Huang, YL & Saulson, PR Μηχανισμοί διάχυσης σε εκκρεμή και οι επιπτώσεις τους για συμβολόμετρα βαρυτικών κυμάτων. Αναθ. Sci. Όργανο. 69, 544-553 (1998).
González, GI & Saulson, PR Brownian κίνηση μιας μάζας που αιωρείται από ένα ανελαστικό σύρμα. J. Acoust. Soc. Είμαι. 96, 207-212 (1994).
Valette, C. & Cuesta, C. Mécanique de la Corde Vibrante (Εκδόσεις Hermes Science, 1993).
Unterreithmeier, QP, Faust, T. & Kotthaus, JP Απόσβεση νανομηχανικών συντονιστών. Φυσ. Rev. Lett. 105, 027205 (2010).
Fedorov, SA et al. Γενικευμένη αραίωση διασποράς σε τεντωμένους μηχανικούς συντονιστές. Phys. Rev. Β 99, 054107 (2019).
Verbridge, SS, Parpia, JM, Reichenbach, RB, Bellan, LM & Craighead, HG Συντονισμός παραγόντων υψηλής ποιότητας σε θερμοκρασία δωματίου με νανοκορδόνια υπό υψηλή εφελκυστική τάση. J. Appl. Φυσ. 99, 124304 (2006).
Verbridge, SS, Craighead, HG & Parpia, JM Νανομηχανικός συντονιστής megahertz με συντελεστή ποιότητας θερμοκρασίας δωματίου πάνω από ένα εκατομμύριο. Εφαρμογή Φυσ. Κάτοικος της Λατβίας. 92, 013112 (2008).
Thompson, JD et al. Ισχυρή σύζευξη διασποράς μιας κοιλότητας υψηλής λεπτότητας σε μια μικρομηχανική μεμβράνη. Φύση 452, 72-75 (2008).
Phillips, WA Καταστάσεις δύο επιπέδων σε ποτήρια. Εκπρόσωπος Prog. Φυσ. 50, 1657-1708 (1987).
Ghani, Τ. et αϊ. Μια τεχνολογία λογικής κατασκευής υψηλού όγκου 90 nm που διαθέτει νέα τρανζίστορ CMOS πυριτίου τεταμένου μήκους πύλης 45 nm. Σε IEEE International Electron Devices Meeting 2003 11.6.1–11.6.3 (IEEE, 2003); https://doi.org/10.1109/IEDM.2003.1269442
Southworth, DR et al. Στρες και νιτρίδιο του πυριτίου: μια ρωγμή στην καθολική διάχυση των γυαλιών. Φυσ. Rev. Lett. 102, 225503 (2009).
Wu, J. & Yu, CC Πώς το άγχος μπορεί να μειώσει τη διάχυση στα ποτήρια. Phys. Rev. Β 84, 174109 (2011).
Tsaturyan, Y., Barg, A., Polzik, ES & Schliesser, A. Υπερσυνεκτικοί νανομηχανικοί συντονιστές μέσω αραίωσης μαλακής σύσφιξης και διάχυσης. Νατ. Νανοτεχνολ. 12, 776-783 (2017).
Ghadimi, AH et al. Μηχανική ελαστικής καταπόνησης για εξαιρετικά χαμηλή μηχανική διάχυση. Επιστήμη 360, 764-768 (2018).
Bereyhi, MJ et al. Ιεραρχικές εφελκυστικές κατασκευές με εξαιρετικά χαμηλή μηχανική διάχυση. Nat. Commun. 13, 3097 (2022).
Shin, D. et αϊ. Νανομηχανικοί συντονιστές Spiderweb μέσω βελτιστοποίησης Bayes: Εμπνευσμένοι από τη φύση και καθοδηγούμενοι από τη μηχανική μάθηση. Adv Μητήρ. 34, 2106248 (2022).
Bereyhi, M. J. et al. Οι περιμετρικοί τρόποι των νανομηχανικών συντονιστών εμφανίζουν συντελεστές ποιότητας που υπερβαίνουν το 109 σε θερμοκρασία δωματίου. Φυσ. Αναθ. X 12, 021036 (2022).
Cupertino, Α. et al. Νανομηχανικοί συντονιστές κλίμακας εκατοστών με χαμηλή διάχυση. Προεκτύπωση στο https://arxiv.org/abs/2308.00611 (2023).
Beccari, Α. et al. Τεντωμένοι κρυσταλλικοί νανομηχανικοί συντονιστές με συντελεστές ποιότητας άνω των 10 δισεκατομμυρίων. Nat. Phys 18, 436-441 (2022).
Unterreithmeier, QP, Weig, EM & Kotthaus, JP Καθολικό σχήμα μεταγωγής για νανομηχανικά συστήματα που βασίζονται σε διηλεκτρικές δυνάμεις. Φύση 458, 1001-1004 (2009).
Bagci, Τ. et αϊ. Οπτική ανίχνευση ραδιοκυμάτων μέσω νανομηχανικού μορφοτροπέα. Φύση 507, 81-85 (2014).
Chien, M.-H., Brameshuber, M., Rossboth, BK, Schütz, GJ & Schmid, S. Απεικόνιση οπτικής απορρόφησης ενός μορίου με νανομηχανική φωτοθερμική ανίχνευση. Proc. Natl Acad. Sci. ΗΠΑ 115, 11150-11155 (2018).
Aspelmeyer, M., Kippenberg, TJ & Marquardt, F. Οπτομηχανική κοιλότητας. Αναθ. Mod Φυσ. 86, 1391-1452 (2014).
Underwood, Μ. et al. Μέτρηση των κινητικών πλευρικών ζωνών ενός ταλαντωτή κλίμακας νανογραμμάτων στο κβαντικό καθεστώς. Φυσ. Αναθ. Α 92, 061801 (2015).
Purdy, TP, Yu, P.-L., Peterson, RW, Kampel, NS & Regal, CA Ισχυρή οπτομηχανική συμπίεση φωτός. Φυσ. Αναθ. X 3, 031012 (2013).
Nielsen, WHP, Tsaturyan, Y., Møller, CB, Polzik, ES & Schliesser, A. Πολύτροπο οπτομηχανικό σύστημα στο κβαντικό καθεστώς. Proc. Natl Acad. Sci. ΗΠΑ 114, 62-66 (2017).
Peterson, RW et al. Ψύξη με λέιζερ μικρομηχανικής μεμβράνης στο όριο κβαντικής αντίδρασης. Φυσ. Rev. Lett. 116, 063601 (2016).
Rossi, M., Mason, D., Chen, J., Tsaturyan, Y. & Schliesser, A. Κβαντικός έλεγχος μηχανικής κίνησης με βάση τις μετρήσεις. Φύση 563, 53-58 (2018).
Saarinen, SA, Kralj, N., Langman, EC, Tsaturyan, Y. & Schliesser, A. Ψύξη με λέιζερ μιας μεμβράνης στη μέση του συστήματος κοντά στην κβαντική βασική κατάσταση από τη θερμοκρασία δωματίου. Optica 10, 364-372 (2023).
Seis, Υ. et αϊ. Ψύξη επίγειας κατάστασης υπερσυνεκτικού ηλεκτρομηχανικού συστήματος. Nat. Commun. 13, 1507 (2022).
Mason, D., Chen, J., Rossi, M., Tsaturyan, Y. & Schliesser, A. Μέτρηση συνεχούς δύναμης και μετατόπισης κάτω από το τυπικό κβαντικό όριο. Νατ. Φυσ. 15, 745-749 (2019).
Jöckel, Α. et al. Συμπαθητική ψύξη ενός ταλαντωτή μεμβράνης σε ένα υβριδικό μηχανικό-ατομικό σύστημα. Νατ. Νανοτεχνολ. 10, 55-59 (2015).
Møller, CB et al. Μέτρηση κίνησης με κβαντική αντίστροφη δράση σε ένα πλαίσιο αναφοράς αρνητικής μάζας. Φύση 547, 191-195 (2017).
Karg, TM et αϊ. Ισχυρή σύζευξη με τη μεσολάβηση φωτός μεταξύ ενός μηχανικού ταλαντωτή και ατομικών περιστροφών σε απόσταση 1 μέτρου μεταξύ τους. Επιστήμη 369, 174-179 (2020).
Thomas, RA et al. Εμπλοκή μεταξύ απομακρυσμένων μακροσκοπικών μηχανικών συστημάτων και συστημάτων περιστροφής. Νατ. Φυσ. 17, 228-233 (2021).
Schmid, G.-L. et al. Συνεκτική ψύξη ανάδρασης μιας νανομηχανικής μεμβράνης με ατομικά σπιν. Φυσ. Αναθ. X 12, 011020 (2022).
Andrews, RW et al. Αμφίδρομη και αποτελεσματική μετατροπή μεταξύ μικροκυμάτων και οπτικού φωτός. Νατ. Φυσ. 10, 321-326 (2014).
Higginbotham, AP et al. Αξιοποίηση ηλεκτρο-οπτικών συσχετισμών σε έναν αποτελεσματικό μηχανικό μετατροπέα. Νατ. Φυσ. 14, 1038-1042 (2018).
Delaney, R. D. et al. Ανίχνευση υπεραγώγιμου qubit μέσω ηλεκτροοπτικής μεταγωγής χαμηλής οπίσθιας δράσης. Φύση 606, 489-493 (2022).
Košata, J., Zilberberg, O., Degen, CL, Chitra, R. & Eichler, A. Ανίχνευση περιστροφής μέσω παραμετρικής μετατροπής συχνότητας σε αντηχείο μεμβράνης. Φυσ. Αναθ. Appl. 14, 014042 (2020).
Hälg, D. et al. Μικροσκοπία δύναμης σάρωσης με βάση τη μεμβράνη. Φυσ. Αναθ. Appl. 15, 021001 (2021).
Krause, AG, Winger, M., Blasius, TD, Lin, Q. & Painter, O. Ένα οπτομηχανικό επιταχυνσιόμετρο μικροτσίπ υψηλής ανάλυσης. Νατ. Φωτόνιο. 6, 768-772 (2012).
Zhou, F. et al. Ευρυζωνική θερμομηχανικά περιορισμένη αίσθηση με οπτομηχανικό επιταχυνσιόμετρο. Optica 8, 350-356 (2021).
Pratt, JR et αϊ. Στρεπτική διάχυση σε νανοκλίμακα για κβαντικά πειράματα και μετρήσεις ακριβείας. Φυσ. Αναθ. X 13, 011018 (2023).
Carney, D. et al. Μηχανική κβαντική ανίχνευση στην αναζήτηση της σκοτεινής ύλης. Quantum Sci. Τεχνολ. 6, 024002 (2021).
Manley, J., Chowdhury, MD, Grin, D., Singh, S. & Wilson, DJ Αναζήτηση για διανυσματική σκοτεινή ύλη με οπτομηχανικό επιταχυνσιόμετρο. Φυσ. Rev. Lett. 126, 061301 (2021).
Gillespie, DT Fluctuation and dissipation in Brownian motion. Είμαι. J. Φυσ. 61, 1077-1083 (1993).
Saulson, PR Θερμικός θόρυβος σε μηχανικά πειράματα. Phys. Απ. Δ. 42, 2437 (1990).
Οπτομηχανική Wilson, DJ, Regal, CA, Papp, SB & Kimble, HJ Cavity με στοιχειομετρικά φιλμ SiN. Φυσ. Rev. Lett. 103, 207204 (2009).
Nowick, AS και Berry, BS Ανελαστική Χαλάρωση σε Κρυσταλλικά Στερεά (Ακαδημαϊκός Τύπος, 1972).
Villanueva, LG & Schmid, S. Απόδειξη απώλειας επιφάνειας ως πανταχού παρόν περιοριστικό μηχανισμό απόσβεσης σε μικρο-και νανομηχανικούς συντονιστές SiN. Φυσ. Rev. Lett. 113, 227201 (2014).
Høj, D., Hoff, UB & Andersen, UL Υπερσυνεκτικοί νανομηχανικοί συντονιστές βασισμένοι σε μηχανική φωνητικών κρυστάλλων πυκνότητας. Προεκτύπωση στο https://arxiv.org/abs/2207.06703 (2022).
Schmid, S., Villanueva, LG & Roukes, ML (επιμ.) Βασικές αρχές νανομηχανικών συντονιστών (Springer, 2023).
Enns, C. & Hunklinger, S. Φυσική Χαμηλών Θερμοκρασιών (Springer, 2005).
Kleiman, RN, Agnolet, G. & Bishop, DJ Συστήματα δύο επιπέδων που παρατηρήθηκαν στις μηχανικές ιδιότητες μονοκρυσταλλικού πυριτίου σε χαμηλές θερμοκρασίες. Φυσ. Rev. Lett. 59, 2079-2082 (1987).
Hauer, BD, Kim, PH, Doolin, C., Souris, F. & Davis, JP Απόσβεση συστήματος δύο επιπέδων σε σχεδόν μονοδιάστατο οπτομηχανικό συντονιστή. Phys. Rev. Β 98, 214303 (2018).
MacCabe, GS et al. Νανοακουστικό αντηχείο με εξαιρετικά μεγάλη διάρκεια ζωής φωνονίου. Επιστήμη 370, 840-843 (2020).
Wollack, EA et al. Κανάλια απώλειας που επηρεάζουν τους συντονιστές φωνονικών κρυστάλλων νιοβικού λιθίου σε κρυογονική θερμοκρασία. Εφαρμογή Φυσ. Κάτοικος της Λατβίας. 118, 123501 (2021).
Zener, C. Εσωτερική τριβή σε στερεά II. Γενική θεωρία θερμοελαστικής εσωτερικής τριβής. Φυσ. Στροφή μηχανής. 53, 90-99 (1938).
Lifshitz, R. & Roukes, ML Θερμοελαστική απόσβεση σε μικρο- και νανομηχανικά συστήματα. Phys. Rev. Β 61, 5600-5609 (2000).
Kiselev, AA & Iafrate, GJ Phonon δυναμική και υποβοηθούμενες απώλειες phonon σε νανοδέσμες Euler–Bernoulli. Phys. Rev. Β 77, 205436 (2008).
Bao, M., Yang, H., Yin, H. & Sun, Y. Μοντέλο μεταφοράς ενέργειας για απόσβεση αέρα με φιλμ συμπίεσης σε χαμηλό κενό. J. Micromech. Microeng. 12, 341-346 (2002).
Cross, MC & Lifshitz, R. Ελαστική μετάδοση κυμάτων σε απότομη διασταύρωση σε λεπτή πλάκα με εφαρμογή στη μεταφορά θερμότητας και δονήσεις σε μεσοσκοπικά συστήματα. Phys. Rev. Β 64, 085324 (2001).
Cole, GD, Wilson-Rae, I., Werbach, K., Vanner, MR & Aspelmeyer, M. Phonon-tunnelling dissipation in mechanical resonators. Nat. Commun. 2, 231 (2011).
Wilson-Rae, Ι. et αϊ. Υψηλός-Q νανομηχανική μέσω καταστροφικής παρεμβολής ελαστικών κυμάτων. Φυσ. Rev. Lett. 106, 047205 (2011).
Ghadimi, AH, Wilson, DJ & Kippenberg, TJ Μηχανική ακτινοβολίας και εσωτερικής απώλειας νανοδέσμων νιτριδίου πυριτίου υψηλής καταπόνησης. Νάνο Λέτ. 17, 3501-3505 (2017).
Jöckel, Α. et al. Φασματοσκοπία μηχανικής διάχυσης σε μικρομηχανικές μεμβράνες. Εφαρμογή Φυσ. Κάτοικος της Λατβίας. 99, 143109 (2011).
Borrielli, Α. et al. Έλεγχος απωλειών ανάκρουσης σε νανομηχανικούς συντονιστές μεμβράνης SiN. Phys. Rev. Β 94, 121403 (2016).
Schmid, S., Jensen, KD, Nielsen, KH & Boisen, A. Μηχανισμοί απόσβεσης σε υψηλήQ μικρο και νανομηχανικοί συντονιστές χορδών. Phys. Rev. Β 84, 165307 (2011).
Yu, P.-L., Purdy, TP & Regal, CA Έλεγχος της απόσβεσης υλικού σε υψηλήQ μικροσυντονιστές μεμβράνης. Φυσ. Rev. Lett. 108, 083603 (2012).
Landau, LD, Lifshitz, EM, Pitaevskii, LP & Kosevich, AM Θεωρία Ελαστικότητας. Μάθημα Θεωρητικής Φυσικής Τομ. 7 (Pergamon, 1986).
Catalini, L., Rossi, M., Langman, EC & Schliesser, A. Μοντελοποίηση και παρατήρηση μη γραμμικής απόσβεσης σε νανομηχανικούς συντονιστές αραιωμένους με διάχυση. Φυσ. Rev. Lett. 126, 174101 (2021).
Bachtold, A., Moser, J. & Dykman, MI Mesoscopic physics of nanomechanical systems. Αναθ. Mod Φυσ. 94, 045005 (2022).
Bereyhi, MJ et al. Η κωνικότητα με σφιγκτήρες αυξάνει τον παράγοντα ποιότητας των καταπονημένων νανοδοκών. Νάνο Λέτ. 19, 2329-2333 (2019).
Sadeghi, P., Tanzer, M., Christensen, SL & Schmid, S. Influence of clamp-widending on the quality factor of nanomechanical resonators nitride silicon. J. Appl. Φυσ. 126, 165108 (2019).
Reinhardt, C., Müller, T., Bourassa, A. & Sankey, JC Ultralow-noise SiN αντηχεία τραμπολίνου για ανίχνευση και οπτομηχανική. Φυσ. Αναθ. X 6, 021001 (2016).
Norte, RA, Moura, JP & Gröblacher, S. Μηχανικοί συντονιστές για πειράματα κβαντικής οπτομηχανικής σε θερμοκρασία δωματίου. Φυσ. Rev. Lett. 116, 147202 (2016).
Wilson, DJ Οπτομηχανική κοιλότητας με μεμβράνες νιτριδίου πυριτίου υψηλής καταπόνησης. Διδακτορική διατριβή, California Institute of Technology (2012); https://doi.org/10.7907/VB3C-1G76
Chakram, S., Patil, YS, Chang, L. & Vengalattore, M. Dissipation in ultrahigh quality factor SiN membrane resonators. Φυσ. Rev. Lett. 112, 127201 (2014).
Yu, P.-L. et al. Μια φωνητική ασπίδα ζώνης για υψηλήQ μικροσυντονιστές μεμβράνης. Εφαρμογή Φυσ. Κάτοικος της Λατβίας. 104, 023510 (2014).
Tsaturyan, Y. et al. Επίδειξη κατασταλμένων απωλειών σήραγγας φωνονίων σε αντηχεία θωρακισμένης μεμβράνης με φωνητικό διάκενο για υψηλέςQ οπτομηχανική. Επιλέγω. Εξπρές 22, 6810-6821 (2014).
Weaver, MJ et al. Φωλιασμένοι αντηχεία τραμπολίνου για οπτομηχανική. Εφαρμογή Φυσ. Κάτοικος της Λατβίας. 108, 033501 (2016).
Serra, Ε. et αϊ. Ταλαντωτής νιτριδίου πυριτίου MOMS για κβαντική οπτομηχανική θερμοκρασίας δωματίου. J. Microelectromech. Σύστ. 27, 1193-1203 (2018).
Reetz, C. et αϊ. Ανάλυση φωνονικών κρυστάλλων μεμβράνης με μεγάλα κενά ζώνης και ελαττώματα χαμηλής μάζας. Φυσ. Αναθ. Appl. 12, 044027 (2019).
Fedorov, SA et al. Θόρυβος θερμικής ενδοδιαμόρφωσης σε μετρήσεις με βάση την κοιλότητα. Optica 7, 1609-1616 (2020).
Guo, J., Norte, R. & Gröblacher, S. Ψύξη ανάδρασης ενός μηχανικού ταλαντωτή θερμοκρασίας δωματίου κοντά στην κινητική βασική του κατάσταση. Φυσ. Rev. Lett. 123, 223602 (2019).
Φεντόροφ, Σ. Μηχανικοί συντονιστές με αραίωση υψηλής διασποράς σε μετρήσεις ακριβείας και κβαντικές. Διδακτορική διατριβή, EPFL, Λωζάνη (2021); https://doi.org/10.5075/epfl-thesis-10421
Fedorov, SA, Beccari, A., Engelsen, NJ & Kippenberg, TJ μηχανικοί συντονιστές τύπου Fractal με θεμελιώδη λειτουργία μαλακής σύσφιξης. Φυσ. Rev. Lett. 124, 025502 (2020).
Høj, D. et al. Υπερ-συνεκτικοί νανομηχανικοί συντονιστές βασισμένοι σε αντίστροφη σχεδίαση. Nat. Commun. 12, 5766 (2021).
Davenport, WB & Root, WL Εισαγωγή στη Θεωρία Τυχαίων Σημάτων και Θορύβου (Wiley-IEEE, 1987).
Zwickl, BM et αϊ. Υψηλής ποιότητας μηχανικές και οπτικές ιδιότητες εμπορικών μεμβρανών νιτριδίου του πυριτίου. Εφαρμογή Φυσ. Κάτοικος της Λατβίας. 92, 103125 (2008).
Renninger, WH, Kharel, P., Behunin, RO & Rakich, PT Bulk crystalline optomechanics. Νατ. Φυσ. 14, 601-607 (2018).
Sementilli, L., Romero, E. & Bowen, WP Nanomechanical dissipation and strain engineering. Adv Λειτουργία Μητήρ. 32, 2105247 (2022).
Kermany, AR et αϊ. Μικροσυντονιστές με Q-παράγοντες πάνω από ένα εκατομμύριο από υψηλής καταπόνησης επιταξιακό καρβίδιο του πυριτίου σε πυρίτιο. Εφαρμογή Φυσ. Κάτοικος της Λατβίας. 104, 081901 (2014).
Romero, Ε. et αϊ. Μηχανική της διάχυσης κρυσταλλικών μικρομηχανικών συντονιστών. Φυσ. Αναθ. Appl. 13, 044007 (2020).
Cole, GD et al. Εφελκυσμένο μέσαxGa1-xΜεμβράνες P για οπτομηχανική κοιλότητας. Εφαρμογή Φυσ. Κάτοικος της Λατβίας. 104, 201908 (2014).
Bückle, Μ. et al. Έλεγχος καταπόνησης εντάσεων σε εφελκυσμό1-xGaxΠ νανομηχανικοί συντονιστές χορδών. Εφαρμογή Φυσ. Κάτοικος της Λατβίας. 113, 201903 (2018).
Manjeshwar, SK et αϊ. Υψηλός-Q αντηχεία τραμπολίνου από τεντωμένο κρυσταλλικό InGaP για ολοκληρωμένη οπτομηχανική ελεύθερου χώρου. Νάνο Λέτ. 23, 5076-5082 (2023).
Liu, J. et αϊ. Υψηλός-Q οπτομηχανικές νανομεμβράνες GaAs. Εφαρμογή Φυσ. Κάτοικος της Λατβίας. 99, 243102 (2011).
Minamisawa, RA et al. Κατασκευασμένα από πάνω προς τα κάτω νανοσύρματα πυριτίου υπό ελαστική ελαστική τάση έως και 4.5%. Nat. Commun. 3, 1096 (2012).
Dang, C. et αϊ. Επίτευξη μεγάλης ομοιόμορφης ελαστικότητας εφελκυσμού σε μικροκατασκευασμένο διαμάντι. Επιστήμη 371, 76-78 (2021).
Xu, Μ. et αϊ. Άμορφο καρβίδιο του πυριτίου υψηλής αντοχής για νανομηχανική. Adv Μητήρ. 36, 2306513 (2023).
Tao, Y., Boss, JM, Moores, BA & Degen, CL Νανομηχανικοί συντονιστές μονοκρυστάλλων διαμαντιών με συντελεστές ποιότητας που υπερβαίνουν το ένα εκατομμύριο. Nat. Commun. 5, 3638 (2014).
Yuan, M., Cohen, MA & Steele, GA Αντηχεία μεμβράνης νιτριδίου πυριτίου σε θερμοκρασίες millikelvin με συντελεστές ποιότητας που υπερβαίνουν το 108. Εφαρμογή Φυσ. Κάτοικος της Λατβίας. 107, 263501 (2015).
Manjeshwar, SK et αϊ. Αιωρούμενες φωτονικές κρυσταλλικές μεμβράνες σε ετεροδομές AlGaAs για ολοκληρωμένη οπτομηχανική πολλαπλών στοιχείων. Εφαρμογή Φυσ. Κάτοικος της Λατβίας. 116, 264001 (2020).
Fitzgerald, JM, Manjeshwar, SK, Wieczorek, W. & Tassin, P. Οπτομηχανική κοιλότητας με φωτονικές δεσμευμένες καταστάσεις στο συνεχές. Phys. Rev. Res. 3, 013131 (2021).
Manjeshwar, SK et αϊ. Ενσωματωμένη οπτομηχανική μικροκοιλότητας με αιωρούμενο φωτονικό κρύσταλλο καθρέφτη πάνω από κατανεμημένο ανακλαστήρα Bragg. Επιλέγω. Εξπρές 31, 30212-30226 (2023).
Purdy, TP, Peterson, RW & Regal, CA Παρατήρηση θορύβου εκτόξευσης πίεσης ακτινοβολίας σε μακροσκοπικό αντικείμενο. Επιστήμη 339, 801-804 (2013).
Kampel, NS et αϊ. Βελτίωση της ευρυζωνικής ανίχνευσης μετατόπισης με κβαντικές συσχετίσεις. Φυσ. Αναθ. X 7, 021008 (2017).
Brubaker, Β. Μ. et al. Οπτομηχανική ψύξη εδάφους σε έναν συνεχή και αποδοτικό ηλεκτροοπτικό μορφοτροπέα. Φυσ. Αναθ. X 12, 021062 (2022).
Wilson, DJ et al. Έλεγχος με βάση τις μετρήσεις ενός μηχανικού ταλαντωτή στο ρυθμό θερμικής αποσυνοχής του. Φύση 524, 325-329 (2015).
Sudhir, V. et αϊ. Εμφάνιση και εξαφάνιση κβαντικών συσχετισμών στον έλεγχο ανάδρασης με βάση τις μετρήσεις ενός μηχανικού ταλαντωτή. Φυσ. Αναθ. X 7, 011001 (2017).
Guo, J. & Gröblacher, S. Ενσωματωμένη οπτική ανάγνωση μιας μηχανικής λειτουργίας εκτός επιπέδου υψηλής Q. Φως Sci. Εφαρμογή 11, 282 (2022).
Guo, J., Chang, J., Yao, X. & Gröblacher, S. Κβαντικός έλεγχος ενεργού ανάδρασης ενός ενσωματωμένου μηχανικού συντονιστή χαμηλής συχνότητας. Nat. Commun. 14, 4721 (2023).
Anetsberger, G. et al. Οπτομηχανική κοιλότητας κοντινού πεδίου με νανομηχανικούς ταλαντωτές. Νατ. Φυσ. 5, 909-914 (2009).
Anetsberger, G. et al. Μέτρηση νανομηχανικής κίνησης με ανακρίβεια κάτω από το τυπικό κβαντικό όριο. Φυσ. Αναθ. Α 82, 061804 (2010).
Galinskiy, I., Tsaturyan, Y., Parniak, M. & Polzik, ES Phonon μετρώντας θερμομετρία ενός συντονιστή υπερσυνεκτικής μεμβράνης κοντά στην κινητική βασική του κατάσταση. Optica 7, 718-725 (2020).
Shaniv, R., Kumar Keshava, S., Reetz, C. & Regal, CA Κατανόηση του παράγοντα ποιότητας των τεταμένων αντηχείων με φορτίο μάζας. Φυσ. Αναθ. Appl. 19, 031006 (2023).
Kuehn, S., Loring, RF & Marohn, JA Διηλεκτρικές διακυμάνσεις και η προέλευση της τριβής χωρίς επαφή. Φυσ. Rev. Lett. 96, 156103 (2006).
Fischer, R. et al. Ανίχνευση περιστροφής με μικρομηχανικό τραμπολίνο: προς την οπτομηχανική της κοιλότητας του μικροσκοπίου μαγνητικού συντονισμού. Νέο J. Phys. 21, 043049 (2019).
Zhang, C., Giroux, M., Nour, TA & St-Gelais, R. Ανίχνευση θερμικής ακτινοβολίας με χρήση υψηλών μηχανικών Q-μεμβράνες νιτριδίου του πυριτίου παράγοντα. Σε ΑΙΣΘΗΤΗΡΕΣ IEEE 2019 1–4 (IEEE, 2019); https://doi.org/10.1109/SENSORS43011.2019.8956551
Piller, Μ. et αϊ. Θερμική ανίχνευση υπερύθρων με νανοηλεκτρομηχανικούς συντονιστές τραμπολίνου νιτριδίου του πυριτίου. IEEE Sens. J. 23, 1066-1071 (2023).
Fong, KY, Pernice, WHP & Tang, HX Συχνότητα και θόρυβος φάσης υπερυψηλών Q νανομηχανικοί συντονιστές νιτριδίου πυριτίου. Phys. Rev. Β 85, 161410 (2012).
Gavaartin, E., Verlot, P. & Kippenberg, TJ Σταθεροποίηση ενός γραμμικού νανομηχανικού ταλαντωτή στο θερμοδυναμικό του όριο. Nat. Commun. 4, 2860 (2013).
Liu, Υ. et αϊ. Υλικά, σχεδιασμός και χαρακτηριστικά αντηχείου χύδην ακουστικών κυμάτων: μια ανασκόπηση. micromachines 11, 630 (2020).
Tu, C., Lee, JE-Y. & Zhang, X.-S. Μέθοδοι ανάλυσης διάχυσης και Q-Στρατηγικές ενίσχυσης σε πιεζοηλεκτρικούς συντονιστές MEMS πλευρικά δονούμενους: μια ανασκόπηση. Αισθητήρες 20, 4978 (2020).
Hopcroft, MA, Nix, WD & Kenny, TW Ποιος είναι ο συντελεστής πυριτίου του Young;. J. Microelectromech. Σύστ. 19, 229-238 (2010).
Zhang, Η. et αϊ. Προσεγγίζοντας το ιδανικό όριο ελαστικής καταπόνησης στα νανοσύρματα πυριτίου. Sci. Adv 2, 1501382 (2016).
Tao, Υ. et αϊ. Μόνιμη μείωση της διασποράς σε νανομηχανικούς συντονιστές Si με χημική προστασία επιφάνειας. Νανοτεχνολογία 26, 465501 (2015).
Klaß, YS, Doster, J., Bückle, M., Braive, R. & Weig, EM Προσδιορισμός του συντελεστή Young μέσω του φάσματος ιδιοτροπών ενός νανομηχανικού συντονιστή χορδών. Εφαρμογή Φυσ. Κάτοικος της Λατβίας. 121, 083501 (2022).
Petersen, KE πυρίτιο ως μηχανικό υλικό. Proc. ΙΕΕΕ 70, 420-457 (1982).
Μπακλ, Μ. Νανομηχανικά συστήματα με βάση το κρυσταλλικό φωσφίδιο του γαλλίου με εφελκυσμό. Διδακτορική διατριβή, Παν. Konstanz (2020).
Hjort, Κ., Söderkvist, J. & Schweitz, J.-Å. Αρσενίδιο του γαλλίου ως μηχανικό υλικό. J. Micromech. Microeng. 4, 1-13 (1994).
Smith, RT & Welsh, FS Εξάρτηση από τη θερμοκρασία των ελαστικών, πιεζοηλεκτρικών και διηλεκτρικών σταθερών του τανταλικού λιθίου και του νιοβικού λιθίου. J. Appl. Φυσ. 42, 2219-2230 (1971).
Gruber, Μ. et αϊ. Αναλύσεις κατανομής αντοχής και θραύσης του LiNbO3 και LiTaO3 μονοκρύσταλλοι υπό διαξονική φόρτιση. J. Eur. Κεραμ. Soc. 37, 4397-4406 (2017).
Österlund, E., Kinnunen, J., Rontu, V., Torkkeli, A. & Paulasto-Kröckel, M. Μηχανικές ιδιότητες και αξιοπιστία λεπτών μεμβρανών νιτριδίου αλουμινίου. J. Alloys Compd 772, 306-313 (2019).
Cleland, AN, Pophristic, M. & Ferguson, I. Νανομηχανικοί συντονιστές νιτριδίου αλουμινίου μονοκρυστάλλου. Εφαρμογή Φυσ. Κάτοικος της Λατβίας. 79, 2070-2072 (2001).
Wu, Η. et αϊ. Μείωση της εγγενούς διασποράς ενέργειας σε μηχανικούς συντονιστές διαμαντιού σε διαμάντι προς ένα εκατομμύριο παράγοντα ποιότητας. Φυσ. Rev. Mater. 2, 090601 (2018).
Falin, Α. et αϊ. Μηχανικές ιδιότητες ατομικά λεπτού νιτριδίου βορίου και ο ρόλος των αλληλεπιδράσεων μεταξύ των στιβάδων. Nat. Commun. 8, 15815 (2017).
Lee, C., Wei, X., Kysar, JW & Hone, J. Μέτρηση των ελαστικών ιδιοτήτων και της εσωτερικής αντοχής του μονοστιβαδικού γραφενίου. Επιστήμη 321, 385-388 (2008).
Cleland, AN & Roukes, ML Διεργασίες θορύβου σε νανομηχανικούς συντονιστές. J. Appl. Φυσ. 92, 2758-2769 (2002).
Gely, MF & Steele, GA Υπεραγώγιμη ηλεκτρομηχανική για τη δοκιμή επιδράσεων Diósi–Penrose της γενικής σχετικότητας σε τεράστιες υπερθέσεις. AVS Quantum Sci. 3, 035601 (2021).
Lubensky, TC, Kane, CL, Mao, X., Souslov, A. & Sun, K. Phonons και ελαστικότητα σε κρίσιμα συντονισμένα πλέγματα. Εκπρόσωπος Prog. Φυσ. 78, 073901 (2015).
González, G. Αναρτά θερμικό θόρυβο στον ανιχνευτή βαρυτικών κυμάτων LIGO. Τάξη. Κβαντική Βαρύτητα 17, 4409-4435 (2000).
- SEO Powered Content & PR Distribution. Ενισχύστε σήμερα.
- PlatoData.Network Vertical Generative Ai. Ενδυναμώστε τον εαυτό σας. Πρόσβαση εδώ.
- PlatoAiStream. Web3 Intelligence. Ενισχύθηκε η γνώση. Πρόσβαση εδώ.
- PlatoESG. Ανθρακας, Cleantech, Ενέργεια, Περιβάλλον, Ηλιακός, Διαχείριση των αποβλήτων. Πρόσβαση εδώ.
- PlatoHealth. Ευφυΐα βιοτεχνολογίας και κλινικών δοκιμών. Πρόσβαση εδώ.
- πηγή: https://www.nature.com/articles/s41565-023-01597-8
