"터프 테크" 부문의 혁신을 가속화하는 MIT.nano 장비
MIT 뉴스의 Zach Winn
보스턴 매사추세츠 (SPX) 01년 2024월 XNUMX일
새로운 첨단 나노제조 장비 세트는 MIT.nano를 마이크로 전자공학 및 관련 기술 분야에서 세계에서 가장 진보된 연구 시설 중 하나로 만들어 실험을 위한 새로운 기회를 열고 유망한 발명품이 영향력 있는 신제품이 될 수 있는 길을 넓힐 것입니다.
Applied Materials가 제공하는 장비는 MIT.nano의 나노제조 역량을 크게 확장하여 업계에서 널리 사용되는 크기인 최대 직경 200mm(8인치)의 얇고 둥근 반도체 재료인 웨이퍼와 호환되도록 할 것입니다. 새로운 도구를 통해 연구자들은 최첨단 재료와 제조 공정을 사용하여 다양한 종류의 새로운 마이크로전자 장치의 프로토타입을 제작할 수 있습니다. 동시에 200mm 호환성은 업계와의 긴밀한 협력을 지원하고 기업에서 혁신을 신속하게 채택하고 대량 생산할 수 있도록 해줄 것입니다.
MIT.nano의 리더들은 MIT 외부의 과학자들에게도 제공될 이 장비가 시설의 성능을 극적으로 향상시켜 해당 지역의 전문가들이 첨단 전자공학, 차세대 기술 등 "터프 테크" 부문에서 새로운 접근 방식을 보다 효율적으로 탐색할 수 있게 해줄 것이라고 말했습니다. 세대 배터리, 재생 가능 에너지, 광학 컴퓨팅, 생물학적 감지 및 기타 다양한 분야 – 아직 상상되지 않은 분야가 많습니다.
Fariborz Maseeh 신흥 기술 교수이자 MIT.nano 이사인 Vladimir Bulovic은 "이 도구 세트는 전 세계에 대규모로 제공될 수 있는 새로운 기술을 출시하는 우리의 능력을 가속화할 것입니다."라고 말했습니다. “MIT.nano는 더 나은 세상을 건설한다는 광범위한 사명에 전념하고 있습니다. 우리는 뛰어난 연구자들의 손을 통해 세상을 효과적으로 발전시킬 수 있는 도구 세트와 기능을 제공합니다.”
이번 발표는 NEMC(Northeast Microelectronics Coalition) 허브의 MIT 보조금과 함께 첨단 나노전자공학 기술을 추가하기 위해 약 40천만 달러 이상의 민간 및 공공 투자를 약속하는 MIT와 Applied Materials, Inc. 간의 계약의 일환으로 나온 것입니다. MIT.nano의 제조 장비 및 기능.
Bulovic은 "우리는 연구 발견을 위한 보다 기본적인 도구 세트 바로 옆에 통합된 8인치 도구 세트를 통해 동일한 종류의 다용성, 기능 및 접근성을 제공할 다른 공간이 미국에 없다고 믿습니다."라고 말합니다. “혁신의 속도를 가속화할 수 있는 원활한 경로가 만들어질 것입니다.”
혁신의 한계를 뛰어넘다
어플라이드 머티어리얼즈는 반도체, 디스플레이, 기타 첨단 전자제품 제조용 장비를 공급하는 세계 최대 기업입니다. 회사는 MIT.nano에서 150mm 및 200mm 웨이퍼를 지원할 수 있는 여러 가지 최첨단 공정 도구를 제공하고 MIT가 소유한 기존 도구를 향상 및 업그레이드할 것입니다. Applied Materials 엔지니어들은 MIT.nano의 일상적인 장비 작동 및 유지 관리를 지원하는 것 외에도 MIT 및 그 외의 연구원과 학생들에게 도움이 되는 새로운 프로세스 기능을 개발할 것입니다.
MIT 마이크로시스템 기술 연구소 소장이자 전기 공학과 Clarence J. Lebel 교수인 Tomas Palacios는 “이번 투자는 마이크로 전자 공학과 마이크로 시스템의 혁신과 발견의 속도를 크게 가속화할 것입니다.”라고 말했습니다. “이것은 우리 지역사회를 위한 멋진 소식이고, 주를 위한 멋진 소식이며, 제가 보기에는 마이크로 전자공학의 미래 혁신을 위한 국가 비전을 구현하기 위한 엄청난 진전입니다.”
대학의 나노 규모 연구는 전통적으로 산업과의 호환성이 떨어지는 기계에서 수행되어 학문적 혁신을 영향력 있는 대량 생산 제품으로 전환하는 것이 더 어렵습니다. MIT.nano의 공유 제조 시설 부소장인 Jorg Scholvin은 새로운 기계가 MIT.nano의 기존 장비와 결합될 때 해당 분야의 획기적인 개선을 의미한다고 말했습니다. 연구원들은 업계 표준 웨이퍼를 사용하여 제작할 수 있을 것입니다. 그 위에 기술을 추가하여 기존 장치에서 작동한다는 것을 회사에 입증하거나 업계 파트너와 긴밀한 협력을 통해 새로운 아이디어를 공동 제작합니다.
"아이디어에서 완전히 작동하는 장치로의 여정에서는 소규모로 시작하여 수행하려는 작업을 파악하고 신속하게 설계를 디버깅한 다음 업계 규모의 웨이퍼로 확장하는 능력이 중요합니다." Scholvin은 말합니다. “이는 학생이 웨이퍼 규모에서 자신의 아이디어를 신속하게 테스트하고 통찰력을 프로젝트에 직접 통합하여 프로세스를 확장할 수 있다는 것을 의미합니다. 이러한 원리 증명을 조기에 제공하면 학문적 환경에서 아이디어를 가속화하여 추가 노력에 드는 수년을 줄일 수 있습니다. MIT.nano의 다른 도구는 200mm 웨이퍼 규모의 작업을 보완할 수 있지만 Applied 장비의 더 높은 처리량과 더 높은 정밀도는 학술 연구 환경에서 전례 없는 반복성과 정확성을 연구원에게 제공할 것입니다. 본질적으로 당신이 갖고 있는 것은 작업을 수행하기 위한 더 날카롭고, 더 빠르고, 더 정확한 도구입니다.”
Scholvin은 장비가 연구 기회의 기하급수적인 성장으로 이어질 것이라고 예측합니다.
"이러한 도구의 주요 이점은 오늘날 예측할 수 있는 다양한 방식으로 연구의 경계를 넓힐 수 있다는 것입니다."라고 Scholvin은 말합니다. “하지만 MIT 연구원들의 창의성에 의해 발견되기를 기다리고 있는 그림자 속에 숨어 있는 예측할 수 없는 이점도 있습니다. 새로운 애플리케이션을 적용할 때마다 일반적으로 더 많은 아이디어와 경로가 떠오르므로 시간이 지남에 따라 점점 더 많은 기회가 발견됩니다.”
지역 연구원, 업계 파트너, 비영리 단체, 지역 스타트업 등 MIT 커뮤니티 외부의 사람들도 장비를 사용할 수 있으므로 새로운 협업도 가능해집니다.
"도구 자체는 놀라운 회의 장소가 될 것입니다. 내 생각에 최고의 아이디어를 이전보다 훨씬 더 효과적인 방식으로 바꿀 수 있는 장소입니다."라고 Bulovic은 말합니다. "나는 그 점에 대해 매우 기대하고 있습니다."
Palacios는 마이크로전자공학이 마이크로프로세서에 맞도록 트랜지스터를 더 작게 만드는 작업으로 가장 잘 알려져 있지만 무선 통신 및 고속 인터넷부터 에너지 관리, 맞춤형 건강 관리 등에 이르기까지 우리 주변의 거의 모든 기술을 가능하게 하는 광범위한 분야라고 말합니다.
그는 전자 장치의 효율성을 획기적으로 향상시킬 수 있는 질화 갈륨과 같은 유망한 신소재 탐구를 포함하여 전력 전자 장치 및 반도체에 대한 연구에 새로운 기계를 사용하게 되어 개인적으로 기쁘다고 말했습니다.
임무 완수
MIT.nano의 리더들은 상용화의 주요 동인은 MIT와 그 외 지역의 스타트업이 될 것이라고 말합니다.
Palacios는 “이는 MIT 연구 커뮤니티가 더욱 빠르게 혁신하는 데 도움이 될 뿐만 아니라 새로운 기업가 정신의 물결을 가능하게 할 것입니다.”라고 말했습니다. “우리는 학생, 교직원 및 기타 기업가들이 혁신을 수용하고 이를 시장에 출시하는 데 대한 장벽을 낮추고 있습니다. 이는 기술을 통해 세상을 더 나은 곳으로 만들겠다는 MIT의 사명과 잘 들어맞습니다. 우리 동료들과 학생들이 어떤 놀라운 새로운 발명품을 선보일지 무척 기대됩니다.”
Bulovic은 이번 발표가 MIT.nano 창립 당시 MIT 리더들이 제시한 사명과 일치한다고 말했습니다.
“우리는 MIT.nano에 이러한 도구를 수용할 수 있는 공간이 있고, MIT.nano 내부에 해당 작업을 관리할 수 있는 기능이 있으며, 공유되고 개방적인 시설로서 지역의 누구든지 사용하도록 환영할 수 있는 방법론이 있습니다. 도구입니다.”라고 Bulovic은 말합니다. "이것이 우리가 MIT.nano를 설계하면서 MIT가 제시한 비전이며, 이번 발표는 그 비전을 실현하는 데 도움이 됩니다."
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- 출처: https://www.nanodaily.com/reports/MIT_nano_equipment_to_accelerate_innovation_in_tough_tech_sectors_999.html
