Huang، YL & Saulson، PR آليات التبديد في البندولات وآثارها على مقاييس تداخل موجة الجاذبية. القس العلوم. الصك. 69، 544 – 553 (1998).
González، GI & Saulson، PR الحركة البراونية لكتلة معلقة بسلك مرن. J. الصوت. شركة نفط الجنوب. أكون. 96، 207 – 212 (1994).
فاليت، سي. وكويستا، سي. ميكانيكية الحبل النابض بالحياة (منشورات هيرميس العلمية، 1993).
Unterreithmeier، QP، Faust، T. & Kotthaus، JP التخميد للرنانات الميكانيكية النانوية. فيز. القس ليت. 105، 027205 (2010).
فيدوروف، سا وآخرون. التخفيف المعمم للتبديد في الرنانات الميكانيكية المتوترة. فيز. القس ب 99، 054107 (2019).
Verbridge، SS، Parpia، JM، Reichenbach، RB، Bellan، LM & Craighead، HG رنين عامل عالي الجودة في درجة حرارة الغرفة مع أوتار نانوية تحت ضغط شد عالي. جيه. فيز. 99، 124304 (2006).
Verbridge، SS، Craighead، HG & Parpia، JM مرنان ميكانيكي نانو ميجا هرتز مع عامل جودة درجة حرارة الغرفة أكثر من مليون. تطبيق فيز. بادئة رسالة. 92، 013112 (2008).
طومسون، دينار وآخرون. اقتران مشتت قوي لتجويف عالي الجودة بغشاء ميكانيكي دقيق. الطبيعة 452، 72 – 75 (2008).
فيليبس، WA حالات ذات مستويين في النظارات. النائب بروغ. فيز. 50، 1657 – 1708 (1987).
غني، T. وآخرون. تقنية منطق تصنيع ذات حجم كبير 90 نانومتر تتميز بترانزستورات CMOS من السيليكون المجهد بطول بوابة 45 نانومتر. في اجتماع IEEE الدولي للأجهزة الإلكترونية 2003 11.6.1-11.6.3 (IEEE، 2003) ؛ https://doi.org/10.1109/IEDM.2003.1269442
ساوثورث، دكتور وآخرون. الإجهاد ونيتريد السيليكون: صدع في التبديد العالمي للنظارات. فيز. القس ليت. 102، 225503 (2009).
Wu، J. & Yu، CC كيف يمكن أن يقلل الضغط من التبديد في النظارات. فيز. القس ب 84، 174109 (2011).
Tsaturyan، Y.، Barg، A.، Polzik، ES & Schliesser، A. مرنانات ميكانيكية نانوية فائقة الترابط عبر التخفيف الناعم والتبديد. نات. تقنية النانو. 12، 776 – 783 (2017).
غاديمي، AH وآخرون. هندسة الضغط المرن للتبديد الميكانيكي المنخفض للغاية. علوم 360، 764 – 768 (2018).
بيريهي، MJ وآخرون. هياكل الشد الهرمية مع تبديد ميكانيكي منخفض للغاية. نات. COMMUN. 13، 3097 (2022).
شين، D. وآخرون. الرنانات الميكانيكية النانوية Spiderweb عبر التحسين الافتراضي: مستوحاة من الطبيعة وموجهة بالتعلم الآلي. حال. الأم. 34، 2106248 (2022).
بيريهي، M. J. وآخرون. تُظهر الأنماط المحيطة للرنانات الميكانيكية النانوية عوامل جودة تتجاوز 109 في درجة حرارة الغرفة. فيز. القس العاشر 12، 021036 (2022).
كوبرتينو، A. وآخرون. مرنانات ميكانيكية نانوية بمقياس سنتيمتر مع تبديد منخفض. الطباعة المسبقة في https://arxiv.org/abs/2308.00611 (2023).
بيكاري، A. وآخرون. رنانات ميكانيكية نانوية بلورية متوترة بمعامل جودة أعلى من 10 مليار. نات. فيز 18، 436 – 441 (2022).
Unterreithmeier، QP، Weig، EM & Kotthaus، JP مخطط النقل العالمي للأنظمة الميكانيكية النانوية القائمة على قوى العزل الكهربائي. الطبيعة 458، 1001 – 1004 (2009).
باجسي، T. وآخرون. الكشف البصري لموجات الراديو من خلال محول الطاقة النانوميكانيكي. الطبيعة 507، 81 – 85 (2014).
Chien، M.-H.، Brameshuber، M.، Rossboth، BK، Schütz، GJ & Schmid، S. التصوير بالامتصاص البصري لجزيء واحد عن طريق الاستشعار الحراري الضوئي الميكانيكي النانوي. بروك. ناتل أكاد. الخيال العلمي. الولايات المتحدة الأمريكية 115، 11150 – 11155 (2018).
Aspelmeyer، M.، Kippenberg، TJ & Marquardt، F. Cavity optomechanics. القس Mod. فيز. 86، 1391 – 1452 (2014).
أندروود، M. وآخرون. قياس النطاقات الجانبية الحركية لمذبذب مقياس النانوجرام في النظام الكمومي. فيز. القس أ 92، 061801 (2015).
Purdy، TP، Yu، P.-L.، Peterson، RW، Kampel، NS & Regal، CA الضغط البصري الميكانيكي القوي للضوء. فيز. القس العاشر 3، 031012 (2013).
Nielsen، WHP، Tsaturyan، Y.، Møller، CB، Polzik، ES & Schliesser، A. النظام الميكانيكي البصري متعدد الأوضاع في النظام الكمي. بروك. ناتل أكاد. الخيال العلمي. الولايات المتحدة الأمريكية 114، 62 – 66 (2017).
بيترسون، RW وآخرون. التبريد بالليزر للغشاء الميكانيكي الدقيق إلى حد رد الفعل الكمي. فيز. القس ليت. 116، 063601 (2016).
روسي ، إم ، ميسون ، دي ، تشين ، جيه ، تساتوريان ، واي وشليسر ، أ. التحكم الكمي القائم على القياس للحركة الميكانيكية. الطبيعة 563، 53 – 58 (2018).
Saarinen، SA، Kralj، N.، Langman، EC، Tsaturyan، Y. & Schliesser، A. تبريد الليزر لنظام غشاء في الوسط قريب من الحالة الأرضية الكمومية من درجة حرارة الغرفة. بصريات 10، 364 – 372 (2023).
سيس، Y. وآخرون. تبريد الحالة الأرضية لنظام كهروميكانيكي فائق التماسك. نات. COMMUN. 13، 1507 (2022).
Mason، D.، Chen، J.، Rossi، M.، Tsaturyan، Y. & Schliesser، A. قياس القوة المستمرة والإزاحة تحت الحد الكمي القياسي. نات. فيز. 15، 745 – 749 (2019).
جوكل، A. وآخرون. التبريد الودي لمذبذب الغشاء في نظام ذري ميكانيكي هجين. نات. تقنية النانو. 10، 55 – 59 (2015).
مولر، سي بي وآخرون. قياس الحركة الخلفية الكمومية للتهرب من الحركة في إطار مرجعي جماعي سلبي. الطبيعة 547، 191 – 195 (2017).
كارج، TM وآخرون. اقتران قوي بوساطة الضوء بين مذبذب ميكانيكي ودوران ذري على مسافة متر واحد. علوم 369، 174 – 179 (2020).
توماس، را وآخرون. التشابك بين الأنظمة الميكانيكية والدورانية العيانية البعيدة. نات. فيز. 17، 228 – 233 (2021).
شميد، ج.-ل. وآخرون. التبريد المرتد المتماسك للغشاء الميكانيكي النانوي مع الدوران الذري. فيز. القس العاشر 12، 011020 (2022).
أندروز، RW وآخرون. تحويل ثنائي الاتجاه وفعال بين الميكروويف والضوء البصري. نات. فيز. 10، 321 – 326 (2014).
هيغينبوثام، أب وآخرون. تسخير الارتباطات الكهربائية الضوئية في محول ميكانيكي فعال. نات. فيز. 14، 1038 – 1042 (2018).
ديلاني، R. D. وآخرون. قراءات فائقة التوصيل للبت عبر النقل الكهروضوئي منخفض التفاعل. الطبيعة 606، 489 – 493 (2022).
Košata، J.، Zilberberg، O.، Degen، CL، Chitra، R. & Eichler، A. اكتشاف الدوران عبر تحويل التردد البارامترى في مرنان الغشاء. فيز. القس Appl. 14، 014042 (2020).
هالج، D. وآخرون. الفحص المجهري لقوة المسح القائم على الغشاء. فيز. القس Appl. 15، 021001 (2021).
Krause ، AG ، Winger ، M. ، Blasius ، TD ، Lin ، Q. & Painter ، O. مقياس التسارع الميكانيكي البصري عالي الدقة. نات. الفوتون. 6، 768 – 772 (2012).
تشو، F. وآخرون. استشعار النطاق العريض محدود ميكانيكيًا حراريًا باستخدام مقياس تسارع ميكانيكي بصري. بصريات 8، 350 – 356 (2021).
برات، JR وآخرون. تخفيف التبديد الالتوائي النانوي للتجارب الكمومية وقياس الدقة. فيز. القس العاشر 13، 011018 (2023).
كارني، D. وآخرون. الاستشعار الكمي الميكانيكي في البحث عن المادة المظلمة. علوم الكم. تكنول. 6، 024002 (2021).
Manley، J.، Chowdhury، MD، Grin، D.، Singh، S. & Wilson، DJ البحث عن المادة المظلمة المتجهة باستخدام مقياس التسارع البصري الميكانيكي. فيز. القس ليت. 126، 061301 (2021).
غيليسبي، DT التقلب والتبديد في الحركة البراونية. صباحا. J. Phys. 61، 1077 – 1083 (1993).
سولسون، PR الضوضاء الحرارية في التجارب الميكانيكية. فيز. القس د. 42، 2437 (1990).
Wilson، DJ، Regal، CA، Papp، SB & Kimble، HJ Cavity optomechanics مع أفلام SiN المتكافئة. فيز. القس ليت. 103، 207204 (2009).
نوفيك، AS وبيري، BS الاسترخاء المرن في المواد الصلبة البلورية (Academic Press، 1972).
Villanueva، LG & Schmid، S. دليل على فقدان السطح كآلية تخميد محددة في كل مكان في الرنانات الميكانيكية الدقيقة والميكانيكية النانوية SiN. فيز. القس ليت. 113، 227201 (2014).
Høj، D.، Hoff، UB & Andersen، UL مرنانات ميكانيكية نانوية فائقة التماسك تعتمد على الهندسة البلورية الصوتية ذات الكثافة. الطباعة المسبقة في https://arxiv.org/abs/2207.06703 (2022).
شميد، إس، فيلانويفا، إل جي وروكس، إم إل (محررون) أساسيات الرنانات الميكانيكية النانوية (سبرينغر ، 2023).
إنز، سي. وهونكلينغر، إس. فيزياء درجات الحرارة المنخفضة (سبرينغر ، 2005).
Kleiman، RN، Agnolet، G. & Bishop، DJ أنظمة ذات مستويين تمت ملاحظتها في الخواص الميكانيكية للسيليكون أحادي البلورة عند درجات حرارة منخفضة. فيز. القس ليت. 59، 2079 – 2082 (1987).
Hauer، BD، Kim، PH، Doolin، C.، Souris، F. & Davis، JP نظام تخميد ذو مستويين في مرنان ميكانيكي بصري شبه أحادي البعد. فيز. القس ب 98، 214303 (2018).
ماك كابي ، جي إس وآخرون. مرنان صوتي نانو مع عمر طويل لفونون. علوم 370، 840 – 843 (2020).
وولاك، EA وآخرون. قنوات الخسارة التي تؤثر على الرنانات البلورية الصوتية نيوبات الليثيوم عند درجة الحرارة المبردة. تطبيق فيز. بادئة رسالة. 118، 123501 (2021).
زينر، C. الاحتكاك الداخلي في المواد الصلبة II. النظرية العامة للاحتكاك الداخلي الحراري. فيز. القس 53، 90 – 99 (1938).
Lifshitz، R. & Roukes، ML التخميد الحراري في الأنظمة الميكانيكية الدقيقة والنانوية. فيز. القس ب 61، 5600 – 5609 (2000).
Kiselev، AA & Iafrate، GJ Phonon ديناميات وفونون ساعدت في الخسائر في عوارض Euler-Bernoulli النانوية. فيز. القس ب 77، 205436 (2008).
Bao، M.، Yang، H.، Yin، H. & Sun، Y. نموذج نقل الطاقة لتخميد الهواء المضغوط في فراغ منخفض. J. Micromech. مايكروينج. 12، 341 – 346 (2002).
Cross، MC & Lifshitz، R. انتقال الموجات المرنة عند تقاطع مفاجئ في صفيحة رقيقة مع تطبيق لنقل الحرارة والاهتزازات في الأنظمة المجهرية. فيز. القس ب 64، 085324 (2001).
Cole، GD، Wilson-Rae، I.، Werbach، K.، Vanner، MR & Aspelmeyer، M. Phonon-tunnelling disipation في الرنانات الميكانيكية. نات. COMMUN. 2، 231 (2011).
ويلسون راي، I. وآخرون. عالي-Q ميكانيكا النانو عن طريق التداخل المدمر للموجات المرنة. فيز. القس ليت. 106، 047205 (2011).
غاديمي، آه، ويلسون، دي جي آند كيبنبرغ، تي جيه الإشعاع وهندسة الفقد الداخلي للعوارض النانوية من نيتريد السيليكون عالية الضغط. نانو ليت. 17، 3501 – 3505 (2017).
جوكل، A. وآخرون. التحليل الطيفي للتبديد الميكانيكي في الأغشية الميكانيكية الدقيقة. تطبيق فيز. بادئة رسالة. 99، 143109 (2011).
بوريلي، A. وآخرون. السيطرة على خسائر الارتداد في مرنانات غشاء SiN الميكانيكية النانوية. فيز. القس ب 94، 121403 (2016).
Schmid، S.، Jensen، KD، Nielsen، KH & Boisen، A. آليات التخميد في المرتفعاتQ مرنانات السلسلة الدقيقة والنانوميكانيكية. فيز. القس ب 84، 165307 (2011).
Yu، P.-L.، Purdy، TP & Regal، CA التحكم في تخميد المواد في المناطق العاليةQ الرنانات الدقيقة الغشائية. فيز. القس ليت. 108، 083603 (2012).
لانداو، LD، ليفشيتز، EM، بيتايفسكي، LP & كوسيفيتش، AM نظرية المرونة. دورة الفيزياء النظرية المجلد. 7 (بيرغامون، 1986).
Catalini، L.، Rossi، M.، Langman، EC & Schliesser، A. نمذجة ومراقبة التخميد غير الخطي في الرنانات الميكانيكية النانوية المخففة بالتبديد. فيز. القس ليت. 126، 174101 (2021).
Bachtold، A.، Moser، J. & Dykman، MI الفيزياء المجهرية للأنظمة الميكانيكية النانوية. القس Mod. فيز. 94، 045005 (2022).
بيريهي، MJ وآخرون. يزيد استدقاق المشبك من عامل جودة الحزم النانوية المجهدة. نانو ليت. 19، 2329 – 2333 (2019).
Sadeghi، P.، Tanzer، M.، Christensen، SL & Schmid، S. تأثير توسيع المشبك على عامل الجودة لرنانات نيتريد السيليكون الميكانيكية النانوية. جيه. فيز. 126، 165108 (2019).
Reinhardt، C.، Müller، T.، Bourassa، A. & Sankey، JC Ultralow-noise SiN رنانات الترامبولين للاستشعار والميكانيكا البصرية. فيز. القس العاشر 6، 021001 (2016).
Norte، RA، Moura، JP & Gröblacher، S. مرنانات ميكانيكية لتجارب الميكانيكا الضوئية الكمومية في درجة حرارة الغرفة. فيز. القس ليت. 116، 147202 (2016).
ويلسون، دي جي الميكانيكا البصرية التجويفية مع أفلام نيتريد السيليكون عالية الضغط. أطروحة دكتوراه، معهد كاليفورنيا للتكنولوجيا (2012)؛ https://doi.org/10.7907/VB3C-1G76
Chakram، S.، Patil، YS، Chang، L. & Vengalattore، M. Dissipation في مرنانات غشاء SiN عالية الجودة. فيز. القس ليت. 112، 127201 (2014).
يو، P.-L. وآخرون. درع فجوة الحزمة الصوتية للأصوات العاليةQ الرنانات الدقيقة الغشائية. تطبيق فيز. بادئة رسالة. 104، 023510 (2014).
تساتوريان، Y. وآخرون. عرض لخسائر نفق الفونون المكبوتة في مرنانات الأغشية المحمية ذات فجوة النطاق الصوتية من أجل ارتفاعQ الميكانيكا البصرية. يختار، يقرر. التعبير 22، 6810 – 6821 (2014).
ويفر، MJ وآخرون. مرنانات الترامبولين المتداخلة للميكانيكا البصرية. تطبيق فيز. بادئة رسالة. 108، 033501 (2016).
سيرا، E. وآخرون. مذبذب MOMS من نيتريد السيليكون لميكانيكا البصر الكمومية في درجة حرارة الغرفة. J. ميكرو إلكتروميك. النظام. 27، 1193 – 1203 (2018).
ريتز، C. وآخرون. تحليل البلورات الصوتية الغشائية ذات فجوات واسعة النطاق وعيوب منخفضة الكتلة. فيز. القس Appl. 12، 044027 (2019).
فيدوروف، سا وآخرون. ضوضاء التشكيل البيني الحراري في القياسات القائمة على التجويف. بصريات 7، 1609 – 1616 (2020).
Guo، J.، Norte، R. & Gröblacher، S. تبريد ردود الفعل للمذبذب الميكانيكي في درجة حرارة الغرفة بالقرب من حالته الأرضية المتحركة. فيز. القس ليت. 123، 223602 (2019).
فيدوروف، س. رنانات ميكانيكية ذات نسبة تخفيف عالية للتبديد في القياسات الدقيقة والكمية. أطروحة دكتوراه، EPFL، لوزان (2021)؛ https://doi.org/10.5075/epfl-thesis-10421
Fedorov، SA، Beccari، A.، Engelsen، NJ & Kippenberg، TJ مرنانات ميكانيكية تشبه الفراكتل مع وضع أساسي مثبت باللين. فيز. القس ليت. 124، 025502 (2020).
هوج، D. وآخرون. رنانات ميكانيكية نانوية فائقة التماسك تعتمد على التصميم العكسي. نات. COMMUN. 12، 5766 (2021).
دافنبورت، دبليو بي آند روت، دبليو إل مقدمة لنظرية الإشارات العشوائية والضوضاء (وايلي-IEEE، 1987).
زويكل، بي إم وآخرون. الخصائص الميكانيكية والبصرية عالية الجودة لأغشية نيتريد السيليكون التجارية. تطبيق فيز. بادئة رسالة. 92، 103125 (2008).
Renninger، WH، Kharel، P.، Behunin، RO & Rakich، PT الميكانيكا البصرية البلورية السائبة. نات. فيز. 14، 601 – 607 (2018).
Sementilli، L.، Romero، E. & Bowen، WP التبديد الميكانيكي النانوي وهندسة السلالة. حال. Funct. الأم. 32، 2105247 (2022).
كرماني، AR وآخرون. الرنانات الدقيقة مع Q- عوامل تزيد عن مليون من كربيد السيليكون الفوقي شديد الضغط على السيليكون. تطبيق فيز. بادئة رسالة. 104، 081901 (2014).
روميرو، E. وآخرون. هندسة تبديد الرنانات البلورية الميكروميكانيكية. فيز. القس Appl. 13، 044007 (2020).
كول، جي دي وآخرون. متوترة الشد فيxGa1-xأغشية P للميكانيكا الضوئية للتجويف. تطبيق فيز. بادئة رسالة. 104، 201908 (2014).
بوكلي، م. وآخرون. التحكم في إجهاد الشد المتوتر1-xGaxمرنانات سلسلة نانوية ميكانيكية. تطبيق فيز. بادئة رسالة. 113، 201903 (2018).
مانجشوار، SK وآخرون. عالي-Q رنانات الترامبولين من InGaP البلورية المتوترة للميكانيكا الضوئية المتكاملة في الفضاء الحر. نانو ليت. 23، 5076 – 5082 (2023).
ليو، J. وآخرون. عالي-Q الأغشية النانوية GaAs الميكانيكية البصرية. تطبيق فيز. بادئة رسالة. 99، 243102 (2011).
ميناميساوا، را وآخرون. أسلاك السيليكون المصنعة من أعلى إلى أسفل تحت إجهاد مرن قابل للشد يصل إلى 4.5%. نات. COMMUN. 3، 1096 (2012).
دانغ، C. وآخرون. تحقيق مرونة شد موحدة كبيرة في الماس المصغر. علوم 371، 76 – 78 (2021).
شو، M. وآخرون. كربيد السيليكون غير المتبلور عالي القوة لميكانيكا النانو. حال. الأم. 36، 2306513 (2023).
Tao، Y.، Boss، JM، Moores، BA & Degen، CL مرنانات ميكانيكية نانوية أحادية البلورة مع عوامل جودة تتجاوز المليون. نات. COMMUN. 5، 3638 (2014).
Yuan, M., Cohen, MA & Steele, GA مرنانات غشاء نيتريد السيليكون عند درجات حرارة ملي كلفن مع عوامل جودة تتجاوز 108. تطبيق فيز. بادئة رسالة. 107، 263501 (2015).
مانجشوار، SK وآخرون. الأغشية البلورية الضوئية المعلقة في هياكل AlGaAs المتغايرة للميكانيكا الضوئية المتكاملة متعددة العناصر. تطبيق فيز. بادئة رسالة. 116، 264001 (2020).
Fitzgerald، JM، Manjeshwar، SK، Wieczorek، W. & Tassin، P. Cavity optomechanics مع الحالات المرتبطة الضوئية في السلسلة المتصلة. فيز. القس الدقة. 3، 013131 (2021).
مانجشوار، SK وآخرون. الميكانيكا الضوئية المدمجة ذات التجويف الدقيق مع مرآة بلورية فوتونية معلقة فوق عاكس Bragg الموزع. يختار، يقرر. التعبير 31، 30212 – 30226 (2023).
Purdy، TP، Peterson، RW & Regal، CA ملاحظة ضغط الإشعاع تسبب ضجيجًا على جسم مجهري. علوم 339، 801 – 804 (2013).
كامبل، NS وآخرون. تحسين الكشف عن إزاحة النطاق العريض من خلال الارتباطات الكمومية. فيز. القس العاشر 7، 021008 (2017).
بروبكر، B. M. وآخرون. تبريد الحالة الأرضية الميكانيكية البصرية في محول الطاقة الكهروضوئية المستمر والفعال. فيز. القس العاشر 12، 021062 (2022).
ويلسون ، دي جي وآخرون. التحكم القائم على القياس لمذبذب ميكانيكي في معدل فك الترابط الحراري. الطبيعة 524، 325 – 329 (2015).
سودهير، V. وآخرون. ظهور واختفاء الارتباطات الكمومية في التحكم في ردود الفعل القائمة على القياس للمذبذب الميكانيكي. فيز. القس العاشر 7، 011001 (2017).
Guo، J. & Gröblacher، S. قراءات بصرية متكاملة لوضع خارج الطائرة ميكانيكي عالي الجودة. علوم الضوء. تطبيق 11، 282 (2022).
Guo، J.، Chang، J.، Yao، X. & Gröblacher، S. التحكم الكمي للتغذية المرتدة النشطة في مرنان ميكانيكي متكامل منخفض التردد. نات. COMMUN. 14، 4721 (2023).
أنيتسبيرجر، G. وآخرون. الميكانيكا البصرية لتجويف المجال القريب مع مذبذبات ميكانيكية نانوية. نات. فيز. 5، 909 – 914 (2009).
أنيتسبيرجر، G. وآخرون. قياس الحركة الميكانيكية النانوية بدقة أقل من الحد الكمي القياسي. فيز. القس أ 82، 061804 (2010).
Galinskiy، I.، Tsaturyan، Y.، Parniak، M. & Polzik، ES Phonon عد قياس الحرارة لمرنان غشاء فائق الترابط بالقرب من حالته الأرضية المتحركة. بصريات 7، 718 – 725 (2020).
Shaniv، R.، Kumar Keshava، S.، Reetz، C. & Regal، CA فهم عامل الجودة للرنانات المتوترة المحملة بكميات كبيرة. فيز. القس Appl. 19، 031006 (2023).
Kuehn، S.، Loring، RF & Marohn، JA تقلبات العزل الكهربائي وأصول الاحتكاك غير المتصل. فيز. القس ليت. 96، 156103 (2006).
فيشر، ر. وآخرون. الكشف عن الدوران باستخدام الترامبولين الميكروميكانيكي: نحو الفحص المجهري بالرنين المغناطيسي الذي يسخر الميكانيكا البصرية للتجويف. جديد J. Phys. 21، 043049 (2019).
Zhang، C.، Giroux، M.، Nour، TA & St-Gelais، R. استشعار الإشعاع الحراري باستخدام ميكانيكية عالية Q-عامل أغشية نيتريد السيليكون. في 2019 أجهزة استشعار IEEE 1-4 (IEEE، 2019) ؛ https://doi.org/10.1109/SENSORS43011.2019.8956551
بيلر، M. وآخرون. الكشف عن الأشعة تحت الحمراء الحرارية باستخدام مرنانات الترامبولين من نيتريد السيليكون الكهروميكانيكية. أعضاء جمعية مهندسي الكهرباء والإلكترونيات (IEEE) ج. 23، 1066 – 1071 (2023).
Fong، KY، Pernice، WHP & Tang، تردد HX وضوضاء الطور فائقة الارتفاع Q الرنانات الميكانيكية النانوية من نيتريد السيليكون. فيز. القس ب 85، 161410 (2012).
Gavartin، E.، Verlot، P. & Kippenberg، TJ تثبيت المذبذب الميكانيكي النانوي الخطي إلى الحد الديناميكي الحراري. نات. COMMUN. 4، 2860 (2013).
ليو، Y. وآخرون. المواد والتصميم وخصائص مرنان الموجات الصوتية السائبة: مراجعة. Micromachines 11، 630 (2020).
تو، C.، لي، JE-Y. & تشانغ، X.-S. طرق تحليل التبديد و Q-استراتيجيات التحسين في الرنانات الكهرضغطية MEMS التي تهتز جانبيًا: مراجعة. أجهزة الاستشعار 20، 4978 (2020).
Hopcroft، MA، Nix، WD & Kenny، TW ما هو معامل يونغ للسيليكون؟. J. ميكرو إلكتروميك. النظام. 19، 229 – 238 (2010).
تشانغ، H. وآخرون. الاقتراب من حد الإجهاد المرن المثالي في أسلاك السيليكون النانوية. علوم. حال. 2، 1501382 (2016).
تاو، Y. وآخرون. التخفيض الدائم للتبديد في مرنانات Si النانوية الميكانيكية عن طريق حماية السطح الكيميائي. تكنولوجيا النانو 26، 465501 (2015).
Klaß، YS، Doster، J.، Bückle، M.، Braive، R. & Weig، EM تحديد معامل يونغ عبر طيف الوضع الذاتي لمرنان السلسلة الميكانيكية النانوية. تطبيق فيز. بادئة رسالة. 121، 083501 (2022).
Petersen، KE السيليكون كمادة ميكانيكية. بروك. IEEE 70، 420 – 457 (1982).
بوكل، م. الأنظمة الميكانيكية النانوية المعتمدة على فوسفيد الغاليوم الإنديوم البلوري المجهد بالشد. أطروحة دكتوراه، جامعة. كونستانز (2020).
هجورت، K.، سودركفيست، J. & شويتز، J.-Å. زرنيخيد الغاليوم كمادة ميكانيكية. J. Micromech. مايكروينج. 4، 1 – 13 (1994).
Smith، RT & Welsh، FS الاعتماد على درجة الحرارة للثوابت المرنة والكهرضغطية والعازلة للكهرباء من تنتاليت الليثيوم ونيوبات الليثيوم. جيه. فيز. 42، 2219 – 2230 (1971).
جروبر، م وآخرون. توزيع القوة وتحليل الكسر لـ LiNbO3 و ليتاو3 بلورات واحدة تحت التحميل ذو محورين. يور. سيرام. شركة 37، 4397 – 4406 (2017).
Österlund، E.، Kinnunen، J.، Rontu، V.، Torkkeli، A. & Paulasto-Kröckel، M. الخواص الميكانيكية وموثوقية الأغشية الرقيقة من نيتريد الألومنيوم. J. سبائك كومبد 772، 306 – 313 (2019).
Cleland، AN، Pophristic، M. & Ferguson، I. مرنانات ميكانيكية نانوية من نيتريد الألومنيوم أحادية البلورة. تطبيق فيز. بادئة رسالة. 79، 2070 – 2072 (2001).
وو، H. وآخرون. تقليل تبديد الطاقة الجوهرية في الرنانات الميكانيكية الماسية نحو مليون عامل جودة. فيز. القس ماطر. 2، 090601 (2018).
فالين، A. وآخرون. الخواص الميكانيكية لنتريد البورون الرقيق ذريًا ودور تفاعلات الطبقات البينية. نات. COMMUN. 8، 15815 (2017).
Lee، C.، Wei، X.، Kysar، JW & Hone، J. قياس الخصائص المرنة والقوة الجوهرية للجرافين أحادي الطبقة. علوم 321، 385 – 388 (2008).
Cleland, AN & Roukes, ML عمليات الضوضاء في الرنانات الميكانيكية النانوية. جيه. فيز. 92، 2758 – 2769 (2002).
Gely، MF & Steele، GA الميكانيكا الكهربائية فائقة التوصيل لاختبار تأثيرات Diósi-Penrose للنسبية العامة في التراكبات الضخمة. AVS علوم الكم. 3، 035601 (2021).
Lubensky، TC، Kane، CL، Mao، X.، Souslov، A. & Sun، K. Phonons والمرونة في الشبكات المنسقة بشكل حاسم. النائب بروغ. فيز. 78، 073901 (2015).
González, G. تعليق الضوضاء الحرارية في كاشف موجات الجاذبية LIGO. فصل. الجاذبية الكمومية 17، 4409 – 4435 (2000).
- محتوى مدعوم من تحسين محركات البحث وتوزيع العلاقات العامة. تضخيم اليوم.
- PlatoData.Network Vertical Generative Ai. تمكين نفسك. الوصول هنا.
- أفلاطونايستريم. ذكاء Web3. تضخيم المعرفة. الوصول هنا.
- أفلاطون كربون، كلينتك ، الطاقة، بيئة، شمسي، إدارة المخلفات. الوصول هنا.
- أفلاطون هيلث. التكنولوجيا الحيوية وذكاء التجارب السريرية. الوصول هنا.
- المصدر https://www.nature.com/articles/s41565-023-01597-8
