Applied Materials와 Fraunhofer IPMS, 유럽 계측 기술 허브 구축

17 7월 2023

프로세스 장비 제조업체인 미국 캘리포니아주 산타클라라에 위치한 Applied Materials Inc와 독일 드레스덴에 있는 FhG IPMS(Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems)는 반도체 계측 및 프로세스 분석을 위한 유럽 최대의 기술 허브가 될 것으로 예상되는 곳을 만들기 위해 협력하고 있습니다. 특히 ICAPS(사물 인터넷, 통신, 자동차, 전력 및 센서) 시장 부문에서 유럽 전역의 칩 제조업체 및 생태계 파트너와 함께 연구를 가속화하고 개발 프로젝트를 강화합니다.

마이크로칩 생산업체, 공급업체, 장비 제조업체 및 R&D 파트너를 위해 300mm 웨이퍼에 대한 응용 연구를 제공하는 Fraunhofer IPMS의 CNT(나노 전자 기술 센터)에 위치할 기술 허브는 유럽 최대 반도체 클러스터인 Silicon Saxony의 중심부에 위치하고 있습니다. 허브에는 VeritySEM CD-SEM(임계 치수 주사 전자 현미경) 시스템을 포함한 Applied Materials의 eBeam 계측 장비가 장착될 것이며 Applied 엔지니어와 R&D 전문가가 인력을 배치할 것입니다.

Fraunhofer IPMS의 클린룸에 있는 Applied Materials의 eBeam 계측 장비.

사진: Fraunhofer IPMS의 클린룸에 있는 Applied Materials의 eBeam 계측 장비.

Fraunhofer IPMS의 차세대 컴퓨팅 사업부 책임자인 Benjamin Uhlig-Lilienthal 박사는 “Fraunhofer IPMS와 그 파트너는 Applied의 업계 최고의 eBeam 계측 시스템에 액세스함으로써 혜택을 누릴 것입니다.”라고 말했습니다. “새로운 기술 허브는 반도체 제조업체와 직접 웨이퍼를 연결하는 Fraunhofer IPMS의 고유한 기능을 통해 산업용 CMOS 환경에서 고급 웨이퍼 수준 계측을 제공할 것입니다.”라고 그는 덧붙였습니다.

Applied Materials Europe의 기업 부사장인 James Robson은 "우리의 공동 계측 허브는 Fraunhofer Institute, Applied Materials, 유럽 고객 및 파트너를 위한 학습 주기와 새로운 애플리케이션 개발을 가속화할 것입니다."라고 말했습니다. "이 독특한 기술 허브는 다양한 유럽 반도체 분야의 응용 분야에 중요한 다양한 기판 재료와 웨이퍼 두께에 대한 프로세스를 테스트하고 검증할 수 있는 역량을 갖추게 될 것입니다."

태그 : 응용 재료

방문 www.appliedmaterials.com

방문 www.ipms.fraunhofer.de