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소산희석을 이용한 초고품질 인자 마이크로 및 나노기계 공진기 - Nature Nanotechnology

시간

  • Huang, YL & Saulson, PR 진자의 소산 메커니즘과 중력파 간섭계에 대한 영향. Sci. Instrum. 69, 544-553 (1998).

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  • González, GI & Saulson, PR 탄성 와이어에 매달린 덩어리의 브라운 운동. J. 어쿠스트. Soc. 오전. 96, 207-212 (1994).

    기사 
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    Google 학술 검색
     

  • 발레트, C. & 쿠에스타, C. Mécanique de la Corde Vibrante (헤르메스 과학 간행물, 1993).

  • Unterreithmeier, QP, Faust, T. & Kotthaus, JP 나노기계 공진기의 감쇠. 물리. Lett. 105, 027205 (2010).

    기사 
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    PubMed 

    Google 학술 검색
     

  • Fedorov, SA 등. 변형된 기계적 공진기의 일반화된 소산 희석. 물리. 개정판 B 99, 054107 (2019).

    기사 
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    CAS 

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  • Verbridge, SS, Parpia, JM, Reichenbach, RB, Bellan, LM & Craighead, HG 높은 인장 응력 하에서 나노스트링을 사용하여 실온에서 고품질 인자 공명. J. Appl. 물리. 99, 124304 (2006).

    기사 
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    Google 학술 검색
     

  • Verbridge, SS, Craighead, HG & Parpia, JM 백만 개가 넘는 실온 품질 계수를 갖춘 메가헤르츠 나노기계 공진기. Appl. 물리. 레트 사람. 92, 013112 (2008).

    기사 
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    Google 학술 검색
     

  • 톰슨, JD 외. 미세 기계 멤브레인에 대한 정밀한 공동의 강력한 분산 결합. 자연 452, 72-75 (2008).

    기사 
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    CAS 
    PubMed 

    Google 학술 검색
     

  • 워싱턴주 필립스 안경의 2단계 상태. 의원 물리. 50, 1657-1708 (1987).

    기사 
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    CAS 

    Google 학술 검색
     

  • Ghani, T.et al. 새로운 90nm 게이트 길이 스트레인드 실리콘 CMOS 트랜지스터를 특징으로 하는 45nm 대용량 제조 로직 기술입니다. ~ 안에 IEEE 국제 전자 장치 회의 2003 11.6.1–11.6.3(IEEE, 2003); https://doi.org/10.1109/IEDM.2003.1269442

  • 사우스워스(Southworth), DR 외. 스트레스와 질화규소: 유리의 보편적 소산에 균열이 발생합니다. 물리. Lett. 102, 225503 (2009).

    기사 
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    CAS 
    PubMed 

    Google 학술 검색
     

  • Wu, J. & Yu, CC 스트레스가 안경의 손실을 줄이는 방법. 물리. 개정판 B 84, 174109 (2011).

    기사 
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    Google 학술 검색
     

  • Tsaturyan, Y., Barg, A., Polzik, ES & Schliesser, A. 소프트 클램핑 및 소산 희석을 통한 초간섭성 나노기계 공진기. Nat. 나노 테크 놀. 12, 776-783 (2017).

    기사 
    CAS 
    PubMed 
    PubMed를 중앙 

    Google 학술 검색
     

  • Ghadimi, AHet al. 극도로 낮은 기계적 소산을 위한 탄성 변형 엔지니어링. 과학 360, 764-768 (2018).

    기사 
    MathSciNet 
    CAS 
    PubMed 

    Google 학술 검색
     

  • Bereyhi, MJet al. 기계적 소산이 매우 낮은 계층적 인장 구조. Nat. 코뮌. 13, 3097 (2022).

    기사 
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    CAS 
    PubMed 
    PubMed를 중앙 

    Google 학술 검색
     

  • Shin, D. et al. 베이지안 최적화를 통한 거미줄 나노기계 공진기: 자연에서 영감을 얻고 기계 학습을 통해 안내됩니다. Adv. 교인. 34, 2106248 (2022).

    기사 
    CAS 

    Google 학술 검색
     

  • Bereyhi, M.J.et al. 나노기계 공진기의 주변 모드는 10을 초과하는 품질 계수를 나타냅니다.9 실온에서. 물리. 개정판 X 12, 021036 (2022).

    CAS 

    Google 학술 검색
     

  • 쿠퍼티노, A. 외. 소산이 낮은 센티미터 규모의 나노기계 공진기. 사전 인쇄 시간: https://arxiv.org/abs/2308.00611 (2023).

  • Beccari, A.et al. 품질 계수가 10억 개가 넘는 변형된 결정질 나노기계 공진기. Nat. 물리 18, 436-441 (2022).

    기사 
    CAS 

    Google 학술 검색
     

  • Unterreithmeier, QP, Weig, EM & Kotthaus, JP 유전력을 기반으로 한 나노기계 시스템의 범용 변환 방식. 자연 458, 1001-1004 (2009).

    기사 
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    CAS 
    PubMed 

    Google 학술 검색
     

  • Bagci, T.et al. 나노기계 변환기를 통한 전파의 광학적 감지. 자연 507, 81-85 (2014).

    기사 
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    CAS 
    PubMed 

    Google 학술 검색
     

  • Chien, M.-H., Brameshuber, M., Rossboth, BK, Schütz, GJ & Schmid, S. 나노기계적 광열 감지에 의한 단일 분자 광 흡수 이미징. Proc. Natl Acad. Sci. 미국 115, 11150-11155 (2018).

    기사 
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    CAS 
    PubMed 
    PubMed를 중앙 

    Google 학술 검색
     

  • Aspelmeyer, M., Kippenberg, TJ & Marquardt, F. Cavity 광 역학. 모드 개정 물리. 86, 1391-1452 (2014).

    기사 
    ADS 

    Google 학술 검색
     

  • Underwood, M.et al. 양자 체제에서 나노그램 규모 발진기의 운동 측파대 측정. Phys. A 목사 92, 061801 (2015).

    기사 
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    Google 학술 검색
     

  • Purdy, TP, Yu, P.-L., Peterson, RW, Kampel, NS & Regal, CA 빛의 강력한 광기계적 압착. 물리. 개정판 X 3, 031012 (2013).

    CAS 

    Google 학술 검색
     

  • Nielsen, WHP, Tsaturyan, Y., Møller, CB, Polzik, ES & Schliesser, A. 양자 체제의 다중 모드 광기계 시스템. Proc. Natl Acad. Sci. 미국 114, 62-66 (2017).

    기사 
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    PubMed 

    Google 학술 검색
     

  • Peterson, RW 외. 양자 역작용 한계까지 미세 기계 멤브레인을 레이저 냉각합니다. 물리. Lett. 116, 063601 (2016).

    기사 
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    PubMed 

    Google 학술 검색
     

  • Rossi, M., Mason, D., Chen, J., Tsaturyan, Y. & Schliesser, A. 기계 동작의 측정 기반 양자 제어. 자연 563, 53-58 (2018).

    기사 
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    PubMed 

    Google 학술 검색
     

  • Saarinen, SA, Kralj, N., Langman, EC, Tsaturyan, Y. & Schliesser, A. 실온에서 양자 바닥 상태에 가까운 중간막 시스템을 레이저 냉각합니다. Optica 10, 364-372 (2023).

    기사 
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    CAS 

    Google 학술 검색
     

  • Seis, Y.et al. 초간섭성 전기 기계 시스템의 바닥 상태 냉각. Nat. 코뮌. 13, 1507 (2022).

    기사 
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    PubMed 
    PubMed를 중앙 

    Google 학술 검색
     

  • Mason, D., Chen, J., Rossi, M., Tsaturyan, Y. & Schliesser, A. 표준 양자 한계 미만의 지속적인 힘 및 변위 측정. Nat. 물리. 15, 745-749 (2019).

    기사 
    CAS 

    Google 학술 검색
     

  • Jöckel, A.et al. 하이브리드 기계-원자 시스템에서 멤브레인 발진기의 교감 냉각. Nat. 나노 테크 놀. 10, 55-59 (2015).

    기사 
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    PubMed 

    Google 학술 검색
     

  • Møller, CBet al. 음의 질량 참조 프레임에서 동작의 양자 역작용 회피 측정입니다. 자연 547, 191-195 (2017).

    기사 
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    PubMed 

    Google 학술 검색
     

  • Karg, TM 외. 기계적 발진기와 1m 떨어진 원자 스핀 사이의 광매개 강한 결합. 과학 369, 174-179 (2020).

    기사 
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    CAS 
    PubMed 

    Google 학술 검색
     

  • 토마스, RA 등. 먼 거시적 기계 시스템과 스핀 시스템 사이의 얽힘. Nat. 물리. 17, 228-233 (2021).

    기사 
    CAS 

    Google 학술 검색
     

  • 슈미드, G.-L. 외. 원자 스핀을 이용한 나노기계적 막의 응집성 피드백 냉각. 물리. 개정판 X 12, 011020 (2022).

    CAS 

    Google 학술 검색
     

  • 앤드류스, RW 외. 마이크로파와 광학광 사이의 양방향 및 효율적인 변환. Nat. 물리. 10, 321-326 (2014).

    기사 
    CAS 

    Google 학술 검색
     

  • Higginbotham, AP 등. 효율적인 기계 변환기에서 전기광학 상관관계를 활용합니다. Nat. 물리. 14, 1038-1042 (2018).

    기사 
    CAS 

    Google 학술 검색
     

  • Delaney, RDet al. 낮은 역작용 전기광학 변환을 통한 초전도 큐비트 판독. 자연 606, 489-493 (2022).

    기사 
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    CAS 
    PubMed 

    Google 학술 검색
     

  • Košata, J., Zilberberg, O., Degen, CL, Chitra, R. & Eichler, A. 막 공진기의 파라메트릭 주파수 변환을 통한 스핀 감지. 물리. 목사 14, 014042 (2020).

    기사 
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    Google 학술 검색
     

  • Hälg, D. et al. 멤브레인 기반 주사력 현미경. 물리. 목사 15, 021001 (2021).

    기사 
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    Google 학술 검색
     

  • Krause, AG, Winger, M., Blasius, TD, Lin, Q. & Painter, O. 고해상도 마이크로칩 광기계식 가속도계. Nat. 광자. 6, 768-772 (2012).

    기사 
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    CAS 

    Google 학술 검색
     

  • Zhou, F.et al. 광기계 가속도계를 사용한 광대역 열역학적으로 제한된 감지. Optica 8, 350-356 (2021).

    기사 
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    Google 학술 검색
     

  • Pratt, JRet al. 양자 실험 및 정밀 측정을 위한 나노 규모의 비틀림 소산 희석. 물리. 개정판 X 13, 011018 (2023).

    CAS 

    Google 학술 검색
     

  • Carney, D.et al. 암흑물질 탐색을 위한 기계적 양자 감지. 양자 과학. 기술. 6, 024002 (2021).

    기사 
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    Google 학술 검색
     

  • Manley, J., Chowdhury, MD, Grin, D., Singh, S. & Wilson, DJ 광기계 가속도계를 사용하여 벡터 암흑 물질 검색. 물리. Lett. 126, 061301 (2021).

    기사 
    ADS 
    CAS 
    PubMed 

    Google 학술 검색
     

  • Gillespie, DT 브라운 운동의 변동 및 소산. 오전. J. Phys. 61, 1077-1083 (1993).

    기사 
    ADS 

    Google 학술 검색
     

  • Saulson, PR 기계 실험의 열 잡음. 물리. D. 목사 42, 2437 (1990).

    기사 
    ADS 
    CAS 

    Google 학술 검색
     

  • Wilson, DJ, Regal, CA, Papp, SB & Kimble, HJ Cavity 화학양론적 SiN 필름을 사용한 광역학. 물리. Lett. 103, 207204 (2009).

    기사 
    ADS 
    CAS 
    PubMed 

    Google 학술 검색
     

  • 노윅(AS) 및 베리(BS) 결정질 고체의 비탄성 이완 (Academic Press, 1972).

  • Villanueva, LG & Schmid, S. SiN 마이크로 및 나노기계 공진기의 유비쿼터스 제한 감쇠 메커니즘으로서의 표면 손실 증거. 물리. Lett. 113, 227201 (2014).

    기사 
    ADS 
    CAS 
    PubMed 

    Google 학술 검색
     

  • Høj, D., Hoff, UB & Andersen, UL 밀도 음성 결정 공학을 기반으로 한 초간섭성 나노기계 공진기. 사전 인쇄 시간: https://arxiv.org/abs/2207.06703 (2022).

  • Schmid, S., Villanueva, LG & Roukes, ML(편집) 나노기계 공진기의 기초 (2023 년 스프링거).

  • 엔스, C. & 헌클링거, S. 저온 물리학 (2005 년 스프링거).

  • Kleiman, RN, Agnolet, G. & Bishop, DJ 저온에서 단결정 실리콘의 기계적 특성을 관찰한 2단계 시스템. 물리. Lett. 59, 2079-2082 (1987).

    기사 
    ADS 
    CAS 
    PubMed 

    Google 학술 검색
     

  • Hauer, BD, Kim, PH, Doolin, C., Souris, F. & Davis, JP 준1차원 광기계 공진기의 2단계 시스템 감쇠. 물리. 개정판 B 98, 214303 (2018).

    기사 
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    CAS 

    Google 학술 검색
     

  • MacCabe, GS et al. 매우 긴 포논 수명을 가진 나노 음향 공진기. 과학 370, 840-843 (2020).

    기사 
    ADS 
    CAS 
    PubMed 

    Google 학술 검색
     

  • Wollack, EA 등. 극저온에서 니오브산 리튬 음성 수정 공진기에 영향을 미치는 손실 채널. Appl. 물리. 레트 사람. 118, 123501 (2021).

    기사 
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    CAS 

    Google 학술 검색
     

  • Zener, C. 고체의 내부 마찰 II. 열탄성 내부 마찰의 일반 이론. 물리. 신부님. 53, 90-99 (1938).

    기사 
    ADS 

    Google 학술 검색
     

  • Lifshitz, R. & Roukes, ML 마이크로 및 나노 기계 시스템의 열탄성 감쇠. 물리. 개정판 B 61, 5600-5609 (2000).

    기사 
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    CAS 

    Google 학술 검색
     

  • Kiselev, AA & Iafrate, GJ Phonon 역학 및 Euler-Bernoulli 나노빔의 포논 지원 손실. 물리. 개정판 B 77, 205436 (2008).

    기사 
    ADS 

    Google 학술 검색
     

  • Bao, M., Yang, H., Yin, H. & Sun, Y. 저진공에서 스퀴즈 필름 공기 댐핑을 위한 에너지 전달 모델. J. 마이크로메크. 마이크로엥. 12, 341-346 (2002).

    기사 
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    Google 학술 검색
     

  • Cross, MC & Lifshitz, R. Mesoscopic 시스템의 열 전달 및 진동에 적용되는 얇은 판의 급격한 접합부에서의 탄성파 전달. 물리. 개정판 B 64, 085324 (2001).

    기사 
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    Google 학술 검색
     

  • Cole, GD, Wilson-Rae, I., Werbach, K., Vanner, MR & Aspelmeyer, M. 기계적 공진기의 포논 터널링 소산. Nat. 코뮌. 2, 231 (2011).

    기사 
    ADS 
    PubMed 

    Google 학술 검색
     

  • Wilson-Rae, I. 외. 높은-Q 탄성파의 파괴적인 간섭을 통한 나노 역학. 물리. Lett. 106, 047205 (2011).

    기사 
    ADS 
    CAS 
    PubMed 

    Google 학술 검색
     

  • Ghadimi, AH, Wilson, DJ & Kippenberg, TJ 고응력 질화규소 나노빔의 방사선 및 내부 손실 공학. 나노 렛트. 17, 3501-3505 (2017).

    기사 
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    CAS 
    PubMed 

    Google 학술 검색
     

  • Jöckel, A.et al. 미세 기계 막의 기계적 소산 분광학. Appl. 물리. 레트 사람. 99, 143109 (2011).

    기사 
    ADS 

    Google 학술 검색
     

  • Borrielli, A.et al. 나노기계식 SiN 멤브레인 공진기의 반동 손실 제어. 물리. 개정판 B 94, 121403 (2016).

    기사 
    ADS 

    Google 학술 검색
     

  • Schmid, S., Jensen, KD, Nielsen, KH & Boisen, A. 고감쇠 메커니즘Q 마이크로 및 나노기계식 스트링 공진기. 물리. 개정판 B 84, 165307 (2011).

    기사 
    ADS 

    Google 학술 검색
     

  • Yu, P.-L., Purdy, TP & Regal, CA 고온에서의 재료 감쇠 제어Q 막 마이크로 공진기. 물리. Lett. 108, 083603 (2012).

    기사 
    ADS 
    PubMed 

    Google 학술 검색
     

  • Landau, LD, Lifshitz, EM, Pitaevskii, LP 및 Kosevich, AM 탄력성 이론. 이론물리학 코스 Vol. 7 (페르가몬, 1986).

  • Catalini, L., Rossi, M., Langman, EC & Schliesser, A. 소산 희석 나노기계 공진기의 비선형 감쇠 모델링 및 관찰. 물리. Lett. 126, 174101 (2021).

    기사 
    ADS 
    CAS 
    PubMed 

    Google 학술 검색
     

  • Bachtold, A., Moser, J. & Dykman, MI 나노기계 시스템의 Mesoscopic 물리학. 모드 개정 물리. 94, 045005 (2022).

    기사 
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    MathSciNet 
    CAS 

    Google 학술 검색
     

  • Bereyhi, MJet al. 클램프 테이퍼링은 응력을 받은 나노빔의 품질 계수를 증가시킵니다. 나노 렛트. 19, 2329-2333 (2019).

    기사 
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    CAS 
    PubMed 

    Google 학술 검색
     

  • Sadeghi, P., Tanzer, M., Christensen, SL & Schmid, S. 나노기계 질화규소 공진기의 품질 계수에 대한 클램프 확장의 영향. J. Appl. 물리. 126, 165108 (2019).

    기사 
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    Google 학술 검색
     

  • Reinhardt, C., Müller, T., Bourassa, A. & Sankey, JC 감지 및 광역학을 위한 초저잡음 SiN 트램펄린 공진기. 물리. 개정판 X 6, 021001 (2016).

  • Norte, RA, Moura, JP & Gröblacher, S. 실온에서 양자 광역학 실험을 위한 기계적 공진기. 물리. Lett. 116, 147202 (2016).

    기사 
    ADS 
    CAS 
    PubMed 

    Google 학술 검색
     

  • 윌슨, DJ 고응력 실리콘 질화물 필름을 사용한 캐비티 광역학. 캘리포니아 공과대학 박사학위 논문(2012); https://doi.org/10.7907/VB3C-1G76

  • Chakram, S., Patil, YS, Chang, L. & Vengalattore, M. 초고품질 계수 SiN 멤브레인 공진기의 소산. 물리. Lett. 112, 127201 (2014).

    기사 
    ADS 
    CAS 
    PubMed 

    Google 학술 검색
     

  • 유, P.-L. 외. 높은 주파수 대역을 위한 음성 밴드갭 차폐Q 막 마이크로 공진기. Appl. 물리. 레트 사람. 104, 023510 (2014).

    기사 
    ADS 

    Google 학술 검색
     

  • Tsaturyan, Y.et al. 높은 주파수를 위한 음파 밴드갭 차폐막 공진기에서 억제된 포논 터널링 손실 시연Q 광역학. 고르다. 표현하다 22, 6810-6821 (2014).

    기사 
    ADS 
    PubMed 

    Google 학술 검색
     

  • 위버, MJ 외. 광역학용 중첩 트램폴린 공진기. Appl. 물리. 레트 사람. 108, 033501 (2016).

    기사 
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    Google 학술 검색
     

  • Serra, E.et al. 실온 양자 광역학을 위한 질화규소 MOMS 발진기. J. Microelectromech. 시스템. 27, 1193-1203 (2018).

    기사 
    CAS 

    Google 학술 검색
     

  • Reetz, C. et al. 넓은 밴드 갭과 낮은 질량 결함을 갖는 막 음성 결정 분석. 물리. 목사 12, 044027 (2019).

    기사 
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    CAS 

    Google 학술 검색
     

  • Fedorov, SA 등. 캐비티 기반 측정의 열 상호 변조 노이즈. Optica 7, 1609-1616 (2020).

    기사 
    ADS 

    Google 학술 검색
     

  • Guo, J., Norte, R. & Gröblacher, S. 운동 접지 상태에 가까운 실온 기계식 발진기의 피드백 냉각. 물리. Lett. 123, 223602 (2019).

    기사 
    ADS 
    CAS 
    PubMed 

    Google 학술 검색
     

  • 페도로프, S. 정밀 및 양자 측정에서 높은 소산 희석 기능을 갖춘 기계적 공진기. 박사 학위 논문, EPFL, 로잔(2021); https://doi.org/10.5075/epfl-thesis-10421

  • Fedorov, SA, Beccari, A., Engelsen, NJ & Kippenberg, TJ 소프트 클램핑 기본 모드를 갖춘 프랙탈형 기계식 공진기. 물리. Lett. 124, 025502 (2020).

    기사 
    ADS 
    CAS 
    PubMed 

    Google 학술 검색
     

  • Høj, D. et al. 역설계를 기반으로 한 초간섭성 나노기계 공진기. Nat. 코뮌. 12, 5766 (2021).

    기사 
    ADS 
    PubMed 
    PubMed를 중앙 

    Google 학술 검색
     

  • 대븐포트, WB 및 루트, WL 무작위 신호 및 잡음 이론 소개 (Wiley-IEEE, 1987).

  • Zwickl, BM 외. 상업용 질화규소 멤브레인의 고품질 기계적 및 광학적 특성. Appl. 물리. 레트 사람. 92, 103125 (2008).

    기사 
    ADS 

    Google 학술 검색
     

  • Renninger, WH, Kharel, P., Behunin, RO & Rakich, PT 벌크 결정질 광역학. Nat. 물리. 14, 601-607 (2018).

    기사 
    CAS 

    Google 학술 검색
     

  • Sementilli, L., Romero, E. & Bowen, WP 나노역학적 소산 및 변형 공학. Adv. 기능 교인. 32, 2105247 (2022).

    기사 
    CAS 

    Google 학술 검색
     

  • Kermany, AR 등. 마이크로 공진기 Q- 실리콘에 응력이 많이 가해진 에피택셜 탄화규소로 인해 백만 개가 넘는 요소가 발생합니다. Appl. 물리. 레트 사람. 104, 081901 (2014).

    기사 
    ADS 

    Google 학술 검색
     

  • Romero, E.et al. 결정질 미세기계 공진기의 소산을 엔지니어링합니다. 물리. 목사 13, 044007 (2020).

    기사 
    ADS 
    CAS 

    Google 학술 검색
     

  • 콜, GD 외. 인장 변형됨xGa1−x캐비티 광역학을 위한 P 멤브레인. Appl. 물리. 레트 사람. 104, 201908 (2014).

    기사 
    ADS 

    Google 학술 검색
     

  • Bückle, M. et al. 인장 변형된 In의 응력 제어1−xGaxP 나노기계식 스트링 공진기. Appl. 물리. 레트 사람. 113, 201903 (2018).

    기사 
    ADS 

    Google 학술 검색
     

  • Manjeshwar, SK 외. 높은-Q 통합 자유 공간 광역학을 위한 변형된 결정질 InGaP의 트램펄린 공진기. 나노 렛트. 23, 5076-5082 (2023).

    기사 
    ADS 
    CAS 
    PubMed 
    PubMed를 중앙 

    Google 학술 검색
     

  • Liu, J. et al. 높은-Q 광기계적 GaAs 나노막. Appl. 물리. 레트 사람. 99, 243102 (2011).

    기사 
    ADS 

    Google 학술 검색
     

  • Minamisawa, RA 등. 최대 4.5%의 인장 탄성 변형 하에서 하향식으로 제작된 실리콘 나노와이어. Nat. 코뮌. 3, 1096 (2012).

    기사 
    ADS 
    CAS 
    PubMed 

    Google 학술 검색
     

  • Dang, C. et al. 미세 가공된 다이아몬드에서 크고 균일한 인장 탄성을 달성합니다. 과학 371, 76-78 (2021).

    기사 
    ADS 
    CAS 
    PubMed 

    Google 학술 검색
     

  • Xu, M.et al. 나노역학을 위한 고강도 비정질 탄화규소. Adv. 교인. 36, 2306513 (2023).

    기사 

    Google 학술 검색
     

  • Tao, Y., Boss, JM, Moores, BA & Degen, CL 품질 계수가 1백만을 초과하는 단결정 다이아몬드 나노기계 공진기. Nat. 코뮌. 5, 3638 (2014).

    기사 
    ADS 
    CAS 
    PubMed 

    Google 학술 검색
     

  • Yuan, M., Cohen, MA & Steele, GA 품질 계수가 10을 초과하는 밀리켈빈 온도의 질화규소 멤브레인 공진기8. Appl. 물리. 레트 사람. 107, 263501 (2015).

    기사 
    ADS 

    Google 학술 검색
     

  • Manjeshwar, SK 외. 통합 다중 요소 광역학을 위한 AlGaAs 헤테로구조의 부유 광결정 막. Appl. 물리. 레트 사람. 116, 264001 (2020).

    기사 
    ADS 

    Google 학술 검색
     

  • Fitzgerald, JM, Manjeshwar, SK, Wieczorek, W. & Tassin, P. Cavity 연속체에 광자 결합 상태가 있는 광역학. 물리. Res. Res. 3, 013131 (2021).

    기사 
    CAS 

    Google 학술 검색
     

  • Manjeshwar, SK 외. 분산형 브래그 반사경 위에 매달린 광결정 거울이 있는 통합 미세공동 광역학. 고르다. 표현하다 31, 30212-30226 (2023).

    기사 
    CAS 

    Google 학술 검색
     

  • Purdy, TP, Peterson, RW & Regal, CA 거시적 물체의 복사압 발사 소음 관찰. 과학 339, 801-804 (2013).

    기사 
    ADS 
    CAS 
    PubMed 

    Google 학술 검색
     

  • Kampel, NSet al. 양자 상관관계를 통해 광대역 변위 감지를 개선합니다. 물리. 개정판 X 7, 021008 (2017).


    Google 학술 검색
     

  • Brubaker, BM 등. 지속적이고 효율적인 전기광학 변환기의 광기계식 바닥 상태 냉각. 물리. 개정판 X 12, 021062 (2022).

    CAS 

    Google 학술 검색
     

  • 윌슨, DJ 외. 열 디코히어런스 속도에서 기계식 발진기의 측정 기반 제어. 자연 524, 325-329 (2015).

    기사 
    ADS 
    CAS 
    PubMed 

    Google 학술 검색
     

  • Sudhir, V. et al. 기계식 발진기의 측정 기반 피드백 제어에서 양자 상관 관계의 출현과 사라짐. 물리. 개정판 X 7, 011001 (2017).


    Google 학술 검색
     

  • Guo, J. & Gröblacher, S. 높은 Q 기계적 평면 외 모드의 통합 광학 판독. 빛 과학. 적용 11, 282 (2022).

    기사 
    ADS 
    CAS 
    PubMed 
    PubMed를 중앙 

    Google 학술 검색
     

  • Guo, J., Chang, J., Yao, X. & Gröblacher, S. 통합 저주파 기계 공진기의 능동 피드백 양자 제어. Nat. 코뮌. 14, 4721 (2023).

    기사 
    ADS 
    CAS 
    PubMed 
    PubMed를 중앙 

    Google 학술 검색
     

  • Anetsberger, G.et al. 나노기계 발진기를 이용한 근거리장 공동 광역학. Nat. 물리. 5, 909-914 (2009).

    기사 
    CAS 

    Google 학술 검색
     

  • Anetsberger, G.et al. 표준 양자 한계 이하의 부정확도로 나노기계적 움직임을 측정합니다. Phys. A 목사 82, 061804 (2010).

    기사 
    ADS 

    Google 학술 검색
     

  • Galinskiy, I., Tsaturyan, Y., Parniak, M. & Polzik, ES 운동 바닥 상태 근처의 초간섭성 막 공진기의 포논 계수 온도계. Optica 7, 718-725 (2020).

    기사 
    ADS 
    CAS 

    Google 학술 검색
     

  • Shaniv, R., Kumar Keshava, S., Reetz, C. & Regal, CA 대량 부하 인장 공진기의 품질 계수를 이해합니다. 물리. 목사 19, 031006 (2023).

    기사 
    ADS 

    Google 학술 검색
     

  • Kuehn, S., Loring, RF & Marohn, JA 유전 변동 및 비접촉 마찰의 기원. 물리. Lett. 96, 156103 (2006).

    기사 
    ADS 
    PubMed 
    PubMed를 중앙 

    Google 학술 검색
     

  • Fischer, R.et al. 마이크로 기계식 트램폴린을 이용한 회전 감지: 공동 광역학을 활용하는 자기 공명 현미경을 향한 방향. 새로운 J. Phys. 21, 043049 (2019).

    기사 
    ADS 
    CAS 

    Google 학술 검색
     

  • Zhang, C., Giroux, M., Nour, TA & St-Gelais, R. 높은 기계를 이용한 열복사 감지 Q-인자 질화 규소 막. ~ 안에 2019 IEEE 센서 1–4(IEEE, 2019); https://doi.org/10.1109/SENSORS43011.2019.8956551

  • Piller, M.et al. 나노전기기계식 질화규소 트램폴린 공진기를 이용한 열적 IR 감지. IEEE 센서 J. 23, 1066-1071 (2023).

    기사 
    ADS 
    CAS 

    Google 학술 검색
     

  • Fong, KY, Pernice, WHP & Tang, HX 초고속 주파수 및 위상 잡음 Q 질화규소 나노기계 공진기. 물리. 개정판 B 85, 161410 (2012).

    기사 
    ADS 

    Google 학술 검색
     

  • Gavartin, E., Verlot, P. & Kippenberg, TJ 선형 나노기계 발진기를 열역학적 한계까지 안정화합니다. Nat. 코뮌. 4, 2860 (2013).

    기사 
    ADS 
    PubMed 

    Google 학술 검색
     

  • Liu, Y. et al. 벌크 음파 공진기의 재료, 설계 및 특성: 검토. 마이크로 머신 11, 630 (2020).

    기사 
    CAS 
    PubMed 
    PubMed를 중앙 

    Google 학술 검색
     

  • Tu, C., Lee, JE-Y. & 장, X.-S. 소산분석 방법 및 Q-압전 MEMS 측면 진동 공진기의 강화 전략: 검토. 센서 20, 4978 (2020).

    기사 
    ADS 
    CAS 
    PubMed 
    PubMed를 중앙 

    Google 학술 검색
     

  • Hopcroft, MA, Nix, WD & Kenny, TW 실리콘의 영률은 무엇입니까?. J. Microelectromech. 시스템. 19, 229-238 (2010).

    기사 
    CAS 

    Google 학술 검색
     

  • Zhang, H. et al. 실리콘 나노와이어의 이상적인 탄성 변형 한계에 접근합니다. 공상 과학 Adv. 2, 1501382 (2016).

    기사 
    ADS 

    Google 학술 검색
     

  • Tao, Y.et al. 화학적 표면 보호를 통해 나노기계 Si 공진기의 소실을 영구적으로 감소시킵니다. 나노 기술 26, 465501 (2015).

    기사 
    CAS 
    PubMed 

    Google 학술 검색
     

  • Klaß, YS, Doster, J., Bückle, M., Braive, R. & Weig, EM 나노역학 스트링 공진기의 고유모드 스펙트럼을 통해 영률 결정. Appl. 물리. 레트 사람. 121, 083501 (2022).

    기사 
    ADS 

    Google 학술 검색
     

  • Petersen, KE 기계 재료로서의 실리콘. 절차 IEEE 70, 420-457 (1982).

    기사 
    ADS 
    CAS 

    Google 학술 검색
     

  • 버클, M. 인장 응력을 받는 결정질 인듐 갈륨 인화물을 기반으로 한 나노기계 시스템. 박사 논문, Univ. 콘스탄츠(2020).

  • Hjort, K., Söderkvist, J. & Schweitz, J.-Å. 갈륨 비소는 기계 재료입니다. J. 마이크로메크. 마이크로엥. 4, 1-13 (1994).

    기사 
    ADS 
    CAS 

    Google 학술 검색
     

  • Smith, RT & Welsh, FS 탄탈산리튬 및 니오브산리튬의 탄성, 압전 및 유전 상수의 온도 의존성. J. Appl. 물리. 42, 2219-2230 (1971).

    기사 
    ADS 
    CAS 

    Google 학술 검색
     

  • Gruber, M.et al. LiNbO의 강도 분포 및 파괴 분석3 그리고 LiTaO3 이축 하중을 받는 단결정. J. Eur. 세람. 사회 37, 4397-4406 (2017).

    기사 
    CAS 

    Google 학술 검색
     

  • Österlund, E., Kinnunen, J., Rontu, V., Torkkeli, A. & Paulasto-Kröckel, M. 질화알루미늄 박막의 기계적 특성 및 신뢰성. J. 합금 Compd 772, 306-313 (2019).

    기사 

    Google 학술 검색
     

  • Cleland, AN, Pophristic, M. & Ferguson, I. 단결정 알루미늄 질화물 나노기계 공진기. Appl. 물리. 레트 사람. 79, 2070-2072 (2001).

    기사 
    ADS 
    CAS 

    Google 학술 검색
     

  • Wu, H. et al. 다이아몬드-다이아몬드 기계 공진기의 고유 에너지 소산을 100만 품질 계수로 줄입니다. Phys. Mater 목사. 2, 090601 (2018).

    기사 
    CAS 

    Google 학술 검색
     

  • Falin, A.et al. 원자적으로 얇은 질화붕소의 기계적 성질과 층간 상호작용의 역할. Nat. 코뮌. 8, 15815 (2017).

    기사 
    ADS 
    CAS 
    PubMed 
    PubMed를 중앙 

    Google 학술 검색
     

  • Lee, C., Wei, X., Kysar, JW & Hone, J. 단층 그래핀의 탄성 특성 및 고유 강도 측정. 과학 321, 385-388 (2008).

    기사 
    ADS 
    CAS 
    PubMed 

    Google 학술 검색
     

  • Cleland, AN & Roukes, ML 나노기계 공진기의 소음 처리. J. Appl. 물리. 92, 2758-2769 (2002).

    기사 
    ADS 
    CAS 

    Google 학술 검색
     

  • Gely, MF & Steele, GA 대규모 중첩에서 일반 상대성 이론의 Diósi-Penrose 효과를 테스트하기 위한 초전도 전기 역학. AVS 양자 과학. 3, 035601 (2021).

    기사 
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    CAS 

    Google 학술 검색
     

  • Lubensky, TC, Kane, CL, Mao, X., Souslov, A. & Sun, K. 비판적으로 조정된 격자의 포논 및 탄력성. 의원 물리. 78, 073901 (2015).

    기사 
    ADS 
    CAS 
    PubMed 

    Google 학술 검색
     

  • González, G. LIGO 중력파 검출기의 열 잡음을 중단합니다. 수업. 양자중력 17, 4409-4435 (2000).

    기사 
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