Park NX-TSHチップスキャンヘッドシステム、300mmを超える大規模サンプル分析用の自動チップスキャンヘッド。

Park NX-TSHは、300mmのサイズしきい値制限を克服することを目的として、次世代フラットパネルディスプレイを製造するためにファブを設置するメーカー向けに特別に開発されました。 SEMI GlobalUnitesにアクセスしてください。

ドイツ、マンハイム（PRWEB） 2021 年 2 月 18 日

パークシステムズ、原子間力顕微鏡AFMの世界的大手メーカーが新たに発売された製品を展示します パークNX-TSH、300mmを超える大規模サンプル分析用の唯一の自動チップスキャンヘッド SEMIテクノロジーがグローバルサミットを統合 15年19月2021〜2日。ParkNX-TSHは、大きくて重いサンプルのフラットパネルディスプレイガラス、XNUMXDエンコーダサンプル用で、マイクロプローブステーションを統合することにより、電気的欠陥分析用の導電性AFMを備えています。

世界の有機LED（OLED）市場規模は32,463.5年に2019百万米ドルと評価され、203,069.9年までに2027百万米ドルに達すると予測され、21.7年から2020年にかけて2027％のCAGRを記録します。OLED市場規模の成長を促進する主な要因は費用効果が高くエネルギーを節約するOLED照明、OLEDを採用する政府のイニシアチブの増加、ディスプレイおよび大画面バックライトの市場の成長。

チップスキャニングヘッド（TSH）は、大規模サンプル分析用のOLED、LCD、フォトニクス用に開発された、300mmを超える大規模サンプルの産業用AFM測定用の自動移動チップヘッドです。 自動化されたチップスキャンヘッドは、エアベアリングステージテクノロジーで移動し、x、y、zスキャナーを組み合わせて基板上の目的のポイントに直接移動します。 自動化されたチップスキャンヘッドは、x、y、zスキャナーを組み合わせて、基板上の目的のポイントに直接移動するエアベアリングステージテクノロジーで移動します。

「ParkNX-TSHは、300mmサイズのしきい値制限を克服することを目的として、次世代フラットパネルディスプレイを製造するファブを設置するメーカー向けに特別に開発されました」と、ParkSystemsの社長であるKeibockLee氏は述べています。 「導電性AFMを使用して、Park NX TSHは、サンプル表面に接触し、小さなデバイスまたはチップに電流を供給するオプションのプローブステーションでサンプル表面を測定します。」

自動チップスキャンシステムは、サンプル上の場所に直接移動し、粗さ測定、ステップ高さ測定、限界寸法測定、側壁測定の高解像度画像を生成するガントリースタイルのチップスキャナーシステムで、ナノ計測の課題を克服します。

「ParkSystemsは、Gen10 +およびすべての大型フラットパネルディスプレイ用にAFMツールをスケールアップしました。

Park NX-TSH（Tip Scanning Head）システムを使用しており、300mmを超える大規模なサンプル分析用の唯一の自動化されたTip ScanHeadです」とLee氏は付け加えます。

サンプルはサンプルチャックに固定され、ガントリーに取り付けられたチップスキャニングヘッドが表面サンプルの測定位置に移動します。 チップスキャニングヘッドシステムは、サンプルがサンプルチャックに固定されているため、サンプルのサイズと重量の制限を克服します。

原子間力顕微鏡は、ナノスケールでサンプルを測定する最も正確で非破壊的な方法であり、Park NX-TSHを使用すると、ガントリースタイルのブリッジシステムでOLED、LCD、フォトマスクなどの信頼性の高い高解像度AFM画像を取得できます。生産性と品質の向上。

SEMI Technology Unites GlobalConferenceのParkSystemsブースにアクセスして、オンラインで担当者のXNUMX人と会うか、inquiry @ parksystems.comを送信してください。

パークシステムズについて

Park Systemsは、化学、材料、物理学、生命科学、半導体、データストレージ業界の研究者やエンジニア向けの幅広い製品を備えた、原子間力顕微鏡（AFM）システムの最も急速に成長している世界トップのメーカーです。 私たちの使命は、世界で最も差し迫った問題を解決し、科学的発見と技術革新の境界を押し広げる科学者とエンジニアのためのナノスケールの進歩を可能にすることです。 パークシステムズの顧客には、アジア、ヨーロッパ、アメリカの世界トップ20の半導体企業と国立研究大学のほとんどが含まれます。 Park Systemsは、韓国証券取引所（KOSDAQ）で上場している企業で、韓国の水原に本社を置き、カリフォルニア州サンタクララ、米国、マンハイム、ドイツ、北京、中国、東京、日本、シンガポール、メキシコに地域本社を置いています。メキシコシティ。 Park Systemsの詳細については、次のWebサイトをご覧ください。 http://www.parksystems.com.

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