pad-gebaseerde controles moeten gebruiken. Voer preventieve DRC-achtige controles uit in een vroeg stadium van de ontwerpfase. Naarmate er meer metaalverbindingen in een lay-out zijn voltooid en er paden over geïsoleerde putten van het P-type worden gemaakt, is het tijd om op paden gebaseerde verificatie toe te voegen, waardoor volledige dekking wordt geboden.

In deze vroege IC-lay-out is het tijd om traditionele, op DRC gebaseerde antennecontroles uit te voeren om te bevestigen dat de lay-out de PID-validatie doorstaat.

Voorkom problemen met antenne-effecten voordat alle metalen verbindingen zijn voltooid
Voorkom PID-problemen voordat alle metaalverbindingen zijn voltooid

Naarmate er meer metalen paden aan de IC-lay-out worden toegevoegd, wordt het tijd om de op paden gebaseerde tool te gebruiken, omdat deze zowel de risicoverbinding als de beschermingsverbinding goed begrijpt.

Voer Calibre PERC-padgebaseerde controles uit voor antenne-effecten
Voer Caliber PERC-padgebaseerde controles uit

Samengevat

IC-lay-outs moeten voldoen aan strenge ontwerpregels om te voldoen aan de eisen op het gebied van betrouwbaarheid en rendement die worden gesteld door het gebruikte gieterij- of fabricageproces. Traditionele op DRC gebaseerde antenneontwerpregels kunnen nog steeds worden gebruikt voor de lay-out in een vroeg stadium, maar naarmate er meer metaallagen worden toegevoegd om de verbindingen te voltooien, wordt een padgebaseerde controle met Caliber PERC noodzakelijk.

Terwijl de paden over geïsoleerde P-putten tot stand zijn gebracht, kan de padgebaseerde stroom van Caliber PERC worden gebruikt om de IC-lay-outs op IP-, blok-/module- en zelfs volledige chipniveaus te controleren voor aftekening. Het wordt daarom aanbevolen om beide stromen samen te gebruiken om aan de doelstellingen op het gebied van betrouwbaarheid en rendement te voldoen.

Lesen Sie hier Technisch document bij Siemensonline.

Gerelateerde blogs

Deel dit bericht via:

spot_img

Laatste intelligentie

spot_img