Λογότυπο Zephyrnet

Έλεγχος και διόρθωση εφέ κεραίας σε διατάξεις IC – Semiwiki

Ημερομηνία:

Οι διατάξεις IC υποβάλλονται σε εκτεταμένο έλεγχο κανόνων σχεδίασης για να διασφαλιστεί η ορθότητα, πριν γίνουν δεκτές για κατασκευή σε χυτήριο ή IDM. Υπάρχει κάτι που ονομάζεται φαινόμενο κεραίας που συμβαίνει κατά την κατασκευή τσιπ όπου η βλάβη που προκαλείται από το πλάσμα (PID) μπορεί να μειώσει την αξιοπιστία των συσκευών MOSFET. Οι σχεδιαστές διάταξης εκτελούν Έλεγχους κανόνων σχεδίασης (DRC) για να βρουν περιοχές που παραβιάζουν το PID και στη συνέχεια να κάνουν αλλαγές για να περάσουν όλους τους ελέγχους.

Ένας παραδοσιακός κανόνας σχεδίασης κεραίας θα μετρήσει το στρώμα μετάλλου (ή μέσω) στο στρώμα πύλης MOSFET και εάν η αναλογία περιοχής είναι πολύ μεγάλη, τότε η διάταξη πρέπει να διορθωθεί με την προσθήκη μιας διόδου προστασίας.

Επίπεδη διατομή CMOS – κεραία DRC
Επίπεδη διατομή CMOS – κεραία DRC

Ένα σενάριο διάταξης IC που δεν μπορεί να χειριστεί ένα παραδοσιακό DRC για εφέ κεραίας είναι για σχέδια AMS που έχουν πολλαπλούς τομείς ισχύος, χρησιμοποιώντας πολλαπλά απομονωμένα φρεάτια τύπου P, όπως φαίνεται παρακάτω. Μια νέα προσέγγιση που ονομάζεται επαλήθευση βάσει διαδρομής απαιτείται για τα ακόλουθα τέσσερα σενάρια.

Η σύνδεση κινδύνου έχει πρόβλημα PID
Η σύνδεση κινδύνου έχει πρόβλημα PID
Μη ισορροπημένες αναλογίες επιφάνειας μεταξύ μεταλλικών στρωμάτων και στρωμάτων φρεατίων από δύο απομονωμένα φρεάτια
Μη ισορροπημένες αναλογίες επιφάνειας μεταξύ μεταλλικών στρωμάτων και στρωμάτων φρεατίων από δύο απομονωμένα φρεάτια
Σύνθετες συνδέσεις συνδεσιμότητας
Σύνθετες συνδέσεις συνδεσιμότητας
Άθετες δίοδοι προστασίας
Άθετες δίοδοι προστασίας

Αυτά τα τέσσερα σενάρια διάταξης μπορούν να ανιχνευθούν μόνο από ένα εργαλείο EDA που γνωρίζει για τις συσκευές, τη συνδεσιμότητα και τις ηλεκτρικές διαδρομές κατά τους υπολογισμούς περιοχής για μεταλλικά στρώματα πύλης και MOSFET. Εδώ είναι που το Διαμέτρημα PERC Το εργαλείο από τη Siemens EDA έρχεται, καθώς μπορεί να εκτελέσει τους σύνθετους ελέγχους βάσει διαδρομής για τον εντοπισμό περιοχών PID, την εύρεση προβλημάτων ηλεκτροστατικής εκφόρτισης (ESD) και τον εντοπισμό άλλων διαδρομών που αναζητά η ομάδα σχεδιασμού σας. Ακολουθεί η ροή PID για τη χρήση του Caliber PERC:

Ροή PID χρησιμοποιώντας Caliber PERC
Ροή PID χρησιμοποιώντας Caliber PERC

Η χρήση αυτής της ροής σε διάταξη IC και η εξέταση των αποτελεσμάτων στο πρόγραμμα προβολής αποτελεσμάτων Caliber RVE έδειξε ότι βρέθηκε παραβίαση PID, επειδή δημιουργήθηκε μια σύνδεση κινδύνου σε επίπεδο metal1, αλλά η σύνδεση προστασίας δεν συνέβη μέχρι το επίπεδο metal2.

Παραβίαση PID στο metal2 layer
Παραβίαση PID στο metal2 layer

Η επόμενη παραβίαση του PID εντοπίστηκε από τις μη ισορροπημένες αναλογίες επιφάνειας του μεταλλικού στρώματος και του N-θαμμένου στρώματος (nbl). Η περιοχή που επισημαίνεται με μοβ (rve) είναι η συσκευή θύματος.

Ζήτημα PID μη ισορροπημένης περιοχής
Ζήτημα PID μη ισορροπημένης περιοχής

Για να έχετε πλήρη κάλυψη PID, η ομάδα σχεδιασμού σας θα πρέπει να χρησιμοποιήσει τόσο τους παραδοσιακούς ελέγχους κεραίας που βασίζονται στη ΛΔΚ όσο και τους ελέγχους βάσει διαδρομής. Εκτελέστε ελέγχους τύπου DRC νωρίς στα στάδια σχεδιασμού ως προληπτικό βήμα. Καθώς ολοκληρώνονται περισσότερες μεταλλικές συνδέσεις σε μια διάταξη, στη συνέχεια σχηματίζονται μονοπάτια σε απομονωμένα φρεάτια τύπου P, ήρθε η ώρα να προσθέσετε επαλήθευση βάσει διαδρομής, παρέχοντας πλήρη κάλυψη.

Σε αυτήν την πρώιμη διάταξη IC, ήρθε η ώρα να εκτελέσετε παραδοσιακούς ελέγχους κεραίας που βασίζονται στη ΛΔΚ για να επιβεβαιώσετε ότι η επικύρωση PID περνάει από τη διάταξη.

Αποτρέψτε τα προβλήματα εφέ κεραίας πριν ολοκληρωθούν όλες οι μεταλλικές συνδέσεις
Αποτρέψτε προβλήματα PID πριν ολοκληρωθούν όλες οι μεταλλικές συνδέσεις

Καθώς προστίθενται περισσότερες μεταλλικές διαδρομές στη διάταξη IC, τότε είναι καιρός να χρησιμοποιήσετε το εργαλείο που βασίζεται σε μονοπάτια, επειδή κατανοεί σωστά τόσο τη σύνδεση κινδύνου όσο και τη σύνδεση προστασίας.

Εκτελέστε ελέγχους βάσει διαδρομής Caliber PERC για εφέ κεραίας
Εκτελέστε ελέγχους βάσει διαδρομής Caliber PERC

Χαρακτηριστικά

Οι διατάξεις IC πρέπει να πληρούν αυστηρούς κανόνες σχεδιασμού για να πληρούν τις απαιτήσεις αξιοπιστίας και απόδοσης που καθορίζονται από τη διαδικασία χυτηρίου ή fab που χρησιμοποιείται. Οι παραδοσιακοί κανόνες σχεδίασης κεραίας που βασίζονται στη ΛΔΚ μπορούν ακόμα να χρησιμοποιηθούν για τη διάταξη σε αρχικό στάδιο, αλλά καθώς προστίθενται περισσότερα μεταλλικά στρώματα για να ολοκληρωθούν οι διασυνδέσεις, τότε καθίσταται απαραίτητος ένας έλεγχος βάσει διαδρομής με το Caliber PERC.

Καθώς καθορίζονται οι διαδρομές στα απομονωμένα φρεάτια P, η ροή του Caliber PERC βάσει διαδρομής μπορεί να χρησιμοποιηθεί για τον έλεγχο των διατάξεων IC σε επίπεδα IP, μπλοκ/μονάδας και ακόμη και πλήρους τσιπ για αποσύνδεση. Επομένως, συνιστάται η χρήση και των δύο ροών μαζί για την επίτευξη των στόχων αξιοπιστίας και απόδοσης.

Διαβάστε το Τεχνικό Έγγραφο στη Siemens online.

Σχετικά ιστολόγια

Μοιραστείτε αυτήν την ανάρτηση μέσω:

spot_img

Τελευταία Νοημοσύνη

spot_img