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Park Systems présente Park NX-TSH, une pointe automatisée haute résolution…

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Système de tête de balayage Park NX-TSH, tête de balayage automatisée pour l'analyse de grands échantillons de plus de 300 mm.

Park NX-TSH a été développé spécifiquement pour les fabricants mettant en place des fabs pour produire des écrans plats de nouvelle génération dans le but de dépasser la limite de taille de 300 mm. Veuillez nous rendre visite à SEMI Global Unites.

Systèmes de parc, premier fabricant mondial de microscopes à force atomique AFM présentera leur nouveau lancement Parc NX-TSH, la seule Tip Scan Head automatisée pour l'analyse de grands échantillons de plus de 300 mm à la SEMI Technology Units Global Summit 15-19 février 2021. Park NX-TSH est destiné au verre d'affichage à écran plat d'échantillons volumineux et lourds, à l'échantillon d'encodeur 2D et dispose d'un AFM conducteur pour l'analyse des défauts électriques en intégrant une station de microsonde.

La taille du marché mondial des LED organiques (OLED) était évaluée à 32,463.5 2019 millions USD en 203,069.9 et devrait atteindre 2027 21.7 millions USD d'ici 2020, enregistrant un TCAC de 2027% de XNUMX à XNUMX. Les principaux facteurs de croissance de la taille du marché OLED sont la forte demande de éclairage OLED rentable et économe en énergie, augmentation des initiatives gouvernementales pour adopter l'OLED et croissance du marché des rétroéclairages d'affichage et de grand écran.

La tête de balayage à pointe (TSH) est une tête à pointe mobile automatisée pour les mesures AFM industrielles sur de grands échantillons de plus de 300 mm développée pour OLED, LCD, photonique pour l'analyse de grands échantillons. La tête de balayage automatisée des pointes se déplace sur une technologie de palier à air et combine les scanners x, y, z se déplaçant directement vers le point souhaité sur le substrat. La tête de balayage automatisée des pointes se déplace sur une technologie de palier à air combinant les scanners x, y, z et se déplaçant directement vers le point souhaité sur le substrat.

"Park NX-TSH a été développé spécifiquement pour les fabricants mettant en place des fabs pour produire des écrans plats de nouvelle génération dans le but de dépasser la limite de taille de 300 mm", déclare Keibock Lee, président de Park Systems. "En utilisant l'AFM conducteur, Park NX TSH mesure la surface de l'échantillon avec une station de sonde optionnelle qui entre en contact avec la surface de l'échantillon et fournit du courant dans de petits appareils ou puces."

Le système de balayage automatisé des pointes surmonte les défis de la nanométrologie avec un système de scanner de pointe de style portique qui se déplace directement vers un endroit sur l'échantillon et produit des images haute résolution de la mesure de la rugosité, de la mesure de la hauteur des marches, de la mesure des dimensions critiques et de la mesure des parois latérales.

"Park Systems a étendu ses outils AFM pour Gen10 + et tous les grands écrans plats

utilisant le système Park NX-TSH (Tip Scanning Head), et est la seule tête de balayage automatisée pour l'analyse de grands échantillons de plus de 300 mm », ajoute Lee.

L'échantillon est fixé sur un mandrin d'échantillon et la tête de balayage de pointe fixée au portique se déplace vers des positions de mesure sur l'échantillon de surface. Le système de tête de lecture Tip surmonte les limitations de taille et de poids de l'échantillon puisque l'échantillon est fixé sur le mandrin à échantillon.

La microscopie à force atomique est la méthode la plus précise et non destructive de mesure d'échantillons à l'échelle nanométrique et avec Park NX-TSH, des images AFM fiables et haute résolution peuvent être obtenues sur des OLED, des écrans LCD, des photomasques, etc. dans un système de pont de type portique amélioration de la productivité et de la qualité.

Visitez le stand Park Systems à la conférence mondiale SEMI Technology Unites pour rencontrer l'un de nos représentants en ligne ou envoyez une demande à l'adresse@parksystems.com.

À propos de Park Systems

Park Systems est le premier fabricant mondial de systèmes de microscopie à force atomique (AFM) à la croissance la plus rapide, avec une gamme complète de produits pour les chercheurs et les ingénieurs des secteurs de la chimie, des matériaux, de la physique, des sciences de la vie, des semi-conducteurs et du stockage de données. Notre mission est de permettre des avancées à l'échelle nanométrique pour les scientifiques et les ingénieurs en résolvant les problèmes les plus urgents du monde et en repoussant les limites des découvertes scientifiques et des innovations techniques. Les clients de Park Systems comprennent la plupart des 20 plus grandes sociétés de semi-conducteurs au monde et des universités de recherche nationales en Asie, en Europe et dans les Amériques. Park Systems est une société cotée en bourse à la Bourse de Corée (KOSDAQ) dont le siège social est à Suwon, en Corée, et le siège régional à Santa Clara, en Californie, aux États-Unis, à Mannheim, en Allemagne, à Pékin, en Chine, à Tokyo, au Japon, à Singapour et au Mexique. Ville, Mexique. Pour en savoir plus sur Park Systems, veuillez visiter http://www.parksystems.com.

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Source : https://www.prweb.com/releases/park_systems_showcases_park_nx_tsh_a_high_resolution_automated_tip_scanning_head_tsh_at_semi_technology_unites_global_summit/prweb17726370.htm

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