TOKYO, 13 Aralık 2022 – (JCN Newswire) – Hitachi High-Tech Corporation bugün, desensiz plaka yüzeylerindeki parçacıkları ve kusurları tespit etmeye yönelik yeni bir sistem olan LS9600'ün piyasaya sürüldüğünü duyurdu. Son teknoloji ürünü yarı iletken cihazların seri üretimi için gereken hassasiyet seviyelerinde verimi yaklaşık olarak artıran yeni, yüksek çıkışlı, kısa dalga boylu bir lazere sahiptir. Önceki nesil sistemlerimize göre 2.6 kat. Hitachi High-Tech, bu ürünü piyasaya sürerek müşterilerin yarı iletken cihazların seri üretimiyle ilgili verimlerin artırılmasına ve denetim maliyetlerinin azaltılmasına yardımcı olmaya devam edecek.
 |
| Gofret Yüzey Kontrol Sistemi LS9600 |
Geliştirme Arka Planı
Desensiz levha inceleme sistemleri, yarı iletken cihaz imalat ekipmanındaki parçacıkları ve kusurları yönetmek için desensiz levhaların durumunun (temizliğinin) kontrol edilmesi gibi uygulamalar için kullanılır. Yarı iletken cihazların küçülmesi nedeniyle, üretim süreci sırasında verimi etkileyen ilgilenilen kusurların (DOI'ler) boyutu da küçülmüştür. Sonuç olarak, desensiz plakaların tüm yüzeyi boyunca 20 nm ve daha küçük DOI'leri tespit edebilen yüksek hassasiyetli incelemeye artan bir ihtiyaç vardır. Verimi artırmaya yönelik yüksek hassasiyetli denetime ek olarak, yüksek verim için de güçlü bir talep vardır ve bu da denetim maliyetlerinin düşmesine yol açar.
Önemli Yeni Teknolojiler
Bu sistem, aşağıdaki yeni teknolojilerin uygulanmasıyla hem yüksek hassasiyet hem de yüksek verim elde etmektedir.
1. Yüksek Çıkışlı, Kısa Dalga Boylu Lazer
Derin morötesi lazer, eski sistemlerden daha yüksek bir çıkışa ve daha kısa bir dalga boyuna sahip olup, mikroskobik kusurlar tarafından saçılan ışık miktarını artırarak daha yüksek bir hassasiyet düzeyine ulaşır.
2. Yeni Optik Algılama Sistemi
Yeni optik algılama sistemi, eski sistemlerle karşılaştırıldığında DOI'lerin saçtığı ışığı yakalamak için daha geniş bir yüzey alanına sahiptir. Ayrıca yeni geliştirilen yüksek hassasiyetli sensörü, zayıf dağınık ışığın tespit oranını yaklaşık %20 oranında artırdı.
3. Yeni Veri İşleme Sistemi
Geliştirilmiş dağınık ışık veri işleme algoritmaları, yüksek hızlı, gerçek zamanlı veri işleme sayesinde daha yüksek verimin yanı sıra daha yüksek hassasiyet sunar.
Hitachi High-Tech, bu ürünün yanı sıra plaka optik inceleme sistemlerimizi ve geleneksel CD-SEM(1) ve DR-SEM(2) gibi elektron ışını tabanlı ürünlerimizi kullanarak müşterilerin çeşitli ihtiyaçlarını karşılamak için çalışmaktadır. yarı iletken üretim süreci boyunca işleme, ölçüm ve muayenede. Gelecek teknolojik zorluklara karşı ürünlerimize yenilikçi ve dijital olarak geliştirilmiş çözümler sunmaya, müşterilerimizle birlikte yeni değerler yaratmaya ve ileri teknoloji üretime katkıda bulunmaya devam edeceğiz.
(1) CD-SEM (Kritik Boyut Taramalı Elektron Mikroskobu): Yarı iletken levhalar üzerindeki mikroskobik devre modellerini ölçmek için kullanılan bir ekipman. Yarı iletken cihazların geliştirilmesinde ve üretim hatlarında denetimler için kullanılan bu sistemler, verim yönetimi açısından önemlidir.
(2) DR-SEM (Kusur İnceleme-Taramalı Elektron Mikroskobu): Mikroskobik devre modellerini ve yarı iletken plakalar üzerindeki kusurları incelemek için kullanılan bir ekipman. Yarı iletken cihazların geliştirilmesinde ve üretim hatlarında denetimler için kullanılan bu sistemler, verim yönetimi açısından önemlidir.
Hitachi High-Tech Hakkında
Merkezi Tokyo, Japonya'da bulunan Hitachi High-Tech, klinik analizörlerin, biyoteknoloji ürünlerinin ve analitik aletlerin, yarı iletken üretim ekipmanlarının ve analiz ekipmanlarının üretimi ve satışı dahil olmak üzere çok çeşitli alanlarda faaliyet göstermektedir. ve sosyal ve endüstriyel altyapılar ile mobilite vb. alanlarda yüksek katma değerli çözümler sağlamak. Şirketin 2021 mali yılı için konsolide gelirleri yaklaşık 576.8 milyar JPY [5.1 milyar ABD doları]. Daha fazla bilgi için www.hitachi-hightech.com/global/ adresini ziyaret edin.
İletişim
Yuuki Minatani
İş Planlama Departmanı, Metroloji Sistemleri Bölümü,
Nano Teknoloji Çözümleri İş Grubu, Hitachi High-Tech Corporation
E-mail: yuki.minatani.dc@hitachi-hightech.com
- SEO Destekli İçerik ve Halkla İlişkiler Dağıtımı. Bugün Gücünüzü Artırın.
- Plato blok zinciri. Web3 Metaverse Zekası. Bilgi Güçlendirildi. Buradan Erişin.
- Kaynak: https://www.jcnnewswire.com/pressrelease/79861/3/
