Huang, YL ve Saulson, PR Sarkaçlardaki dağılma mekanizmaları ve bunların yerçekimi dalgası interferometreleri için etkileri. Rev. Sci. Enstrümanlar. 69, 544 – 553 (1998).
González, GI & Saulson, PR Anelastik bir tel ile asılı duran bir kütlenin Brownian hareketi. J. Acoust. Sos. Am. 96, 207 – 212 (1994).
Valette, C. ve Cuesta, C. Mécanique de la Corde Vibrante (Hermes Bilim Yayınları, 1993).
Unterreithmeier, QP, Faust, T. & Kotthaus, JP Nanomekanik rezonatörlerin sönümlenmesi. Fizik Rev. Lett. 105, 027205 (2010).
Fedorov, SA ve ark. Gerilmiş mekanik rezonatörlerde genelleştirilmiş dağılım seyreltmesi. Fizik Rev. B 99, 054107 (2019).
Verbridge, SS, Parpia, JM, Reichenbach, RB, Bellan, LM & Craighead, HG Yüksek çekme gerilimi altında nanostringlerle oda sıcaklığında yüksek kaliteli faktör rezonansı. J. Uygulama Fizik 99, 124304 (2006).
Verbridge, SS, Craighead, HG & Parpia, JM Oda sıcaklığı kalite faktörü bir milyonun üzerinde olan bir megahertz nanomekanik rezonatör. Baş. Phys. Lett. 92, 013112 (2008).
Thompson, JD ve diğerleri. Yüksek incelikte bir boşluğun mikromekanik bir membrana güçlü dağıtıcı bağlantısı. Tabiat 452, 72 – 75 (2008).
Phillips, WA Bardaklarda iki seviyeli durumlar. Temsilci Prog. Fizik 50, 1657 – 1708 (1987).
Ghani, T. ve ark. Yeni 90nm kapı uzunluğunda gergin silikon CMOS transistörleri içeren 45nm yüksek hacimli üretim mantığı teknolojisi. İçinde IEEE Uluslararası Elektron Cihazları Toplantısı 2003 11.6.1–11.6.3 (IEEE, 2003); https://doi.org/10.1109/IEDM.2003.1269442
Southworth, DR ve ark. Stres ve silikon nitrür: Camların evrensel dağılımında bir çatlak. Fizik Rev. Lett. 102, 225503 (2009).
Wu, J. & Yu, CC Stres, bardaklardaki dağılmayı nasıl azaltabilir? Fizik Rev. B 84, 174109 (2011).
Tsaturyan, Y., Barg, A., Polzik, ES & Schliesser, A. Yumuşak kenetleme ve dağılım seyreltme yoluyla ultra uyumlu nanomekanik rezonatörler. Nat. Nanoteknoloji. 12, 776 – 783 (2017).
Ghadimi, AH ve diğerleri. Ultra düşük mekanik dağılım için elastik gerinim mühendisliği. Bilim 360, 764 – 768 (2018).
Bereyhi, MJ ve ark. Ultra düşük mekanik dağılıma sahip hiyerarşik çekme yapıları. Nat. Commun. 13, 3097 (2022).
Shin, D. ve diğerleri. Bayes optimizasyonu yoluyla örümcek ağı nanomekanik rezonatörleri: Doğadan ilham aldı ve makine öğrenimi tarafından yönlendirildi. Gelişmiş. Mater. 34, 2106248 (2022).
Bereyhi, MJ ve ark. Nanomekanik rezonatörlerin çevre modları 10'u aşan kalite faktörleri sergiler9 oda sıcaklığında. Fizik Rev X 12, 021036 (2022).
Cupertino, A. ve ark. Düşük dağılıma sahip santimetre ölçekli nanomekanik rezonatörler. Ön baskı saati https://arxiv.org/abs/2308.00611 (2023).
Beccari, A. ve diğerleri. Kalite faktörleri 10 milyarın üzerinde olan gerilimli kristal nanomekanik rezonatörler. Nat. fizik 18, 436 – 441 (2022).
Unterreithmeier, QP, Weig, EM & Kotthaus, JP Dielektrik kuvvetlere dayalı nanomekanik sistemler için evrensel transdüksiyon şeması. Tabiat 458, 1001 – 1004 (2009).
Bağcı, T. ve ark. Nanomekanik bir dönüştürücü aracılığıyla radyo dalgalarının optik olarak algılanması. Tabiat 507, 81 – 85 (2014).
Chien, M.-H., Brameshuber, M., Rossboth, BK, Schütz, GJ & Schmid, S. Nanomekanik fototermal algılama ile tek moleküllü optik absorpsiyon görüntüleme. Proc. Natl Acad. Sci. Amerika Birleşik Devletleri 115, 11150 – 11155 (2018).
Aspelmeyer, M., Kippenberg, TJ & Marquardt, F. Cavity optoechanics. Rev. Modu. Phys. 86, 1391 – 1452 (2014).
Underwood, M. ve ark. Kuantum rejiminde nanogram ölçekli bir osilatörün hareketli yan bantlarının ölçümü. Fizik Rev. A 92, 061801 (2015).
Purdy, TP, Yu, P.-L., Peterson, RW, Kampel, NS & Regal, CA Işığın güçlü optomekanik sıkışması. Fizik Rev X 3, 031012 (2013).
Nielsen, WHP, Tsaturyan, Y., Møller, CB, Polzik, ES & Schliesser, A. Kuantum rejiminde çok modlu optomekanik sistem. Proc. Natl Acad. Sci. Amerika Birleşik Devletleri 114, 62 – 66 (2017).
Peterson, RW ve ark. Mikromekanik bir zarın kuantum geri tepki sınırına kadar lazerle soğutulması. Fizik Rev. Lett. 116, 063601 (2016).
Rossi, M., Mason, D., Chen, J., Tsaturyan, Y. & Schliesser, A. Mekanik hareketin ölçüme dayalı kuantum kontrolü. Tabiat 563, 53 – 58 (2018).
Saarinen, SA, Kralj, N., Langman, EC, Tsaturyan, Y. & Schliesser, A. Oda sıcaklığından kuantum temel durumuna yakın bir ortadaki membran sistemini lazerle soğutma. optik 10, 364 – 372 (2023).
Seis, Y. ve ark. Ultra uyumlu bir elektromekanik sistemin temel durum soğutması. Nat. Commun. 13, 1507 (2022).
Mason, D., Chen, J., Rossi, M., Tsaturyan, Y. & Schliesser, A. Standart kuantum sınırının altında sürekli kuvvet ve yer değiştirme ölçümü. Nat. Fizik 15, 745 – 749 (2019).
Jöckel, A. ve diğerleri. Hibrit mekanik-atomik sistemde membran osilatörünün sempatik soğutulması. Nat. Nanoteknoloji. 10, 55 – 59 (2015).
Møller, CB ve diğerleri. Negatif kütle referans çerçevesindeki hareketin kuantum geri eyleminden kaçınma ölçümü. Tabiat 547, 191 – 195 (2017).
Karg, TM ve ark. Mekanik bir osilatör ile atomik dönüşler arasında 1 metre aralıklı ışık aracılı güçlü bağlantı. Bilim 369, 174 – 179 (2020).
Thomas, RA ve ark. Uzak makroskobik mekanik ve spin sistemleri arasındaki dolaşma. Nat. Fizik 17, 228 – 233 (2021).
Schmid, G.-L. ve ark. Atomik dönüşlerle nanomekanik bir zarın tutarlı geri beslemeli soğutulması. Fizik Rev X 12, 011020 (2022).
Andrews, RW ve ark. Mikrodalga ve optik ışık arasında çift yönlü ve verimli dönüşüm. Nat. Fizik 10, 321 – 326 (2014).
Higginbotham, AP ve ark. Verimli bir mekanik dönüştürücüde elektro-optik korelasyonlardan yararlanma Nat. Fizik 14, 1038 – 1042 (2018).
Delaney, R.D. ve diğerleri. Düşük geri tepmeli elektro-optik transdüksiyon yoluyla süper iletken kübit okuması. Tabiat 606, 489 – 493 (2022).
Košata, J., Zilberberg, O., Degen, CL, Chitra, R. & Eichler, A. Bir membran rezonatöründe parametrik frekans dönüşümü yoluyla dönüş tespiti. Fizik Rev. Uygulama 14, 014042 (2020).
Hälg, D. ve diğerleri. Membran tabanlı tarama kuvveti mikroskobu. Fizik Rev. Uygulama 15, 021001 (2021).
Krause, AG, Winger, M., Blasius, TD, Lin, Q. & Painter, O. Yüksek çözünürlüklü bir mikroçip optomekanik ivmeölçer. Nat. Foton. 6, 768 – 772 (2012).
Zhou, F. ve diğerleri. Optomekanik ivmeölçer ile geniş bant termomekanik olarak sınırlı algılama. optik 8, 350 – 356 (2021).
Pratt, JR ve ark. Kuantum deneyleri ve hassas ölçümler için nano ölçekli burulma dağılımı seyreltmesi. Fizik Rev X 13, 011018 (2023).
Carney, D. ve ark. Karanlık madde arayışında mekanik kuantum algılama. Kuantum Bilimi Teknoloji. 6, 024002 (2021).
Manley, J., Chowdhury, MD, Grin, D., Singh, S. & Wilson, DJ Optomekanik bir ivmeölçerle vektör karanlık madde aranıyor. Fizik Rev. Lett. 126, 061301 (2021).
Gillespie, DT Brownian hareketinde dalgalanma ve dağılım. Ben. J. Fizik 61, 1077 – 1083 (1993).
Saulson, PR Mekanik deneylerde termal gürültü. Fizik. Rahip D. 42, 2437 (1990).
Wilson, DJ, Regal, CA, Papp, SB & Kimble, HJ Stokiyometrik SiN filmleriyle Cavity optomekaniği. Fizik Rev. Lett. 103, 207204 (2009).
Nowick, AS ve Berry, BS Kristal Katılarda Anelastik Gevşeme (Akademik Basın, 1972).
Villanueva, LG & Schmid, S. SiN mikro ve nanomekanik rezonatörlerde her yerde bulunan sınırlayıcı sönümleme mekanizması olarak yüzey kaybının kanıtı. Fizik Rev. Lett. 113, 227201 (2014).
Høj, D., Hoff, UB & Andersen, UL Yoğunluk fononik kristal mühendisliğine dayalı ultra uyumlu nanomekanik rezonatörler. Ön baskı saati https://arxiv.org/abs/2207.06703 (2022).
Schmid, S., Villanueva, LG & Roukes, ML (ed.) Nanomekanik Rezonatörlerin Temelleri (Bahar, 2023).
Enns, C. ve Hunklinger, S. Düşük Sıcaklık Fiziği (Bahar, 2005).
Kleiman, RN, Agnolet, G. & Bishop, DJ Düşük sıcaklıklarda tek kristalli silikonun mekanik özelliklerinde gözlemlenen iki seviyeli sistemler. Fizik Rev. Lett. 59, 2079 – 2082 (1987).
Hauer, BD, Kim, PH, Doolin, C., Souris, F. & Davis, JP Yarı tek boyutlu bir optomekanik rezonatörde iki seviyeli sistem sönümü. Fizik Rev. B 98, 214303 (2018).
MacCabe, GS ve diğerleri. Ultra uzun fonon ömrüne sahip nano-akustik rezonatör. Bilim 370, 840 – 843 (2020).
Wollack, EA ve ark. Kriyojenik sıcaklıkta lityum niyobat fononik kristal rezonatörlerini etkileyen kayıp kanalları. Baş. Phys. Lett. 118, 123501 (2021).
Zener, C. Katılarda iç sürtünme II. Termoelastik iç sürtünmenin genel teorisi. Fizik Rev. 53, 90 – 99 (1938).
Lifshitz, R. & Roukes, ML Mikro ve nanomekanik sistemlerde termoelastik sönüm. Fizik Rev. B 61, 5600 – 5609 (2000).
Kiselev, AA & Iafrate, GJ Euler-Bernoulli nanoışınlarında fonon dinamiği ve fonon destekli kayıplar. Fizik Rev. B 77, 205436 (2008).
Bao, M., Yang, H., Yin, H. & Sun, Y. Düşük vakumda sıkıştırılmış film havasının sönümlenmesi için enerji transfer modeli. J. Micromech. Mikro Müh. 12, 341 – 346 (2002).
Cross, MC & Lifshitz, R. Mezoskopik sistemlerde ısı taşınımı ve titreşimlere uygulama ile ince bir plakadaki ani bir kavşakta elastik dalga iletimi. Fizik Rev. B 64, 085324 (2001).
Cole, GD, Wilson-Rae, I., Werbach, K., Vanner, MR & Aspelmeyer, M. Mekanik rezonatörlerde fonon tünelleme dağılımı. Nat. Commun. 2, 231 (2011).
Wilson-Rae, I. ve ark. Yüksek-Q Elastik dalgaların yıkıcı girişimi yoluyla nanomekanik. Fizik Rev. Lett. 106, 047205 (2011).
Ghadimi, AH, Wilson, DJ & Kippenberg, TJ Yüksek gerilimli silikon nitrür nanokirişlerin radyasyonu ve iç kayıp mühendisliği. Nano Let. 17, 3501 – 3505 (2017).
Jöckel, A. ve diğerleri. Mikro-mekanik membranlarda mekanik yayılımın spektroskopisi. Baş. Phys. Lett. 99, 143109 (2011).
Borrielli, A. ve diğerleri. Nanomekanik SiN membran rezonatörlerinde geri tepme kayıplarının kontrolü. Fizik Rev. B 94, 121403 (2016).
Schmid, S., Jensen, KD, Nielsen, KH & Boisen, A. Yüksek düzeyde sönümleme mekanizmalarıQ mikro ve nanomekanik dizi rezonatörleri. Fizik Rev. B 84, 165307 (2011).
Yu, P.-L., Purdy, TP & Regal, CA Yüksek sıcaklıklarda malzeme sönümlemesinin kontrolüQ membran mikrorezonatörleri. Fizik Rev. Lett. 108, 083603 (2012).
Landau, LD, Lifshitz, EM, Pitaevskii, LP & Kosevich, AM Esneklik Teorisi. Teorik Fizik Dersi Cilt 7 (Bergama, 1986).
Catalini, L., Rossi, M., Langman, EC & Schliesser, A. Dağılımla seyreltilmiş nanomekanik rezonatörlerde doğrusal olmayan sönümün modellenmesi ve gözlemlenmesi. Fizik Rev. Lett. 126, 174101 (2021).
Bachtold, A., Moser, J. & Dykman, MI Nanomekanik sistemlerin mezoskopik fiziği. Rev. Modu. Phys. 94, 045005 (2022).
Bereyhi, MJ ve ark. Kelepçe sivriltme, stresli nanokirişlerin kalite faktörünü arttırır. Nano Let. 19, 2329 – 2333 (2019).
Sadeghi, P., Tanzer, M., Christensen, SL & Schmid, S. Kelepçe genişletmenin nanomekanik silikon nitrür rezonatörlerin kalite faktörü üzerindeki etkisi. J. Uygulama Fizik 126, 165108 (2019).
Reinhardt, C., Müller, T., Bourassa, A. & Sankey, JC Algılama ve optomekanik için ultra düşük gürültülü SiN trambolin rezonatörleri. Fizik Rev X 6, 021001 (2016).
Norte, RA, Moura, JP & Gröblacher, S. Oda sıcaklığında kuantum optomekanik deneyleri için mekanik rezonatörler. Fizik Rev. Lett. 116, 147202 (2016).
Wilson, DJ Yüksek Gerilimli Silikon Nitrür Filmlerle Boşluk Optomekaniği. Doktora tezi, Kaliforniya Teknoloji Enstitüsü (2012); https://doi.org/10.7907/VB3C-1G76
Chakram, S., Patil, YS, Chang, L. ve Vengalattore, M. Ultra yüksek kalite faktörlü SiN membran rezonatörlerinde dağılım. Fizik Rev. Lett. 112, 127201 (2014).
Yu, P.-L. ve ark. Yüksek frekanslar için fononik bant aralığı kalkanıQ membran mikrorezonatörleri. Baş. Phys. Lett. 104, 023510 (2014).
Tsaturyan, Y. ve ark. Yüksek frekanslı sistemler için fononik bant aralığı korumalı membran rezonatörlerde bastırılmış fonon tünelleme kayıplarının gösterilmesiQ optomekanik. Opt. Ekspres 22, 6810 – 6821 (2014).
Weaver, MJ ve ark. Optomekanik için iç içe trambolin rezonatörleri. Baş. Phys. Lett. 108, 033501 (2016).
Serra, E. ve ark. Oda sıcaklığında kuantum optomekaniği için silikon nitrür MOMS osilatörü. J. Mikroelektromekanik. Sist. 27, 1193 – 1203 (2018).
Reetz, C. ve ark. Geniş bant aralıklarına ve düşük kütle kusurlarına sahip membran fononik kristallerinin analizi. Fizik Rev. Uygulama 12, 044027 (2019).
Fedorov, SA ve ark. Boşluk bazlı ölçümlerde termal intermodülasyon gürültüsü. optik 7, 1609 – 1616 (2020).
Guo, J., Norte, R. ve Gröblacher, S. Oda sıcaklığındaki mekanik bir osilatörün hareketli temel durumuna yakın geri beslemeli soğutulması. Fizik Rev. Lett. 123, 223602 (2019).
Fedorov, S. Hassas ve Kuantum Ölçümlerinde Yüksek Dağılım Seyrelmesine Sahip Mekanik Rezonatörler. Doktora tezi, EPFL, Lozan (2021); https://doi.org/10.5075/epfl-thesis-10421
Fedorov, SA, Beccari, A., Engelsen, NJ & Kippenberg, TJ Yumuşak kenetlemeli temel moda sahip Fraktal benzeri mekanik rezonatörler. Fizik Rev. Lett. 124, 025502 (2020).
Høj, D. ve diğerleri. Ters tasarıma dayalı ultra uyumlu nanomekanik rezonatörler. Nat. Commun. 12, 5766 (2021).
Davenport, WB ve Kök, WL Rastgele Sinyaller ve Gürültü Teorisine Giriş (Wiley-IEEE, 1987).
Zwickl, BM ve diğerleri. Ticari silikon nitrür membranların yüksek kaliteli mekanik ve optik özellikleri. Baş. Phys. Lett. 92, 103125 (2008).
Renninger, WH, Kharel, P., Behunin, RO & Rakich, PT Toplu kristalin optomekanik. Nat. Fizik 14, 601 – 607 (2018).
Sementilli, L., Romero, E. & Bowen, WP Nanomekanik dağılım ve gerinim mühendisliği. Gelişmiş. Funct. Mater. 32, 2105247 (2022).
Kermany, AR ve ark. Mikrorezonatörler Q-silisyum üzerindeki yüksek gerilimli epitaksiyel silisyum karbürden dolayı bir milyondan fazla faktör. Baş. Phys. Lett. 104, 081901 (2014).
Romero, E. ve ark. Kristalin mikromekanik rezonatörlerin dağılımının mühendisliği. Fizik Rev. Uygulama 13, 044007 (2020).
Cole, GD ve ark. Çekme-gerilmelixGa1-xBoşluk optomekaniği için P membranları. Baş. Phys. Lett. 104, 201908 (2014).
Bückle, M. ve diğerleri. Çekme gerilimine sahip In'in stres kontrolü1-xGaxP nanomekanik dizi rezonatörleri. Baş. Phys. Lett. 113, 201903 (2018).
Manjeshwar, SK ve ark. Yüksek-Q Entegre boş alan optomekaniği için gergin kristal InGaP'den trambolin rezonatörleri. Nano Let. 23, 5076 – 5082 (2023).
Liu, J. ve diğerleri. Yüksek-Q optomekanik GaAs nanomembranları. Baş. Phys. Lett. 99, 243102 (2011).
Minamisawa, RA ve ark. %4.5'e kadar çekme elastik gerilimi altında yukarıdan aşağıya fabrikasyon silikon nanoteller. Nat. Commun. 3, 1096 (2012).
Dang, C. ve ark. Mikrofabrike elmasta büyük, tek biçimli çekme esnekliğinin elde edilmesi. Bilim 371, 76 – 78 (2021).
Xu, M. ve diğerleri. Nanomekanik için yüksek mukavemetli amorf silisyum karbür. Gelişmiş. Mater. 36, 2306513 (2023).
Tao, Y., Boss, JM, Moores, BA & Degen, CL Bir milyonu aşan kalite faktörlerine sahip tek kristalli elmas nanomekanik rezonatörler. Nat. Commun. 5, 3638 (2014).
Yuan, M., Cohen, MA & Steele, GA 10'u aşan kalite faktörleriyle milikelvin sıcaklıklarda silikon nitrür membran rezonatörleri8. Baş. Phys. Lett. 107, 263501 (2015).
Manjeshwar, SK ve ark. Entegre çok elemanlı optomekanik için AlGaAs heteroyapılarında asılı fotonik kristal membranlar Baş. Phys. Lett. 116, 264001 (2020).
Fitzgerald, JM, Manjeshwar, SK, Wieczorek, W. & Tassin, P. Süreklilikte fotonik bağlı durumlarla boşluk optomekaniği. Fizik Rev. Araş. 3, 013131 (2021).
Manjeshwar, SK ve ark. Dağıtılmış bir Bragg reflektörünün üzerinde asılı bir fotonik kristal aynaya sahip entegre mikro boşluklu optomekanik. Opt. Ekspres 31, 30212 – 30226 (2023).
Purdy, TP, Peterson, RW & Regal, CA Makroskobik bir nesne üzerindeki radyasyon basıncı atış gürültüsünün gözlemlenmesi. Bilim 339, 801 – 804 (2013).
Kampel, NS ve ark. Kuantum korelasyonlarıyla geniş bant yer değiştirme tespitinin iyileştirilmesi. Fizik Rev X 7, 021008 (2017).
Brubaker, B.M. ve diğerleri. Sürekli ve verimli bir elektro-optik dönüştürücüde optomekanik temel durum soğutması. Fizik Rev X 12, 021062 (2022).
Wilson, DJ ve ark. Mekanik bir osilatörün termal uyumsuzluk oranında ölçüme dayalı kontrolü. Tabiat 524, 325 – 329 (2015).
Sudhir, V. ve diğerleri. Mekanik bir osilatörün ölçüme dayalı geri besleme kontrolünde kuantum korelasyonlarının ortaya çıkışı ve kaybolması. Fizik Rev X 7, 011001 (2017).
Guo, J. & Gröblacher, S. Yüksek Q'lu mekanik düzlem dışı modun entegre optik okuması. Işık Bilimi. Uygulama 11, 282 (2022).
Guo, J., Chang, J., Yao, X. ve Gröblacher, S. Entegre düşük frekanslı mekanik rezonatörün aktif geri beslemeli kuantum kontrolü. Nat. Commun. 14, 4721 (2023).
Anetsberger, G. ve diğerleri. Nanomekanik osilatörlerle yakın alan boşluğu optomekaniği. Nat. Fizik 5, 909 – 914 (2009).
Anetsberger, G. ve diğerleri. Nanomekanik hareketin standart kuantum sınırının altında bir hassasiyetle ölçülmesi. Fizik Rev. A 82, 061804 (2010).
Galinskiy, I., Tsaturyan, Y., Parniak, M. & Polzik, ES Hareketli temel durumuna yakın bir ultrakoherent membran rezonatörünün fonon sayma termometrisi. optik 7, 718 – 725 (2020).
Shaniv, R., Kumar Keshava, S., Reetz, C. & Regal, CA Kütle yüklü gerilmiş rezonatörlerin kalite faktörünün anlaşılması. Fizik Rev. Uygulama 19, 031006 (2023).
Kuehn, S., Loring, RF & Marohn, JA Dielektrik dalgalanmalar ve temassız sürtünmenin kökenleri. Fizik Rev. Lett. 96, 156103 (2006).
Fischer, R. ve diğerleri. Mikromekanik bir trambolin ile dönüş tespiti: boşluk optomekaniğinden yararlanan manyetik rezonans mikroskobuna doğru. Yeni J. Phys. 21, 043049 (2019).
Zhang, C., Giroux, M., Nour, TA & St-Gelais, R. Yüksek mekanik kullanarak termal radyasyon algılama Q-faktör silikon nitrür membranlar. İçinde 2019 IEEE SENSÖRLERİ 1–4 (IEEE, 2019); https://doi.org/10.1109/SENSORS43011.2019.8956551
Piller, M. ve ark. Nanoelektromekanik silikon nitrür trambolin rezonatörleriyle termal IR tespiti. IEEE Sens.J. 23, 1066 – 1071 (2023).
Fong, KY, Pernice, WHP & Tang, HX Ultra yüksek frekans ve faz gürültüsü Q silikon nitrür nanomekanik rezonatörler. Fizik Rev. B 85, 161410 (2012).
Gavartin, E., Verlot, P. & Kippenberg, TJ Doğrusal bir nanomekanik osilatörün termodinamik sınırına kadar stabilizasyonu. Nat. Commun. 4, 2860 (2013).
Liu, Y. ve ark. Toplu akustik dalga rezonatörünün malzemeleri, tasarımı ve özellikleri: bir inceleme. Mikro makinalar 11, 630 (2020).
Tu, C., Lee, JE-Y. ve Zhang, X.-S. Dağılım analizi yöntemleri ve QPiezoelektrik MEMS yanal olarak titreşen rezonatörlerde iyileştirme stratejileri: bir inceleme. Sensörler 20, 4978 (2020).
Hopcroft, MA, Nix, WD & Kenny, TW Silikonun Young modülü nedir? J. Mikroelektromekanik. Sist. 19, 229 – 238 (2010).
Zhang, H. ve diğerleri. Silikon nanotellerde ideal elastik gerinim sınırına yaklaşılıyor. Sci. Gelişmiş. 2, 1501382 (2016).
Tao, Y. ve ark. Kimyasal yüzey korumasıyla nanomekanik Si rezonatörlerindeki yayılımın kalıcı olarak azaltılması. Nanoteknoloji 26, 465501 (2015).
Klaß, YS, Doster, J., Bückle, M., Braive, R. & Weig, EM Bir nanomekanik dizi rezonatörünün öz mod spektrumu aracılığıyla Young modülünün belirlenmesi. Baş. Phys. Lett. 121, 083501 (2022).
Petersen, KE Mekanik malzeme olarak silikon. İşlem IEEE 70, 420 – 457 (1982).
Buckle, M. Çekme gerilimli Kristalin İndiyum Galyum Fosfite Dayalı Nanomekanik Sistemler. Doktora tezi, Üniv. Konstanz (2020).
Hjort, K., Söderkvist, J. & Schweitz, J.-Å. Mekanik bir malzeme olarak galyum arsenit. J. Micromech. Mikro Müh. 4, 1 – 13 (1994).
Smith, RT & Welsh, FS Lityum tantalat ve lityum niyobatın elastik, piezoelektrik ve dielektrik sabitlerinin sıcaklığa bağımlılığı. J. Uygulama Fizik 42, 2219 – 2230 (1971).
Gruber, M. ve diğerleri. LiNbO'nun mukavemet dağılımı ve kırılma analizleri3 ve LiTaO3 çift eksenli yükleme altında tek kristaller. J. Eur. Seramik. Sos. 37, 4397 – 4406 (2017).
Österlund, E., Kinnunen, J., Rontu, V., Torkkeli, A. & Paulasto-Kröckel, M. Alüminyum nitrür ince filmlerin mekanik özellikleri ve güvenilirliği. J. Alaşımlar Compd 772, 306 – 313 (2019).
Cleland, AN, Pophristic, M. & Ferguson, I. Tek kristalli alüminyum nitrür nanomekanik rezonatörler. Baş. Phys. Lett. 79, 2070 – 2072 (2001).
Wu, H. ve ark. Elmas üzerinde elmas mekanik rezonatörlerde içsel enerji dağılımını bir milyon kalite faktörüne doğru azaltmak. Fizik Rev. Mater. 2, 090601 (2018).
Falin, A. ve ark. Atomik olarak ince bor nitrürün mekanik özellikleri ve katmanlar arası etkileşimlerin rolü. Nat. Commun. 8, 15815 (2017).
Lee, C., Wei, X., Kysar, JW & Hone, J. Tek katmanlı grafenin elastik özelliklerinin ve içsel gücünün ölçülmesi. Bilim 321, 385 – 388 (2008).
Cleland, AN & Roukes, ML Nanomekanik rezonatörlerde gürültü süreçleri. J. Uygulama Fizik 92, 2758 – 2769 (2002).
Gely, MF & Steele, GA Büyük süperpozisyonlarda genel göreliliğin Diósi-Penrose etkilerini test etmek için süperiletken elektromekanik. AVS Kuantum Bilimi. 3, 035601 (2021).
Lubensky, TC, Kane, CL, Mao, X., Souslov, A. & Sun, K. Kritik koordineli kafeslerde fononlar ve esneklik. Temsilci Prog. Fizik 78, 073901 (2015).
González, G. LIGO yerçekimsel dalga dedektöründeki termal gürültüyü askıya alıyor. Sınıf. Kuantum Yerçekimi 17, 4409 – 4435 (2000).
- SEO Destekli İçerik ve Halkla İlişkiler Dağıtımı. Bugün Gücünüzü Artırın.
- PlatoData.Network Dikey Üretken Yapay Zeka. Kendine güç ver. Buradan Erişin.
- PlatoAiStream. Web3 Zekası. Bilgi Genişletildi. Buradan Erişin.
- PlatoESG. karbon, temiz teknoloji, Enerji, Çevre, Güneş, Atık Yönetimi. Buradan Erişin.
- PlatoSağlık. Biyoteknoloji ve Klinik Araştırmalar Zekası. Buradan Erişin.
- Kaynak: https://www.nature.com/articles/s41565-023-01597-8
