태그: 유로

3nm를 향한 DUV 멀티패터닝 확장 – Semiwiki

반도체 2023 년 10 월 2 일

중국이 최근 DUV 리소그래피만을 사용하여 7nm급 파운드리 노드를 달성한 것은 DUV 리소그래피가 어디까지 확장될 수 있는지에 대한 의문을 제기합니다.

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