Некоторые 300-мм инструменты переоборудуются в 200-мм; цены на оборудование и затраты на производство микросхем растут.
сообщение Дефицит 200 мм может сохраняться годами Появившийся сначала на Полупроводниковая техника.
Эрозия CMP и дефекты выпуклости из-за различий в плотности рисунка становятся серьезной проблемой.
сообщение Влияние нагрузки шаблона на выход и надежность BEOL во время химико-механической планаризации Появившийся сначала на Полупроводниковая техника.