Eindhoven University of Technology, Lorraine University 및 DRF/IRAMIS/SPEC-LEPO, Center CEA de Saclay의 연구 논문 "평면 팁온칩 프로브에 대한 원자력 현미경의 감도 향상".
추상
"우리는 높은 감도와 광범위한 호환성을 갖춘 고급 "팁-온-칩" 프로브를 활용하기 위한 소리굽쇠 기반 원자력 현미경에 대한 새로운 접근 방식을 제시합니다. 일반적으로 크기가 2 × 2mm에 달하는 칩과 같은 프로브2 소리굽쇠의 진동을 크게 교란시켜 고유한 힘 감지 성능이 저하됩니다. 따라서 고감도를 회복하기 위해서는 초기 진동 특성을 회복하는 것이 필요하다. 이를 위해 우리는 소리굽쇠 균형 재조정, 홀더-센서 고정 개선 및 전극 재구성의 세 가지 기본 단계로 구성된 새로운 접근 방식을 개발했습니다. 질량 재조정을 통해 튜닝 포크는 주파수를 복구하고 최대 10까지 높은 Q-팩터 값을 회복할 수 있습니다.4 공기 및 최대 4 × 104 초고진공 조건에서. 부드러운 와이어를 사용한 부유식 홀더 고정은 마운팅 요소의 에너지 손실을 크게 줄입니다. 부드러운 와이어와 결합된 재구성된 전극은 힘 감지 신호를 방해하지 않고 칩과 같은 프로브에 전기적으로 액세스할 수 있도록 합니다. 마지막으로, 구현하기 쉬운 접근 방식을 통해 원자력 현미경 팁을 수동 도구에서 확장된 기능을 갖춘 전용 마이크로 장치로 변환할 수 있습니다.”
오픈 액세스 찾기 여기에 기술 문서. 2022년 XNUMX월 게시.
Çiftçi, HT, Verhage, M., Cromwijk, T. et al. 평면 팁온칩 프로브에 대한 원자력 현미경의 감도 향상. Microsyst Nanoeng 8, 51(2022). https://doi.org/10.1038/s41378-022-00379-x
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