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DENSO, SiC 전력 반도체를 사용하여 최초의 인버터 개발

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일본 KARIYA, 03년 2023월 30일 – (JCN Newswire) – DENSO CORPORATION은 실리콘 카바이드(SiC) 반도체를 사용하여 최초의 인버터를 개발했다고 발표했습니다. BluE Nexus Corporation이 개발한 전기 구동 모듈인 eAxle에 내장된 이 인버터는 2023년 XNUMX월 XNUMX일 출시된 Lexus의 첫 전용 배터리 전기차(BEV) 모델인 신형 RZ에 사용됩니다.

인버터
파워 카드

SiC 전력 반도체는 실리콘(Si) 전력 반도체에 비해 전력 손실을 크게 줄이는 실리콘과 탄소로 구성된다. SiC 반도체 인버터로 구성된 BEV로 테스트한 특정 조건에서의 순항 테스트 검증에서 SiC 전력 반도체를 적용한 인버터는 전력 손실을 Si 반도체 대비 절반 이하로 줄이는 것이 입증되었습니다. 그 결과 BEV의 에너지 효율이 향상되고 항속 거리가 연장됩니다.

새로운 인버터 개발의 핵심 요소:
– DENSO 고유의 트렌치형 MOS(금속 산화물 반도체) 구조(1)가 적용된 SiC 전력 반도체는 발생하는 열로 인한 전력 손실을 줄여 칩당 출력을 향상시킵니다. 고유한 구조로 고전압 및 낮은 온 저항(2) 작동을 달성했습니다.
새로운 인버터 제조의 핵심 요소
– DENSO와 Toyota Central R&D Labs., Inc.가 공동으로 개발한 고품질 기술을 기반으로 신에너지 및 산업 기술 개발 기구(NEDO)의 위탁 작업 결과를 통합한 SiC 에피택셜 웨이퍼(3)를 활용합니다. 그 결과 결정의 원자배열이 흐트러져 소자가 정상적으로 동작하지 못하는 결정결함을 절반으로 줄였다.
– 결정 결함을 줄임으로써 차량에 사용되는 SiC 전력 반도체 소자의 품질과 안정적인 생산을 보장합니다.

DENSO는 SiC 기술을 "REVOSIC"이라고 부르며 이를 사용하여 웨이퍼에서 반도체 장치 및 전원 카드와 같은 모듈에 이르는 제품 기술을 종합적으로 개발합니다.

DENSO는 4년에 채택된 그린 이노베이션 펀드(GI Fund)(2022)의 보조금을 활용하면서 차량의 보다 효율적인 에너지 관리를 목표로 하는 개발을 통해 탄소 중립 사회의 실현에 기여할 것입니다.

(1) DENSO 고유의 트렌치형 MOS 구조: DENSO의 특허받은 전기장 완화 기술을 사용하는 트렌치 게이트가 있는 반도체 장치입니다.
(2) 온 저항: 전류 흐름의 용이성을 측정합니다. 값이 낮을수록 전력 손실이 낮습니다.
(3) SiC 에피택셜 웨이퍼: 단결정 SiC 웨이퍼 위에 증착된 에피택셜 SiC 단결정 층.
(4) 그린 이노베이션 펀드(GI 펀드): GI 펀드는 2050년까지 탄소 중립 달성을 목표로 경제산업성(METI)에서 만들어 NEDO에 할당했습니다. DENSO는 프로젝트 보조금을 받는 대상으로 선정되었습니다. 차세대 전력반도체 소자(전기자동차용) 제조기술 개발

REVOSIC에 대한 자세한 내용은 www.denso.com/global/en/news/newsroom/2020/20201210-g01/을 참조하십시오.

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